CN211125587U - 氧含量监控退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于退火炉技术领域，尤其为氧含量监控退火炉，包括主炉，主炉的一侧表面上固定连接有电机外壳，电机外壳内部设有电机，电机的驱动轴终端贯穿主炉的外壁固定连接有冷却箱，冷却箱的内部开设有腔体，冷却箱的腔体两端内壁上固定连接有弹簧，弹簧远离冷却箱的一端固定连接有固定夹板，冷却箱远离电机驱动轴的一端外壁上固定连接有转轴，主炉的一侧内壁上固定连接有固定箱。本实用新型通过设置冷却箱，当需要对产品进行冷却的时候，可以通过电机，打开电机，通过电机的作用带动了冷却箱的转动，再通过转扇的转动将水箱的水高速拍打出去，对冷却箱内的产品进行全方位的冷却，从而达到了高效冷却的效果。

Description

氧含量监控退火炉

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为氧含量监控退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%，退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。目的是降低硬度，改善切削加工性；降低残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。准确的说，退火是一种对材料的热处理工艺，包括金属材料、非金属材料。

存在以下问题：

1、现有的退火炉在冷却的时候，冷却效率较低，冷却的不够全面，时间比较长。

2、现有的退火炉无法有效的监测炉内的氧气浓度，从而判断下一步的操作。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了氧含量监控退火炉，解决了冷却效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：氧含量监控退火炉，包括主炉，所述主炉的一侧表面上固定连接有电机外壳，所述电机外壳内部设有电机，所述电机的驱动轴终端贯穿主炉的外壁固定连接有冷却箱，所述冷却箱的内部开设有腔体，所述冷却箱的腔体两端内壁上固定连接有弹簧，所述弹簧远离冷却箱的一端固定连接有固定夹板，所述冷却箱远离电机驱动轴的一端外壁上固定连接有转轴，所述主炉的一侧内壁上固定连接有固定箱，所述转轴贯穿固定箱的外壁固定连接有大齿轮，所述固定箱的内壁上转动连接有条轴，所述条轴的表面上固定连接有小齿轮，所述主炉的一侧底端内壁上固定连接有阻隔箱，所述阻隔箱的一侧外壁上安装有隔网，所述阻隔箱内部设有氧气浓度检测仪，所述主炉的顶端外壁上固定连接有水箱，所述主炉的顶端外壁上开设有通水腔，所述通水腔的内部转动连接有转扇，所述主炉的顶端内壁上固定连接有喷水管，所述主炉的一侧外壁上安装有炉门，所述主炉的底端一侧安装有玻璃镜。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述通水腔的底端内壁上开设有通孔，且喷水管与通水腔相连通。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述通水腔、转扇和喷水管的数量为两组，且两组通水腔、转扇和喷水管以主炉的水平中心线呈轴对称安装。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述条轴和小齿轮的数量为两组，且两组条轴和小齿轮以固定箱的竖直中心线呈轴对称安装。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述固定箱的形状为圆盘状，且固定箱的表面为光滑平面。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷却箱的形状为长方体形状，且冷却箱的材料为不锈钢材料制成。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述固定夹板的形状为长方体形状，且固定夹板的数量为两组，两组固定夹板以冷却箱的竖直中心线呈轴对称安装。

与现有技术相比，本实用新型提供了氧含量监控退火炉，具备以下有益效果：

1、该监控退火炉，通过设置冷却箱，当需要对产品进行冷却的时候，可以通过电机，打开电机，通过电机的作用带动了冷却箱的转动，再通过转扇的转动将水箱的水高速拍打出去，对冷却箱内的产品进行全方位的冷却，从而达到了高效冷却的效果。

2、该监控退火炉，通过设置氧气浓度检测仪，当需要对炉内的氧气进行监控的时候，可以通过观测氧气浓度检测仪从而进行对炉内氧气浓度进行监控。

附图说明

图1为本实用新型外观图；

图2为本实用新型结构示意图；

图3为图2中A处的放大图。

图中：1、主炉；2、电机外壳；3、电机；4、冷却箱；5、弹簧；6、固定夹板；7、转轴；8、大齿轮；9、固定箱；10、条轴；11、小齿轮；12、阻隔箱；13、隔网；14、氧气浓度检测仪；15、水箱；16、通水腔；17、转扇；18、喷水管；19、炉门；20、玻璃镜。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实施方案中：氧含量监控退火炉，包括主炉1，主炉1的一侧表面上固定连接有电机外壳2，电机外壳2内部设有电机3，电机3的驱动轴终端贯穿主炉1的外壁固定连接有冷却箱4，冷却箱4的内部开设有腔体，冷却箱4的腔体两端内壁上固定连接有弹簧5，弹簧5远离冷却箱4的一端固定连接有固定夹板6，冷却箱4远离电机3驱动轴的一端外壁上固定连接有转轴7，主炉1的一侧内壁上固定连接有固定箱9，转轴7贯穿固定箱9的外壁固定连接有大齿轮8，固定箱9的内壁上转动连接有条轴10，条轴10的表面上固定连接有小齿轮11，主炉1的一侧底端内壁上固定连接有阻隔箱12，阻隔箱12的一侧外壁上安装有隔网13，阻隔箱12内部设有氧气浓度检测仪14，主炉1的顶端外壁上固定连接有水箱15，主炉1的顶端外壁上开设有通水腔16，通水腔16的内部转动连接有转扇17，主炉1的顶端内壁上固定连接有喷水管18，主炉1的一侧外壁上安装有炉门19，主炉1的底端一侧安装有玻璃镜20。

本实施例中，通水腔16、转扇17和喷水管18的数量为两组，且两组通水腔16、转扇17和喷水管18以主炉1的水平中心线呈轴对称安装，条轴10和小齿轮11的数量为两组，且两组条轴10和小齿轮11以固定箱9的竖直中心线呈轴对称安装，增加了喷水量，固定箱9的形状为圆盘状，且固定箱9的表面为光滑平面，冷却箱4的形状为长方体形状，且冷却箱4的材料为不锈钢材料制成，防止长时间使用生锈，固定夹板6的形状为长方体形状，且固定夹板6的数量为两组，两组固定夹板6以冷却箱4的竖直中心线呈轴对称安装。

本实施例中电机3和氧气浓度检测仪14为已经公开的广泛运用于日常生活的已知技术，电机3型号为“NMRV”，氧气浓度检测仪14型号为“AS8901”。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型中，首先操作者打开炉门19，将产品放置在冷却箱4中，通过弹簧5的弹力作用下带动了固定夹板6将产品进行夹固，当需要对产品进行冷却的时候，可以通过电机3，打开电机3，通过电机3的作用带动了冷却箱4的转动，再通过转扇17的转动将水箱15的水高速拍打出去，对冷却箱4内的产品进行全方位的冷却，从而达到了高效冷却的效果，当需要对炉内的氧气进行监控的时候，可以通过观测氧气浓度检测仪14从而进行对炉内氧气浓度进行监控，本实用新型，操作简单，使用方便。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.氧含量监控退火炉，包括主炉（1），其特征在于：所述主炉（1）的一侧表面上固定连接有电机外壳（2），所述电机外壳（2）内部设有电机（3），所述电机（3）的驱动轴终端贯穿主炉（1）的外壁固定连接有冷却箱（4），所述冷却箱（4）的内部开设有腔体，所述冷却箱（4）的腔体两端内壁上固定连接有弹簧（5），所述弹簧（5）远离冷却箱（4）的一端固定连接有固定夹板（6），所述冷却箱（4）远离电机（3）驱动轴的一端外壁上固定连接有转轴（7），所述主炉（1）的一侧内壁上固定连接有固定箱（9），所述转轴（7）贯穿固定箱（9）的外壁固定连接有大齿轮（8），所述固定箱（9）的内壁上转动连接有条轴（10），所述条轴（10）的表面上固定连接有小齿轮（11），所述主炉（1）的一侧底端内壁上固定连接有阻隔箱（12），所述阻隔箱（12）的一侧外壁上安装有隔网（13），所述阻隔箱（12）内部设有氧气浓度检测仪（14），所述主炉（1）的顶端外壁上固定连接有水箱（15），所述主炉（1）的顶端外壁上开设有通水腔（16），所述通水腔（16）的内部转动连接有转扇（17），所述主炉（1）的顶端内壁上固定连接有喷水管（18），所述主炉（1）的一侧外壁上安装有炉门（19），所述主炉（1）的底端一侧安装有玻璃镜（20）。

2.根据权利要求1所述的氧含量监控退火炉，其特征在于：所述通水腔（16）的底端内壁上开设有通孔，且喷水管（18）与通水腔（16）相连通。

3.根据权利要求1所述的氧含量监控退火炉，其特征在于：所述通水腔（16）、转扇（17）和喷水管（18）的数量为两组，且两组通水腔（16）、转扇（17）和喷水管（18）以主炉（1）的水平中心线呈轴对称安装。

4.根据权利要求1所述的氧含量监控退火炉，其特征在于：所述条轴（10）和小齿轮（11）的数量为两组，且两组条轴（10）和小齿轮（11）以固定箱（9）的竖直中心线呈轴对称安装。

5.根据权利要求1所述的氧含量监控退火炉，其特征在于：所述固定箱（9）的形状为圆盘状，且固定箱（9）的表面为光滑平面。

6.根据权利要求1所述的氧含量监控退火炉，其特征在于：所述冷却箱（4）的形状为长方体形状，且冷却箱（4）的材料为不锈钢材料制成。

7.根据权利要求1所述的氧含量监控退火炉，其特征在于：所述固定夹板（6）的形状为长方体形状，且固定夹板（6）的数量为两组，两组固定夹板（6）以冷却箱（4）的竖直中心线呈轴对称安装。

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