CN211170877U - 一种镀膜夹具及其装夹结构 - Google Patents

Abstract

一种镀膜夹具及其装夹结构，包括：底座；限位凹槽，设置在所述底座上，用于安装巴条，且所述巴条的出光面与限位凹槽的槽底相对布置；凸台，设置在所述底座上，位于相邻的所述限位凹槽之间，所述凸台适于承托陪条，且所述凸台的侧壁与所述巴条的电极面相对布置；所述限位凹槽底部与所述凸台顶部之间形成一预设高度差，且所述凸台高于所述限位凹槽布置；通过提供上述的镀膜夹具来解决现有的镀膜夹具无法精确控制陪条出光面和巴条的出光面的高度差的问题。

Description

一种镀膜夹具及其装夹结构

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，主要涉及一种镀膜夹具及其装夹结构。

背景技术

光通信用半导体激光器的制备，代表了先进微纳加工和器件集成工艺的发展方向，得到了国际上各个国家的高度重视。光通信用的半导体激光器是光纤通信的核心。目前光通信用半导体激光器主要应用INP衬底片进行外延生长及后端加工，在后端加工中巴条端面光学镀膜工艺是保证激光器参数的关键工序；在给激光器巴条腔面镀膜时，为了避免镀膜产生阴影或者相邻巴条之间镀膜后相互粘结，通常在相邻巴条之间设置陪条，陪条的高度低于巴条的高度。

在现有技术中，陪条和巴条均通过解理获得，一般叠巴技术是控制陪条端面(对应反光面，即HR面)和巴条的反光面(HR面)的处于同一水平面上，但此技术中的陪条出光面(出光面)和巴条的出光面(出光面)之间的高度差控制精度取决于巴条解理的精度，而解理精度不足以精准的控制巴条与陪条出光面之间的高度差，从而导致膜过程中衍射或翻膜严重。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于，现有的镀膜夹具无法精确控制陪条出光面和巴条的出光面的高度差的问题，为此，本实用新型提供一种镀膜夹具，包括：底座；限位凹槽，设置在所述底座上，用于安装巴条，且所述巴条的出光面与限位凹槽的槽底相对布置；凸台，设置在所述底座上，位于相邻的所述限位凹槽之间，所述凸台适于承托陪条，且所述凸台的侧壁与所述巴条的电极面相对布置；所述限位凹槽底部与所述凸台顶部之间形成一预设高度差，且所述凸台高于所述限位凹槽布置。

所述预设高度差范围为：5微米-10微米。

所述凸台和所述限位凹槽相间设置。

所述巴条两端架设于所述限位凹槽底部，所述巴条中段悬空。

还包括：第一凹槽；所述第一凹槽开设于所述限位凹槽底部，以使得出光面上的至少部分出光面区域裸露。

还包括夹持部，所述夹持部设置在所述底座两侧，与所述底座相连。

所述夹持部与所述底座可拆卸相连。

所述夹持部为至少两个，所述夹持部为夹持板块。

所述凸台上设置有沿其长度方向设置的第二凹槽，且该第二凹槽设置在所述凸台的中央位置；所述陪条和所述第二凹槽围成用以保护所述陪条出光面的保护腔。

一种装夹结构，包括：上述所述的镀膜夹具，还包括：巴条，安装在所述限位凹槽上；陪条，安装在所述凸台上。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供一种镀膜夹具，通过设置所述限位凹槽底部与所述凸台顶部之间形成一预设的高度差，所述巴条的出光面与所述限位凹槽的槽底相对布置，所述陪条端面抵靠于所述凸台的顶面，由于所述凹槽底部与所述凸台顶部高度差一致，故能够精准控制巴条出光面与陪条端面(对应于出光面)之间的高度差，从而有效防止出现镀膜过程中衍射或翻膜严重的问题，提高镀膜良品率及工艺稳定性。

2.本实用新型提供一种镀膜夹具，所述预设高度差范围为：5微米-10微米，通过设置上述固定高度差范围，可以保证巴条出光面与陪条出光面的高度差控制在一定的精准范围内。

3.本实用新型提供一种镀膜夹具，所述凸台和所述限位凹槽相间设置，保证所述巴条与所述巴条之间设置有陪条，为避免镀膜产生阴影或者相邻巴条之间镀膜后相互粘结。

4.本实用新型提供一种镀膜夹具，第一凹槽；第一凹槽；所述第一凹槽开设于所述限位凹槽底部，以使得出光面上的至少部分出光面区域裸露。通过设置有第一凹槽，可以保护所述巴条出光面，防止因与所述底座相接触而发生磨损。

5.本实用新型提供一种镀膜夹具，还包括夹持部，所述夹持部设置在所述底座两侧，与所述底座相连；通过所述夹持部夹紧或者放松，可以保证所述巴条和陪条能够在夹具底座上进行高度的调整。

6.本实用新型提供一种镀膜夹具，所述凸台上设置有沿其长度方向设置的第二凹槽，且该第二凹槽设置在所述凸台的中央位置；所述陪条和所述第二凹槽围成用以保护所述陪条出光面的保护腔；通过设置有第二凹槽，可以保护所述陪条出光面，防止因与所述底座相接触而发生磨损。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的第一种实施方式夹具装配巴条后示意图；

图2为本实用新型提供的夹具侧视图；

图3为本实用新型提供的第二种实施方式夹具装配巴条后俯视图；

图4为本实用新型提供的夹具示意图；

附图标记说明：

1-底座；2-限位凹槽；3-巴条；4-凸台；5-陪条；6-第一凹槽；7-夹持部；8-第二凹槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例中提供了一种装夹结构，包括：如图1所示的镀膜夹具，还包括：巴条，安装在所述限位凹槽上；陪条，安装在所述凸台上。

其中，一种镀膜夹具，如图4所示，包括：底座1；限位凹槽2，设置在所述底座1上，用于安装巴条3，且所述巴条3的出光面与限位凹槽2的槽底相对布置；凸台4，设置在所述底座1上，位于相邻的所述限位凹槽2之间，所述凸台4适于承托陪条5，且所述凸台的侧壁与所述巴条3的电极面相对布置；所述限位凹槽2底部与所述凸台4顶部之间形成一预设高度差，且所述凸台4高于所述限位凹槽2布置；在通过设置所述限位凹槽2底部与所述凸台4，两个形成一固定的高度差，所述巴条3其长度方向的出光面与所述限位凹槽2配合插接相连，所述陪条其长度方向的出光面与所述凸台4相连，由于所述位凹槽2底部与所述凸台4高度差一致，故使得能够精准控制巴条出光面与陪条出光面的高度差，从而有效防止出现镀膜过程中衍射或翻膜严重的问题。

作为最优选的实施方式，所述限位凹槽2底部与所述凸台4形成一固定高度差范围为：5微米-10微米。

另外，为了保证所述巴条3与所述巴条3之间设置有陪条5，所述凸台4和所述限位凹槽2相间设置。

本实施例中，如图4所示，还包括第一凹槽6；所述第一凹槽6开设于所述限位凹槽2底部，以使得出光面上的至少部分出光面区域裸露；其中所述第一凹槽6可以保护所述巴条3出光面，防止因与所述底座相接触而发生磨损。

另外，如图2所示，还包括夹持部7，所述夹持部7设置在所述底座1两侧，与所述底座1相连；通过所述夹持部7夹紧或者放松，可以保证所述巴条3和陪条5能够在夹具底座上进行高度的调整。

作为最优选的实施方式，所述夹持部7优选为夹持板块，且至少为两块。

当然，作为一可变的实施方式；如图3所示，所述凸台4上设置有沿其长度方向设置的第二凹槽8，且该第二凹槽8设置在所述凸台4的中央位置；所述陪条5和所述第二凹槽8围成用以保护所述陪条5出光面的保护腔；通过设置有第二凹槽8，可以保护所述陪条5出光面，防止因与所述底座相接触而发生磨损。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (9)

1.一种镀膜夹具，其特征在于，包括：

底座(1)；

限位凹槽(2)，设置在所述底座(1)上，用于安装巴条(3)，且所述巴条(3)的出光面与限位凹槽(2)的槽底相对布置；

凸台(4)，设置在所述底座(1)上，位于相邻的所述限位凹槽(2)之间，所述凸台(4)适于承托陪条(5)，且所述凸台的侧壁与所述巴条(3)的电极面相对布置；

所述限位凹槽(2)底部与所述凸台(4)顶部之间形成一预设高度差，且所述凸台(4)高于所述限位凹槽(2)布置。

2.根据权利要求1所述的镀膜夹具，其特征在于，所述预设高度差范围为：5微米-10微米。

3.根据权利要求2所述的镀膜夹具，其特征在于，所述凸台(4)和所述限位凹槽(2)相间设置。

4.根据权利要求3所述的镀膜夹具，其特征在于，所述巴条(3)两端架设于所述限位凹槽(2)底部，所述巴条(3)中段悬空。

5.根据权利要求4所述的镀膜夹具，其特征在于，还包括：第一凹槽(6)；所述第一凹槽(6)开设于所述限位凹槽(2)底部，以使得出光面上的至少部分出光面区域裸露。

6.根据权利要求1任意所述的镀膜夹具，其特征在于，还包括夹持部(7)，所述夹持部(7)设置在所述底座(1)两侧，与所述底座(1)相连。

7.根据权利要求6所述的镀膜夹具，其特征在于，所述夹持部(7)与所述底座(1)可拆卸相连。

8.根据权利要求6所述的镀膜夹具，其特征在于，所述夹持部(7)为至少两个，所述夹持部(7)为夹持板块。

9.一种装夹结构，其特征在于，包括：权利要求1-8任一权项所述的镀膜夹具，还包括：

巴条(3)，安装在所述限位凹槽(2)上；

陪条(5)，安装在所述凸台(4)上。

Images