CN211015013U - 一种光刻机用上版夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光刻机用上版夹具，包括装置主体、吸气头和吸气泵，所述装置主体的上侧安装有吸盘，且吸盘之间固定有外支杆，所述装置主体侧边开设有调节滑槽，且调节滑槽的外侧设置有外挡块和限位件，所述外挡块的中间固定有调节杆，且调节杆上固定有内挡块，所述内挡块位于装置主体的内部，且装置主体的上侧开设有位移槽，所述吸盘穿过位移槽与吸气头相连接，且吸气头的下端连接有吸气泵。该光刻机用上版夹具，可以使用吸附的方式完成对芯片板材的固定工作，同时吸盘之间设置有外支杆，通过外支杆的设置，也可以对芯片板材进行夹持固定，从而通过吸盘和外支杆配合工作，便可以保证芯片板材的固定状态稳定安全。

Description

一种光刻机用上版夹具

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机用上版夹具。

背景技术

光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种：有用于生产芯片的光刻机；有用于封装的光刻机；还有用于LED制造领域的投影光刻机，在光刻机的使用中，通常都会配用上版夹具，用于固定芯片板材，而目前一些上版夹具在使用中存在一定的问题。

例如，有的上版夹具对于芯片板材的固定方式过于单一，无法保证芯片板材固定状态的问题，还有的上版夹具整体结构较为复杂，无法高效的完成对芯片板材的固定工作。

所以我们提出了一种光刻机用上版夹具，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机用上版夹具，以解决上述背景技术提出的目前有的上版夹具对于芯片板材的固定方式过于单一，还有的上版夹具整体结构较为复杂，无法高效的完成对芯片板材固定工作的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机用上版夹具，包括装置主体、吸气头和吸气泵，所述装置主体的上侧安装有吸盘，且吸盘之间固定有外支杆，所述装置主体侧边开设有调节滑槽，且调节滑槽的外侧设置有外挡块和限位件，并且外挡块和限位件之间安装有弹簧，所述外挡块的中间固定有调节杆，且调节杆上固定有内挡块，所述内挡块位于装置主体的内部，且装置主体的上侧开设有位移槽，所述吸盘穿过位移槽与吸气头相连接，且吸气头的下端连接有吸气泵，所述吸气头的外侧连接有控制架，且控制架的中间通过第一转杆与装置主体相连接，所述控制架的下端安装有连接杆，且连接杆上连接有第二转杆，并且第二转杆的一端与调节杆相连接，所述控制架的上端开设有驱动滑槽，且驱动滑槽的内部连接有吸气头。

优选的，所述吸盘通过位移槽在装置主体的上侧面构成滑动结构，且吸盘的下端通过驱动滑槽与控制架之间为活动卡合连接。

优选的，所述外支杆位于吸盘之间，且外支杆的前端呈L型，并且外支杆的前端高度等于吸盘的高度。

优选的，所述调节滑槽的内侧边为锯齿形结构，且限位件内端头为正四棱柱结构，并且限位件前端嵌入调节滑槽内，并与之尺寸吻合相连接。

优选的，所述限位件套接在调节杆上，且限位件位于装置主体的外侧，并且限位件整体为阶梯型。

优选的，所述控制架通过第一转杆在装置主体内部构成转动结构，且控制架的下端通过第二转杆与连接杆之间为活动连接，并且连接杆的另一端与调节杆之间为活动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该光刻机用上版夹具；

（1）在装置主体上侧设置有吸盘，可以使用吸附的方式完成对芯片板材的固定工作，同时吸盘之间设置有外支杆，通过外支杆的设置，也可以对芯片板材进行夹持固定，从而通过吸盘和外支杆配合工作，便可以保证芯片板材的固定状态稳定安全；

（2）在装置主体的内部设置有调节杆、控制架和连接杆，通过其组成的连杆机构，能够自由控制吸盘和外支杆在装置主体上侧的位置，从而能够方便吸盘和外支杆对芯片板材的固定工作，提高了芯片板材的固定效率，同时组成的连杆机构整体也较为简单，方便进行检修，提高了该上版夹具的使用性能。

附图说明

图1为本实用新型主视结构示意图；

图2为本实用新型俯视结构示意图；

图3为本实用新型侧剖结构示意图；

图4为本实用新型俯剖结构示意图；

图5为本实用新型图4中A处结构示意图；

图6为本实用新型主剖结构示意图；

图7为本实用新型主剖结构示意图；

图8为本实用新型主剖结构示意图。

图中：1、装置主体；2、吸盘；3、外支杆；4、调节滑槽；5、外挡块；6、限位件；7、弹簧；8、内挡块；9、调节杆；10、位移槽；11、吸气头；12、吸气泵；13、控制架；14、第一转杆；15、连接杆；16、第二转杆；17、驱动滑槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-8，本实用新型提供一种技术方案：一种光刻机用上版夹具，包括装置主体1、吸盘2、外支杆3、调节滑槽4、外挡块5、限位件6、弹簧7、内挡块8、调节杆9、位移槽10、吸气头11、吸气泵12、控制架13、第一转杆14、连接杆15、第二转杆16和驱动滑槽17，装置主体1的上侧安装有吸盘2，且吸盘2之间固定有外支杆3，装置主体1侧边开设有调节滑槽4，且调节滑槽4的外侧设置有外挡块5和限位件6，并且外挡块5和限位件6之间安装有弹簧7，外挡块5的中间固定有调节杆9，且调节杆9上固定有内挡块8，内挡块8位于装置主体1的内部，且装置主体1的上侧开设有位移槽10，吸盘2穿过位移槽10与吸气头11相连接，且吸气头11的下端连接有吸气泵12，吸气头11的外侧连接有控制架13，且控制架13的中间通过第一转杆14与装置主体1相连接，控制架13的下端安装有连接杆15，且连接杆15上连接有第二转杆16，并且第二转杆16的一端与调节杆9相连接，控制架13的上端开设有驱动滑槽17，且驱动滑槽17的内部连接有吸气头11。

吸盘2通过位移槽10在装置主体1的上侧面构成滑动结构，且吸盘2的下端通过驱动滑槽17与控制架13之间为活动卡合连接，可以方便改变吸盘2的工作位置，提高了吸盘2的使用效率。

外支杆3位于吸盘2之间，且外支杆3的前端呈L型，并且外支杆3的前端高度等于吸盘2的高度，可以方便对芯片板材进行夹持工作，同时也降低了对吸盘2工作的不良影响。

调节滑槽4的内侧边为锯齿形结构，且限位件6内端头为正四棱柱结构，并且限位件6前端嵌入调节滑槽4内，并与之尺寸吻合相连接，可以方便固定限位件6的位置。

限位件6套接在调节杆9上，且限位件6位于装置主体1的外侧，并且限位件6整体为阶梯型，方便通过限位件6限制调节杆9的活动。

控制架13通过第一转杆14在装置主体1内部构成转动结构，且控制架13的下端通过第二转杆16与连接杆15之间为活动连接，并且连接杆15的另一端与调节杆9之间为活动连接，可以方便通过调节杆9控制吸盘2的位置，从而能够提高该上版夹具的使用效率。

工作原理：在使用该光刻机用上版夹具时，首先根据图1-5，将需要固定的芯片板材放置到吸盘2上，同时要确保芯片板材位于外支杆3前端内侧，便可以双手捏住外挡块5和限位件6，使限位件6脱离调节滑槽4，便可以使调节杆9在调节滑槽4内部进行上下位置移动（如图4-5所示）；

当使调节杆9上下移动时，其上连接的连接杆15便会推拉控制架13的下端，使控制架13通过第一转杆14在装置主体1内部转动，而当控制架13转动时，其上端便会推着吸气头11通过位移槽10带着吸盘2进行位移，从而能够改变吸盘2和外支杆3在装置主体1上的位置（如图6-8所示），当吸盘2和外支杆3在装置主体1上移动时，外支杆3便会对其中间的芯片板材先进行夹持固定工作；

当外支杆3夹持着芯片板材后，松开限位件6，在弹簧7的作用下，限位件6重新卡在调节滑槽4，便可以对吸盘2和外支杆3的位置进行固定，最后通过吸气泵12使吸盘2吸附在芯片板材下侧，对其进行固定工作，以上便完成了该上版夹具固定工作，且本说明书中未作详细描述的内容，例如吸气头11和吸气泵12，均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种光刻机用上版夹具，包括装置主体（1）、吸气头（11）和吸气泵（12），其特征在于：所述装置主体（1）的上侧安装有吸盘（2），且吸盘（2）之间固定有外支杆（3），所述装置主体（1）侧边开设有调节滑槽（4），且调节滑槽（4）的外侧设置有外挡块（5）和限位件（6），并且外挡块（5）和限位件（6）之间安装有弹簧（7），所述外挡块（5）的中间固定有调节杆（9），且调节杆（9）上固定有内挡块（8），所述内挡块（8）位于装置主体（1）的内部，且装置主体（1）的上侧开设有位移槽（10），所述吸盘（2）穿过位移槽（10）与吸气头（11）相连接，且吸气头（11）的下端连接有吸气泵（12），所述吸气头（11）的外侧连接有控制架（13），且控制架（13）的中间通过第一转杆（14）与装置主体（1）相连接，所述控制架（13）的下端安装有连接杆（15），且连接杆（15）上连接有第二转杆（16），并且第二转杆（16）的一端与调节杆（9）相连接，所述控制架（13）的上端开设有驱动滑槽（17），且驱动滑槽（17）的内部连接有吸气头（11）。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于：所述吸盘（2）通过位移槽（10）在装置主体（1）的上侧面构成滑动结构，且吸盘（2）的下端通过驱动滑槽（17）与控制架（13）之间为活动卡合连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于：所述外支杆（3）位于吸盘（2）之间，且外支杆（3）的前端呈L型，并且外支杆（3）的前端高度等于吸盘（2）的高度。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于：所述调节滑槽（4）的内侧边为锯齿形结构，且限位件（6）内端头为正四棱柱结构，并且限位件（6）前端嵌入调节滑槽（4）内，并与之尺寸吻合相连接。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于：所述限位件（6）套接在调节杆（9）上，且限位件（6）位于装置主体（1）的外侧，并且限位件（6）整体为阶梯型。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机用上版夹具，其特征在于：所述控制架（13）通过第一转杆（14）在装置主体（1）内部构成转动结构，且控制架（13）的下端通过第二转杆（16）与连接杆（15）之间为活动连接，并且连接杆（15）的另一端与调节杆（9）之间为活动连接。

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