CN211072973U - 一种单晶硅晶棒倒角装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种单晶硅晶棒倒角装置，包括底座，底座两侧分别设有相互平行的转动辊，转动辊两端分别通过固定在底座上的转动座转动，两个转动辊同侧端的一侧设有夹紧转动机构，底座上设有U形滑槽，转动辊位于U形滑槽未封闭端的两侧之间，U形滑槽封闭端平行于转动辊，U形滑槽未封闭端两侧分别连通设有滑槽，滑槽另一端分别平行位于两个转动辊之间，夹紧转动机构分别与U形滑槽和滑槽滑动连接，转动辊远离U形滑槽的底座上方一侧设有平行于转动辊的丝杆，丝杆上配合设有倒角机构。本实用新型与现有技术相比优点在于：结构合理，操作简单，倒角更加方便，更加灵活。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅棒生产技术领域，特别涉及一种单晶硅晶棒倒角装置。
背景技术
现有单晶硅晶棒为圆柱结构，经过截断处理后会形成棱角，棱角结构在磕碰的情况下会形成崩边，裂晶等不良状况。由于单晶硅为脆性材料，磕碰时造成的晶锭损失不可估算，且在后端进行切片加工时会造成切片机断线等不良现象。
现有的倒角装置结构复杂，成本较大，在进行倒角作业时，一端进行固定，并转动，然后对另一端进行倒角，由于固定转动的机构为固定设置的，这样在对一端倒角完成后，需要将单晶硅棒调转方向，再对另一端进行倒角，操作复杂，影响倒角的效率，另外，无法对不同尺寸的单晶硅进行倒角，使用不够灵活。
实用新型内容
针对现有技术中的上述不足，本实用新型提供了一种单晶硅晶棒倒角装置，其结构合理，操作简单，倒角更加方便，更加灵活。
为了达到上述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案为：一种单晶硅晶棒倒角装置，包括底座，所述底座两侧分别设有相互平行的转动辊，所述转动辊两端分别通过固定在底座上的转动座转动，两个所述转动辊同侧端的一侧设有夹紧转动机构，所述夹紧转动机构包括放置座，所述放置座上设有电机，所述电机轴端平行朝向转动辊且轴端连接设有夹紧单元，所述底座上设有U形滑槽，所述转动辊位于U形滑槽未封闭端的两侧之间，所述U形滑槽封闭端平行于转动辊，所述U形滑槽未封闭端两侧分别连通设有滑槽，所述滑槽另一端分别平行位于两个转动辊之间，所述放置座底部分别与U形滑槽和滑槽滑动连接，所述转动辊远离U形滑槽的底座上方一侧设有平行于转动辊的丝杆，所述丝杆上配合设有倒角机构，所述倒角机构包括移动座和砂轮机，所述丝杆配合穿过移动座。
作为改进：所述U形滑槽和滑槽结构尺寸相同且截面均为T形结构，所述放置座下方设有与U形滑槽和滑槽相互配合的圆柱形滑块。
作为改进：所述放置座上方在电机的两侧分别配合穿过设有压紧螺栓一。
作为改进：所述夹紧单元包括与电机轴端相连的转动板，所述转动板远离电机的侧壁上沿直径方向分别设有两个气缸，所述气缸轴端朝向转动板中心且连接设有夹紧板，所述夹紧板远离气缸的一侧为弧形结构。
作为改进：所述移动座与底座通过滑轨滑动连接，所述移动座上通过滑轨二垂直于转动辊滑动设有调节座，所述调节座上转动设有角度调节盘，所述角度调节盘圆周外侧的调节座上设有量角刻度，所述角度调节盘边缘设有与量角刻度相配合的指针，所述砂轮机位于角度调节盘上，所述指针垂直于砂轮机的轴线。
作为改进：所述角度调节盘平行于转动辊两侧的调节座上分别配合穿过设有压紧螺栓二，所述砂轮机两侧的角度调节盘上分别设有压紧螺栓三。
作为改进：所述丝杆一端配合设有丝杆座，所述丝杆座固定在底座上，所述丝杆另一端伸出底座连接设有摇柄，所述丝杆相对丝杆座一侧的底座上设有与丝杆转动配合的支撑座。
本实用新型与现有技术相比优点在于：利用夹紧转动机构将单晶硅棒夹紧后进行转动，然后利用倒角机构进行倒角，一端完成后，松开夹紧转动机构，然后通过滑槽和U形滑槽将夹紧转动机构移动到另一端，然后进行夹紧转动，将倒角机构也移动到相对夹紧转动机构的一端进行再次的倒角作业，不需要将单晶硅棒调转方向，操作更加简单，并且通过倒角机构上的调节座和角度调节盘的调节，可对不同尺寸的单晶硅棒进行倒角，使用更加灵活。
附图说明
图1为本实用新型一种单晶硅晶棒倒角装置的俯视结构示意图；
图2为本实用新型一种单晶硅晶棒倒角装置调节座的俯视结构示意图；
图3为本实用新型一种单晶硅晶棒倒角装置转动板的俯视结构示意图；
图4为本实用新型一种单晶硅晶棒倒角装置角度调节盘的结构示意图；
图5为本实用新型一种单晶硅晶棒倒角装置放置座处的部分剖视结构示意图。
附图标记对照表：
1-底座、2-转动辊、3-转动座、4-放置座、5-电机、6-U形滑槽、7-滑槽、8-丝杆、9-移动座、10-调节座、11-角度调节盘、12-砂轮机、13-量角刻度、14-指针、15-圆柱形滑块、16-压紧螺栓一、17-压紧螺栓二、18-压紧螺栓三、19-转动板、20-气缸、21-夹紧板、22-丝杆座、23-摇柄、24-支撑座。
具体实施方式
下面结合附图来进一步说明本实用新型的具体实施方式。
如图1、图2、图3、图4和图5所示，一种单晶硅晶棒倒角装置，包括底座1，所述底座1两侧分别设有相互平行的转动辊2，所述转动辊2两端分别通过固定在底座1上的转动座3转动，两个所述转动辊2同侧端的一侧设有夹紧转动机构，所述夹紧转动机构包括放置座4，所述放置座4上设有电机5，所述电机5轴端平行朝向转动辊2且轴端连接设有夹紧单元，所述底座1上设有U形滑槽6，所述转动辊2位于U形滑槽6未封闭端的两侧之间，所述U形滑槽6封闭端平行于转动辊2，所述U形滑槽6未封闭端两侧分别连通设有滑槽7，所述滑槽7另一端分别平行位于两个转动辊2之间，所述放置座4底部分别与U形滑槽6和滑槽7滑动连接，所述转动辊2远离U形滑槽6的底座1上方一侧设有平行于转动辊2的丝杆8，所述丝杆8上配合设有倒角机构，所述倒角机构包括移动座9和砂轮机12，所述丝杆8配合穿过移动座9。
所述U形滑槽6和滑槽7结构尺寸相同且截面均为T形结构，所述放置座4下方设有与U形滑槽6和滑槽7相互配合的圆柱形滑块15。
所述放置座4上方在电机5的两侧分别配合穿过设有压紧螺栓一16。
所述夹紧单元包括与电机5轴端相连的转动板19，所述转动板19远离电机5的侧壁上沿直径方向分别设有两个气缸20，所述气缸20轴端朝向转动板19中心且连接设有夹紧板21，所述夹紧板21远离气缸20的一侧为弧形结构。
所述移动座9与底座1通过滑轨滑动连接，所述移动座9上通过滑轨二垂直于转动辊2滑动设有调节座10，所述调节座10上转动设有角度调节盘11，所述角度调节盘11圆周外侧的调节座10上设有量角刻度13，所述角度调节盘11边缘设有与量角刻度13相配合的指针14，所述砂轮机12位于角度调节盘11上，所述指针14垂直于砂轮机12的轴线。
所述角度调节盘11平行于转动辊2两侧的调节座10上分别配合穿过设有压紧螺栓二17，所述砂轮机12两侧的角度调节盘11上分别设有压紧螺栓三18。
所述丝杆8一端配合设有丝杆座22，所述丝杆座22固定在底座1上，所述丝杆8另一端伸出底座1连接设有摇柄23，所述丝杆8相对丝杆座22一侧的底座1上设有与丝杆8转动配合的支撑座24。
本实用新型在具体实施时，将单晶硅棒放在转动辊2上方之间，电机5轴线位于两个转动辊2之间的中心线上，利用外部控制器控制转动盘19上的气缸20伸出，使得夹紧板21夹紧单晶硅棒，并且在夹紧板21与单晶硅棒接触面设置橡胶垫，进行防滑，通过手摇摇柄23，带动丝杆8转动，从而带动移动座9移动，从而带动砂轮机12在X轴方向移动，通过在Y轴方向移动调节座10，带动砂轮机12在Y轴方向移动，到达单晶硅棒端部适当位置后，转动角度调节盘11，通过指针14所指量角刻度13数，与指针与砂轮机12之间的垂直关系进行角度的测算，然后利用压紧螺栓二17和压紧螺栓三18分别将调节座10和角度调节盘11固定，然后通过压紧螺栓一16将放置座4进行固定，然后控制电机5慢慢转动，控制砂轮机12启动，从而进行倒角作业，当一端完成后，松开压紧螺栓一16、压紧螺栓二17、压紧螺栓三18，将放置座4沿滑槽7和U形滑槽6进行移动到单晶硅棒的另一端，然后通过圆柱形滑块15，使得放置座4可以进行转动，从而使得转动盘19的夹紧板21再次进行夹紧，然后将移动座9和砂轮机12移动到另一端，再次进行X轴、Y轴和角度的移动和固定，再次进行倒角作业。
以上所述仅为本实用新型专利的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型专利，凡在本实用新型专利的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型专利的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种单晶硅晶棒倒角装置，包括底座(1)，所述底座(1)两侧分别设有相互平行的转动辊(2)，所述转动辊(2)两端分别通过固定在底座(1)上的转动座(3)转动，其特征在于：两个所述转动辊(2)同侧端的一侧设有夹紧转动机构，所述夹紧转动机构包括放置座(4)，所述放置座(4)上设有电机(5)，所述电机(5)轴端平行朝向转动辊(2)且轴端连接设有夹紧单元，所述底座(1)上设有U形滑槽(6)，所述转动辊(2)位于U形滑槽(6)未封闭端的两侧之间，所述U形滑槽(6)封闭端平行于转动辊(2)，所述U形滑槽(6)未封闭端两侧分别连通设有滑槽(7)，所述滑槽(7)另一端分别平行位于两个转动辊(2)之间，所述放置座(4)底部分别与U形滑槽(6)和滑槽(7)滑动连接，所述转动辊(2)远离U形滑槽(6)的底座(1)上方一侧设有平行于转动辊(2)的丝杆(8)，所述丝杆(8)上配合设有倒角机构，所述倒角机构包括移动座(9)和砂轮机(12)，所述丝杆(8)配合穿过移动座(9)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅晶棒倒角装置，其特征在于：所述U形滑槽(6)和滑槽(7)结构尺寸相同且截面均为T形结构，所述放置座(4)下方设有与U形滑槽(6)和滑槽(7)相互配合的圆柱形滑块(15)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅晶棒倒角装置，其特征在于：所述放置座(4)上方在电机(5)的两侧分别配合穿过设有压紧螺栓一(16)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅晶棒倒角装置，其特征在于：所述夹紧单元包括与电机(5)轴端相连的转动板(19)，所述转动板(19)远离电机(5)的侧壁上沿直径方向分别设有两个气缸(20)，所述气缸(20)轴端朝向转动板(19)中心且连接设有夹紧板(21)，所述夹紧板(21)远离气缸(20)的一侧为弧形结构。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅晶棒倒角装置，其特征在于：所述移动座(9)与底座(1)通过滑轨滑动连接，所述移动座(9)上通过滑轨二垂直于转动辊(2)滑动设有调节座(10)，所述调节座(10)上转动设有角度调节盘(11)，所述角度调节盘(11)圆周外侧的调节座(10)上设有量角刻度(13)，所述角度调节盘(11)边缘设有与量角刻度(13)相配合的指针(14)，所述砂轮机(12)位于角度调节盘(11)上，所述指针(14)垂直于砂轮机(12)的轴线。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅晶棒倒角装置，其特征在于：所述角度调节盘(11)平行于转动辊(2)两侧的调节座(10)上分别配合穿过设有压紧螺栓二(17)，所述砂轮机(12)两侧的角度调节盘(11)上分别设有压紧螺栓三(18)。
7.根据权利要求1所述的一种单晶硅晶棒倒角装置，其特征在于：所述丝杆(8)一端配合设有丝杆座(22)，所述丝杆座(22)固定在底座(1)上，所述丝杆(8)另一端伸出底座(1)连接设有摇柄(23)，所述丝杆(8)相对丝杆座(22)一侧的底座(1)上设有与丝杆(8)转动配合的支撑座(24)。
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