CN211029422U - 3dmems探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构，包括支撑柱、底板、顶板、电机驱动结构和调节结构，电机驱动结构包括顶板、盖板、导向槽、导向块、第一电机和轴承；调节结构包括滑槽、紧固螺栓、滑板、卡板、卡槽和调节柱。可直接将探针卡合在安装孔的内部，通过移动安装板在活动槽内部的位置来调节探针与打磨盘上表面之间的位置，再通过拧紧紧固螺栓将顶板与安装板进行固定，能够提高打磨盘的使用效率；通过第一电机可驱动螺纹柱转动，由于螺纹柱与第一螺纹孔螺纹连接，此时螺纹柱会带动导向块顺着导向槽运动，以此来调整探针与打磨盘之间的距离，适用于不同长度的探针针尖的打磨。

Description

3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构

技术领域

本实用新型涉及一种磨针装置，具体是一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构，属于3DMEMS探针卡加工技术领域。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试；将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

在现有技术中，探针在加工过程中需要对其末端进行打磨，现有的探针在打磨时容易出现打磨盘使用不充分的现象，容易出打磨盘浪费的现象，且不同型号的探针长度都大不相同，目前的磨针装置通用性不足，使用范围较窄。因此，针对上述问题提出一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种3DMEMS探针卡用磨针装置，包括从上到下依次安装的电机驱动结构、导向板、顶板、活动槽、盖板、安装板、调节结构、底板和支撑柱；

所述电机驱动结构包括导向槽、导向块、第一电机和轴承，所述导向槽开设在所述导向板的内侧面，所述导向块卡合在所述导向槽内部，且所述导向块的上表面开有第一螺纹孔；所述第一电机固接在所述导向板顶端，所述第一电机的输出轴末端固接有螺纹柱，所述螺纹柱的两端均通过所述轴承与所述导向槽内侧壁转动连接，且所述螺纹柱与所述第一螺纹孔螺纹连接；

所述调节结构包括滑槽、紧固螺栓、滑板、卡板、卡槽和调节柱，所述滑槽开设在所述活动槽的内侧壁上，所述安装板的两侧侧面均固接有滑板，所述滑板卡合在所述滑槽内部，且所述滑板的上表面开有凹槽；所述顶板的上表面开有第二螺纹孔，所述紧固螺栓与所述第二螺纹孔螺纹连接，且所述紧固螺栓的末端卡合在所述凹槽内部；所述卡槽开设在所述安装板的上表面，所述卡板固接在所述盖板的下表面，所述卡板卡合在所述卡槽内部，所述卡板的外端端面开有螺纹槽，且所述调节柱的末端贯穿所述安装板的一端并与所述螺纹槽螺合。

优选的，所述支撑柱固接在所述底板的下表面，且所述导向板固接在所述底板的上表面。

优选的，所述底板的下表面固接有第二电机，所述第二电机的输出轴末端固接有连接轴，所述连接轴底端通过所述轴承与所述底板转动连接，且所述连接轴顶端固接有打磨盘。

优选的，所述顶板的两端端面均固接有所述导向块，且所述顶板与所述导向板滑动连接。

优选的，所述安装板的上表面开有安装孔，且多个所述安装孔呈矩阵分布在所述安装板顶端。

优选的，所述导向槽与所述卡槽均为凹字型结构，且所述导向块与所述卡板均为凸字型结构。

一种3DMEMS探针卡用磨针装置用电机驱动结构，包括导向槽、导向块、第一电机和轴承，所述导向槽开设在所述导向板的内侧面，所述导向块卡合在所述导向槽内部，且所述导向块的上表面开有第一螺纹孔；所述第一电机固接在所述导向板顶端，所述第一电机的输出轴末端固接有螺纹柱，所述螺纹柱的两端均通过所述轴承与所述导向槽内侧壁转动连接，且所述螺纹柱与所述第一螺纹孔螺纹连接。

一种3DMEMS探针卡用磨针装置用调节结构包括滑槽、紧固螺栓、滑板、卡板、卡槽和调节柱，所述滑槽开设在所述活动槽的内侧壁上，所述安装板的两侧侧面均固接有滑板，所述滑板卡合在所述滑槽内部，且所述滑板的上表面开有凹槽；所述顶板的上表面开有第二螺纹孔，所述紧固螺栓与所述第二螺纹孔螺纹连接，且所述紧固螺栓的末端卡合在所述凹槽内部；所述卡槽开设在所述安装板的上表面，所述卡板固接在所述盖板的下表面，所述卡板卡合在所述卡槽内部，所述卡板的外端端面开有螺纹槽，且所述调节柱的末端贯穿所述安装板的一端并与所述螺纹槽螺合。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型可直接将探针卡合在安装孔的内部，通过移动安装板在活动槽内部的位置来调节探针与打磨盘上表面之间的位置，再通过拧紧紧固螺栓将顶板与安装板进行固定，能够提高打磨盘的使用效率；

2、本实用新型通过第一电机可驱动螺纹柱转动，由于螺纹柱与第一螺纹孔螺纹连接，此时螺纹柱会带动导向块顺着导向槽运动，以此来调整探针与打磨盘之间的距离，适用于不同长度的探针针尖的打磨。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型电机驱动结构示意图；

图3为本实用新型局部剖视图；

图4为本实用新型盖板与安装板连接图；

图5为本实用新型第二电机与打磨盘连接图；

图6为本实用新型安装板与滑板连接图。

图中：1、支撑柱，2、底板，3、导向板，31、导向槽，4、顶板，41、导向块，411、第一螺纹孔，5、活动槽，6、滑槽，7、盖板，71、卡板，711、螺纹槽，8、紧固螺栓，9、安装板，91、卡槽，10、调节柱，11、打磨盘，12、第一电机，13、轴承，14、螺纹柱，15、第二螺纹孔，16、滑板，161、凹槽，17、连接轴，18、第二电机，19、安装孔。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

具体实施例一

请参阅图1-6所示，一种3DMEMS探针卡用磨针装置，包括从上到下依次安装的电机驱动结构、导向板3、顶板4、活动槽5、盖板7、安装板9、调节结构、底板2和支撑柱1；

所述电机驱动结构包括导向槽31、导向块41、第一电机12和轴承13，所述导向槽31开设在所述导向板3的内侧面，所述导向块41卡合在所述导向槽31内部，且所述导向块41的上表面开有第一螺纹孔411；所述第一电机12固接在所述导向板3顶端，所述第一电机12的输出轴末端固接有螺纹柱14，所述螺纹柱14的两端均通过所述轴承13与所述导向槽31内侧壁转动连接，且所述螺纹柱14与所述第一螺纹孔411螺纹连接；

所述调节结构包括滑槽6、紧固螺栓8、滑板16、卡板71、卡槽91和调节柱10，所述滑槽6开设在所述活动槽5的内侧壁上，所述安装板9的两侧侧面均固接有滑板16，所述滑板16卡合在所述滑槽6内部，且所述滑板16的上表面开有凹槽161；所述顶板4的上表面开有第二螺纹孔15，所述紧固螺栓8与所述第二螺纹孔15螺纹连接，且所述紧固螺栓8的末端卡合在所述凹槽161内部；所述卡槽91开设在所述安装板9的上表面，所述卡板71固接在所述盖板7的下表面，所述卡板71卡合在所述卡槽91内部，所述卡板71的外端端面开有螺纹槽711，且所述调节柱10的末端贯穿所述安装板9的一端并与所述螺纹槽711螺合。

所述支撑柱1固接在所述底板2的下表面，且所述导向板3固接在所述底板2的上表面，便于所述支撑柱1对其顶端结构起到支撑作用；所述底板2的下表面固接有第二电机18，所述第二电机18的输出轴末端固接有连接轴17，所述连接轴17底端通过所述轴承13与所述底板2转动连接，且所述连接轴17顶端固接有打磨盘11，便于通过所述第二电机18驱动所述打磨盘11转动；所述顶板4的两端端面均固接有所述导向块41，且所述顶板4与所述导向板3滑动连接，便于所述顶板4顺着所述导向槽31运动；所述安装板9的上表面开有安装孔19，且多个所述安装孔19呈矩阵分布在所述安装板9顶端，便于将探针通过所述安装孔19卡合在安装板9内部；所述导向槽31与所述卡槽91均为凹字型结构，且所述导向块41与所述卡板71均为凸字型结构，便于两者连接的稳定性。

本实用新型在使用时，本申请中出现的电器元件在使用时均外接连通电源和控制开关，首先可将探针插在安装板9表面上的安装孔19内部，再通过卡板71与卡槽91之间的配合将盖板7卡合在安装板9的表面，通过盖板7对探针进行限定，再转动调节柱10，调节柱10的末端会螺合入螺纹槽711的内部，以此来将盖板7与安装板9进行固定；

然后使得第一电机12工作，第一电机12会驱动螺纹柱14转动，由于螺纹柱14与第一螺纹孔411螺纹连接，此时螺纹柱14会带动导向块41顺着导向槽31运动，从而带动顶板4向底端运动，以此来调节探针与打磨盘11上表面之间的距离；在使得第二电机18工作，第二电机18会带动打磨盘11转动，打磨盘11会对探针的尖端进行打磨；

最后通过移动安装板9在活动槽5内部的位置来调节探针与打磨盘11上表面之间的相对位置，再通过拧紧紧固螺栓8将顶板4与安装板9进行固定，能够提高打磨盘11的使用效率。

具体实施例二

以下实施例是本申请探针卡设计用磨针装置用电机驱动结构的实施例。

所述电机驱动结构包括导向槽31、导向块41、第一电机12和轴承13，所述导向槽31开设在所述导向板3的内侧面，所述导向块41卡合在所述导向槽31内部，且所述导向块41的上表面开有第一螺纹孔411；所述第一电机12固接在所述导向板3顶端，所述第一电机12的输出轴末端固接有螺纹柱14，所述螺纹柱14的两端均通过所述轴承13与所述导向槽31内侧壁转动连接，且所述螺纹柱14与所述第一螺纹孔411螺纹连接。

具体实施例三

以下实施例是本申请探针卡设计用磨针装置用调节结构的实施例。

所述调节结构包括滑槽6、紧固螺栓8、滑板16、卡板71、卡槽91和调节柱10，所述滑槽6开设在所述活动槽5的内侧壁上，所述安装板9的两侧侧面均固接有滑板16，所述滑板16卡合在所述滑槽6内部，且所述滑板16的上表面开有凹槽161；所述顶板4的上表面开有第二螺纹孔15，所述紧固螺栓8与所述第二螺纹孔15螺纹连接，且所述紧固螺栓8的末端卡合在所述凹槽161内部；所述卡槽91开设在所述安装板9的上表面，所述卡板71固接在所述盖板7的下表面，所述卡板71卡合在所述卡槽91内部，所述卡板71的外端端面开有螺纹槽711，且所述调节柱10的末端贯穿所述安装板9的一端并与所述螺纹槽711螺合。

需要说明的是，本申请涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种3DMEMS探针卡用磨针装置，其特征在于：包括从上到下依次安装的电机驱动结构、导向板（3）、顶板（4）、活动槽（5）、盖板（7）、安装板（9）、调节结构、底板（2）和支撑柱（1）；

所述电机驱动结构包括导向槽（31）、导向块（41）、第一电机（12）和轴承（13），所述导向槽（31）开设在所述导向板（3）的内侧面，所述导向块（41）卡合在所述导向槽（31）内部，且所述导向块（41）的上表面开有第一螺纹孔（411）；所述第一电机（12）固接在所述导向板（3）顶端，所述第一电机（12）的输出轴末端固接有螺纹柱（14），所述螺纹柱（14）的两端均通过所述轴承（13）与所述导向槽（31）内侧壁转动连接，且所述螺纹柱（14）与所述第一螺纹孔（411）螺纹连接；

所述调节结构包括滑槽（6）、紧固螺栓（8）、滑板（16）、卡板（71）、卡槽（91）和调节柱（10），所述滑槽（6）开设在所述活动槽（5）的内侧壁上，所述安装板（9）的两侧侧面均固接有滑板（16），所述滑板（16）卡合在所述滑槽（6）内部，且所述滑板（16）的上表面开有凹槽（161）；所述顶板（4）的上表面开有第二螺纹孔（15），所述紧固螺栓（8）与所述第二螺纹孔（15）螺纹连接，且所述紧固螺栓（8）的末端卡合在所述凹槽（161）内部；所述卡槽（91）开设在所述安装板（9）的上表面，所述卡板（71）固接在所述盖板（7）的下表面，所述卡板（71）卡合在所述卡槽（91）内部，所述卡板（71）的外端端面开有螺纹槽（711），且所述调节柱（10）的末端贯穿所述安装板（9）的一端并与所述螺纹槽（711）螺合。

2.根据权利要求1所述的一种3DMEMS探针卡用磨针装置，其特征在于：所述支撑柱（1）固接在所述底板（2）的下表面，且所述导向板（3）固接在所述底板（2）的上表面。

3.根据权利要求1所述的一种3DMEMS探针卡用磨针装置，其特征在于：所述底板（2）的下表面固接有第二电机（18），所述第二电机（18）的输出轴末端固接有连接轴（17），所述连接轴（17）底端通过所述轴承（13）与所述底板（2）转动连接，且所述连接轴（17）顶端固接有打磨盘（11）。

4.根据权利要求1所述的一种3DMEMS探针卡用磨针装置，其特征在于：所述顶板（4）的两端端面均固接有所述导向块（41），且所述顶板（4）与所述导向板（3）滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种3DMEMS探针卡用磨针装置，其特征在于：所述安装板（9）的上表面开有安装孔（19），且多个所述安装孔（19）呈矩阵分布在所述安装板（9）顶端。

6.根据权利要求1所述的一种3DMEMS探针卡用磨针装置，其特征在于：所述导向槽（31）与所述卡槽（91）均为凹字型结构，且所述导向块（41）与所述卡板（71）均为凸字型结构。

7.一种3DMEMS探针卡用磨针装置用电机驱动结构，其特征在于：包括导向槽（31）、导向块（41）、第一电机（12）和轴承（13），所述导向槽（31）开设在所述导向板（3）的内侧面，所述导向块（41）卡合在所述导向槽（31）内部，且所述导向块（41）的上表面开有第一螺纹孔（411）；所述第一电机（12）固接在所述导向板（3）顶端，所述第一电机（12）的输出轴末端固接有螺纹柱（14），所述螺纹柱（14）的两端均通过所述轴承（13）与所述导向槽（31）内侧壁转动连接，且所述螺纹柱（14）与所述第一螺纹孔（411）螺纹连接。

8.一种3DMEMS探针卡用磨针装置用调节结构，其特征在于：包括滑槽（6）、紧固螺栓（8）、滑板（16）、卡板（71）、卡槽（91）和调节柱（10），所述滑槽（6）开设在活动槽（5）的内侧壁上，安装板（9）的两侧侧面均固接有滑板（16），所述滑板（16）卡合在所述滑槽（6）内部，且所述滑板（16）的上表面开有凹槽（161）；顶板（4）的上表面开有第二螺纹孔（15），所述紧固螺栓（8）与所述第二螺纹孔（15）螺纹连接，且所述紧固螺栓（8）的末端卡合在所述凹槽（161）内部；所述卡槽（91）开设在所述安装板（9）的上表面，所述卡板（71）固接在盖板（7）的下表面，所述卡板（71）卡合在所述卡槽（91）内部，所述卡板（71）的外端端面开有螺纹槽（711），且所述调节柱（10）的末端贯穿所述安装板（9）的一端并与所述螺纹槽（711）螺合。

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