CN211036080U - 一种旋转靶材节缝清理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种旋转靶材节缝清理装置，包括丝杆支架、丝杆、螺母、伸缩刀组件、丝杆驱动电机、支撑管、管支架、管驱动电机和驱动轮，所述丝杆的两端通过轴承分别安装在丝杆支架上，螺母安装在丝杆上并与丝杆通过螺纹连接，伸缩刀组件连接在螺母的底部，所述支撑管的两端分别通过滚珠安装在管支架上，所述驱动轮安装在管驱动电机的输出轴上，驱动轮与支撑管的一端摩擦连接，所述支撑管位于伸缩刀组件下方。本实用新型能够有效清理旋转靶材节缝内的杂物，与现有人工清理的方式相比，既保证了的品质量，又降低了工人劳动强度，提高生产效率，解决了现有旋转靶材节缝难以清理的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种旋转靶材节缝清理装置。
背景技术
目前我国的平板显示制造企业发展迅速，国家大力支持先进产品实现国产化。目前镀膜用靶材有两种：平面靶材和旋转靶材。平面靶材溅射使用率可达到30%左右，而旋转靶材溅射使用率可达到80%左右，其次旋转靶材在使用过程中不停地旋转，靶材表面光滑，使用均匀，不会出现“结瘤现象”，可以保证靶材使用质量，镀膜的均匀性，减少缺陷率以及提高成品率。旋转靶材是目前乃至以后发展的一大趋势。
旋转靶材绑定完成后间隙清理是一项工作量比较大的工作，如果间隙内杂质无法清理，会导致靶材在使用过程中的结瘤，从而影响镀膜溅射的品质。目前是人工采用刀片的方式进行清理靶材节缝之间的间隙片，由于靶材热胀冷缩缘故，导致节缝之间的间隙片挤压特别密实，特别难以清理，操作不当的话，出现靶材（陶瓷类）端头崩裂，导致整根靶材报废。而且清理工作特别繁琐，劳动强度大，仅靠人工操作，品质无法得到有效保证，且工作效率低。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是：提供一种旋转靶材节缝清理装置，该装置能够有效清理旋转靶材节缝内的杂物，与现有人工清理的方式相比，既保证了的品质量，又降低了工人劳动强度，提高生产效率，解决了现有旋转靶材节缝难以清理的问题。
解决上述技术问题的技术方案是：一种旋转靶材节缝清理装置，包括丝杆支架、丝杆、螺母、伸缩刀组件、丝杆驱动电机、支撑管、管支架、管驱动电机和驱动轮，所述丝杆的两端通过轴承分别安装在丝杆支架上，螺母安装在丝杆上并与丝杆通过螺纹连接，伸缩刀组件连接在螺母的底部，所述支撑管的两端分别通过滚珠安装在管支架上，所述驱动轮安装在管驱动电机的输出轴上，驱动轮与支撑管的一端摩擦连接，所述支撑管位于伸缩刀组件下方。
所述伸缩刀组件包括刀套和刀片，所述刀套安装在螺母上，刀套上开设有安装槽，刀片插装在安装槽内。
所述刀套的安装槽壁上开有用于调节固定刀片高度的长条形孔，刀片通过螺杆、紧固螺母和长条形孔固定在安装槽内。
所述刀片厚度为0.2mm～0.4mm。
所述支撑管是钛管。
所述管驱动电机安装在管支架上，丝杆驱动电机安装在丝杆支架上。
由于采用上述技术方案，本实用新型具有以下有益效果：
1、采用本实用新型可以有效清理旋转靶材节缝内的杂物，即采用机械装置替换了现有的人工操作方式，通过本装置进行旋转靶材节缝中杂质的清理工作，清理效果好，能够有效避免因人工操作不当出现靶材（陶瓷类）端头崩裂的情况，能够保证产品质量。
2、采用机械清理替代人工清理，既减少了工人工作量，降低工人劳动强度，又提高了生产效率。
下面，结合附图和实施例对本实用新型之一种旋转靶材节缝清理装置的技术特征作进一步的说明。
附图说明
图1：本实用新型之一种旋转靶材节缝清理装置结构示意图（局剖）。
图2：本实用新型之一种旋转靶材节缝清理装置左视图（放大）。
图3：本实用新型之刀片高度调节固定结构示意图。
图中：1-丝杆支架，2-丝杆驱动电机，3-丝杆，4-螺母，5-伸缩刀组件，51-刀套，511-安装槽，512-长条形孔，52-刀片，53-螺杆，6-支撑管，7-管驱动电机，8-驱动轮，9-管支架，10-滚珠。
P为旋转靶材，P1表示节缝。
图2中箭头表示旋转方向。
具体实施方式
实施例1：一种旋转靶材节缝清理装置，如图1-图2所示，包括丝杆支架1、丝杆3、螺母4、伸缩刀组件5、丝杆驱动电机2、支撑管6、管支架9、管驱动电机7和驱动轮8，所述丝杆3的两端通过轴承分别安装在丝杆支架1上，螺母4安装在丝杆上并与丝杆通过螺纹连接，伸缩刀组件5连接在螺母4的底部，所述支撑管6的两端分别通过多个滚珠10安装在管支架9上，即滚珠活动安装在管支架上，支撑管直接放置在滚珠上，所述驱动轮8安装在管驱动电机7的输出轴上，驱动轮8与支撑管6的一端摩擦连接，所述支撑管位于伸缩刀组件下方。
本实施例中，所述伸缩刀组件5包括刀套51和刀片52，所述刀套安装在螺母4上，刀套上开设有安装槽511，刀片插装在安装槽内，刀片可在安装槽内上下移动并定位。
作为本本实施例的一种变换，为了确保刀片在使用过程中的位置不发生变化，所述刀套51的安装槽壁上开有用于调节固定刀片高度的长条形孔512，刀片52通过螺杆53、紧固螺母和长条形孔固定在安装槽内（如图3所示）。作为又一种变换，也可以采用其他方式固定刀片的位置，或是当通过安装槽能准确定位刀片位置时，也可以不设置长条形孔、螺杆和紧固螺母等部件。
本实施例中，所述刀片为合金刀片，厚度为0.2mm～0.4mm，硬度比较高。作为一种变换，刀片的材质、厚度可以根据实际情况调整变化。
本实施例中，所述支撑管是钛管。作为一种变换，也可以采用其他材质符合条件的圆管作为支撑管。
本实施例中，所述管驱动电机安装在管支架上，丝杆驱动电机安装在丝杆支架上。作为一种变换，管驱动电机和丝杆驱动电机的安装位置可以根据实际情况确定。
工作过程：首先将旋转靶材套装在支撑管6上，将支撑管6放置到管支架9上，支撑管的两端位于滚珠10上。然后启动丝杆驱动电机2带动丝杆3将刀片52水平移动至旋转靶材的第一节缝处，然后手动调节好刀片的高度，使刀片位于节缝内，再开启管驱动电机7带动驱动轮8转动，在摩擦力的作用下，驱动轮8带动支撑管6和旋转靶材一起旋转，刀片开始清理第一节缝，清理完成后手动调节刀片上升，移动至第二节缝处，以此类推，直至清理完成所有节缝为止。
Claims (6)
1.一种旋转靶材节缝清理装置，其特征在于：包括丝杆支架、丝杆、螺母、伸缩刀组件、丝杆驱动电机、支撑管、管支架、管驱动电机和驱动轮，所述丝杆的两端通过轴承分别安装在丝杆支架上，螺母安装在丝杆上并与丝杆通过螺纹连接，伸缩刀组件连接在螺母的底部，所述支撑管的两端分别通过滚珠安装在管支架上，所述驱动轮安装在管驱动电机的输出轴上，驱动轮与支撑管的一端摩擦连接，所述支撑管位于伸缩刀组件下方。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材节缝清理装置，其特征在于：所述伸缩刀组件包括刀套和刀片，所述刀套安装在螺母上，刀套上开设有安装槽，刀片插装在安装槽内。
3.根据权利要求2所述的一种旋转靶材节缝清理装置，其特征在于：所述刀套的安装槽壁上开有用于调节固定刀片高度的长条形孔，刀片通过螺杆、紧固螺母和长条形孔固定在安装槽内。
4.根据权利要求2或3所述的一种旋转靶材节缝清理装置，其特征在于：所述刀片厚度为0.2mm～0.4mm。
5.根据权利要求1、2或3所述的一种旋转靶材节缝清理装置，其特征在于：所述支撑管是钛管。
6.根据权利要求1、2或3所述的一种旋转靶材节缝清理装置，其特征在于：所述管驱动电机安装在管支架上，丝杆驱动电机安装在丝杆支架上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922028574.0U CN211036080U (zh) | 2019-11-21 | 2019-11-21 | 一种旋转靶材节缝清理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201922028574.0U CN211036080U (zh) | 2019-11-21 | 2019-11-21 | 一种旋转靶材节缝清理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN211036080U true CN211036080U (zh) | 2020-07-17 |
Family
ID=71535141
Family Applications (1)
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| CN201922028574.0U Active CN211036080U (zh) | 2019-11-21 | 2019-11-21 | 一种旋转靶材节缝清理装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN211036080U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113369182A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-09-10 | 芜湖映日科技股份有限公司 | 一种靶材绑定后的清缝方法 |
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2019
- 2019-11-21 CN CN201922028574.0U patent/CN211036080U/zh active Active
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