CN210974868U - 一种不等间距舟片的石墨舟 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种不等间距舟片的石墨舟，包括石墨舟本体，所述石墨舟本体包括多个石墨舟片和多个陶瓷杆，多个石墨舟片均活动套设在多个陶瓷杆上，所述石墨舟片的一侧开设有两个第一通孔，多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆分别位于对应的第一通孔内，多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆相互远离的一侧均开设有第一滑槽，位于同一个石墨舟片上的两个第一通孔相互远离的一侧内壁上均固定安装有第一滑块。本实用新型设计合理，操作方便，便于根据实际需要对相邻的两个石墨舟片之间的间距进行调节，提高镀膜的均匀性，避免因气体或温度不确定因素的影响造成的镀膜不均匀的现象，满足使用需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及石墨舟技术领域，尤其涉及一种不等间距舟片的石墨舟。
背景技术
目前在太阳能电池的生产工艺过程中,通常采用管式PECVD进行太阳能电池的镀膜，进行镀膜时，电池片镀膜时的载具通常为石墨舟，现有的石墨舟主要由多个石墨舟片和多个陶瓷杆组成，在镀膜时,石墨舟片间接入射频电源，硅片作为电极的一部分。
但是现有的石墨舟上相邻的两个石墨舟片之间的间距不便于根据实际需要进行调节，石墨舟片之间的距离都是等间距，且固定设置的，所以其中的电场强度一致，但是由于反应气体分布、温度等一些不确定因素的影响,在电场强度一致的情况下，容易造成在镀膜结束后，石墨舟外侧的膜厚往往较厚,影响了整舟的镀膜均匀性，不能满足使用需求，因此我们提出了一种不等间距舟片的石墨舟用于解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种不等间距舟片的石墨舟。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种不等间距舟片的石墨舟，包括石墨舟本体，所述石墨舟本体包括多个石墨舟片和多个陶瓷杆，多个石墨舟片均活动套设在多个陶瓷杆上，所述石墨舟片的一侧开设有两个第一通孔，多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆分别位于对应的第一通孔内，多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆相互远离的一侧均开设有第一滑槽，位于同一个石墨舟片上的两个第一通孔相互远离的一侧内壁上均固定安装有第一滑块，第一滑块与对应的第一滑槽滑动连接，石墨舟片的一侧开设有两个矩形槽，位于同一个石墨舟片上的两个第一通孔位于对应的两个矩形槽之间，矩形槽的两侧内壁之间固定安装有两个定位杆，位于同一个矩形槽内的两个定位杆上滑动套设有同一个移动杆，移动杆靠近对应的陶瓷杆的一侧固定连接有螺杆，位于同一个石墨舟片上的两个螺杆的螺纹旋向相反，螺杆上螺纹套设有转动安装在对应的矩形槽一侧内壁上的旋钮，旋钮的顶部延伸至对应的石墨舟片的上方，螺杆远离对应的移动杆的一端延伸至对应的第一滑槽内并与第一滑槽远离其开口的一侧内壁紧密接触，螺杆远离对应的移动杆的一端设为锥形结构，所述第一滑块套设在对应的螺杆上，位于两侧的上方的两个陶瓷杆相互靠近的一侧均开设有第二滑槽，位于同一个石墨舟片上的两个第一通孔相互靠近的一侧内壁上均固定安装有第二滑块，第二滑块与对应的第二滑槽滑动连接。
优选的，所述旋钮的一侧开设有螺纹孔，螺纹孔与对应的螺杆螺纹连接。
优选的，所述第一滑块的一侧开设有第一通孔，螺杆位于对应的第一通孔内，第一通孔的侧壁与对应的螺杆的外侧不接触。
优选的，所述移动杆的一侧开设有两个矩形孔，矩形孔的侧壁与对应的定位杆的外侧滑动连接。
优选的，所述第一滑块的顶部和底部分别与对应的第一滑槽的顶部内壁和底部内壁滑动连接。
优选的，所述第二滑块的顶部和底部分别与对应的第二滑槽的顶部内壁和底部内壁滑动连接。
优选的，所述矩形槽的一侧内壁上开设有圆环形滑槽，旋钮的一侧固定安装有圆环形滑轨，圆环形滑槽与对应的圆环形滑轨滑动连接。
优选的，所述矩形槽的顶部内壁上开设有第二通孔，旋钮位于对应的第二通孔内，第二通孔的侧壁与对应的旋钮的外侧不接触。
与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：
通过石墨舟片、陶瓷杆、第一通孔、第一滑块、第一滑槽、矩形槽、定位杆、移动杆、旋钮、螺杆、第二滑槽、第二滑块与第二通孔相配合，当需要对相邻的两个石墨舟片之间的间距进行调节时，正向转动对应的旋钮带动对应的螺杆移动，螺杆移动的同时带动对应的移动杆在定位杆上滑动，螺杆移动的同时逐渐与对应的第一滑槽远离其开口的一侧内壁相分离，紧接着推动对应的石墨舟片在多个陶瓷杆上滑动，移动石墨舟片到合适的位置时，停止推动石墨舟片，紧接着反向转动对应的旋钮，同理与正向转动旋钮的运动方向相反，螺杆移动的同时使得其一端与对应的第一滑槽远离其开口的一侧内壁紧密接触，进而使得石墨舟片被固定。
本实用新型设计合理，操作方便，便于根据实际需要对相邻的两个石墨舟片之间的间距进行调节，提高镀膜的均匀性，避免因气体或温度不确定因素的影响造成的镀膜不均匀的现象，满足使用需求。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种不等间距舟片的石墨舟的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种不等间距舟片的石墨舟的俯视结构示意图；
图3为图2的剖视结构示意图；
图4为图3中A部分的结构示意图；
图5为图2中B部分的结构示意图。
图中：1石墨舟片、2陶瓷杆、3第一通孔、4第一滑块、5第一滑槽、6矩形槽、7定位杆、8移动杆、9旋钮、10螺杆、11第二滑槽、12第二滑块、13第二通孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-5，一种不等间距舟片的石墨舟，包括石墨舟本体，石墨舟本体包括多个石墨舟片1和多个陶瓷杆2，多个石墨舟片1均活动套设在多个陶瓷杆2上，石墨舟片1的一侧开设有两个第一通孔3，多个陶瓷杆2中位于两侧的上方的两个陶瓷杆2分别位于对应的第一通孔3内，多个陶瓷杆2中位于两侧的上方的两个陶瓷杆2相互远离的一侧均开设有第一滑槽5，位于同一个石墨舟片1上的两个第一通孔3相互远离的一侧内壁上均固定安装有第一滑块4，第一滑块4与对应的第一滑槽5滑动连接，石墨舟片1的一侧开设有两个矩形槽6，位于同一个石墨舟片1上的两个第一通孔3位于对应的两个矩形槽6之间，矩形槽6的两侧内壁之间固定安装有两个定位杆7，位于同一个矩形槽6内的两个定位杆7上滑动套设有同一个移动杆8，移动杆8靠近对应的陶瓷杆2的一侧固定连接有螺杆10，位于同一个石墨舟片1上的两个螺杆10的螺纹旋向相反，螺杆10上螺纹套设有转动安装在对应的矩形槽6一侧内壁上的旋钮9，旋钮9的顶部延伸至对应的石墨舟片1的上方，螺杆10远离对应的移动杆8的一端延伸至对应的第一滑槽5内并与第一滑槽5远离其开口的一侧内壁紧密接触，螺杆10远离对应的移动杆8的一端设为锥形结构，第一滑块4套设在对应的螺杆10上，位于两侧的上方的两个陶瓷杆2相互靠近的一侧均开设有第二滑槽11，位于同一个石墨舟片1上的两个第一通孔3相互靠近的一侧内壁上均固定安装有第二滑块12，第二滑块12与对应的第二滑槽11滑动连接，本实用新型设计合理，操作方便，便于根据实际需要对相邻的两个石墨舟片1之间的间距进行调节，提高镀膜的均匀性，避免因气体或温度不确定因素的影响造成的镀膜不均匀的现象，满足使用需求。
本实用新型中，旋钮9的一侧开设有螺纹孔，螺纹孔与对应的螺杆10螺纹连接，第一滑块4的一侧开设有第一通孔，螺杆10位于对应的第一通孔内，第一通孔的侧壁与对应的螺杆10的外侧不接触，移动杆8的一侧开设有两个矩形孔，矩形孔的侧壁与对应的定位杆7的外侧滑动连接，第一滑块4的顶部和底部分别与对应的第一滑槽5的顶部内壁和底部内壁滑动连接，第二滑块12的顶部和底部分别与对应的第二滑槽11的顶部内壁和底部内壁滑动连接，矩形槽6的一侧内壁上开设有圆环形滑槽，旋钮9的一侧固定安装有圆环形滑轨，圆环形滑槽与对应的圆环形滑轨滑动连接，矩形槽6的顶部内壁上开设有第二通孔13，旋钮9位于对应的第二通孔13内，第二通孔13的侧壁与对应的旋钮9的外侧不接触，本实用新型设计合理，操作方便，便于根据实际需要对相邻的两个石墨舟片1之间的间距进行调节，提高镀膜的均匀性，避免因气体或温度不确定因素的影响造成的镀膜不均匀的现象，满足使用需求。
工作原理：使用时，当需要对相邻的两个石墨舟片1之间的间距进行调节时，正向转动对应的旋钮9，在开设在旋钮9移动的螺纹孔的作用下，旋钮9转动的同时带动对应的螺杆10移动，使得位于同一个石墨舟片1上的两个螺杆10向相互远离的方向移动，螺杆10移动的同时带动对应的移动杆8在定位杆7上滑动，螺杆10移动的同时逐渐与对应的第一滑槽5远离其开口的一侧内壁相分离，停止转动旋钮9，进而解除了对石墨舟片1的固定，紧接着推动对应的石墨舟片1，使得石墨舟片1在多个陶瓷杆2上滑动，石墨舟片1带动对应的第二滑块在第二滑槽11内滑动，移动石墨舟片1到合适的位置时，停止推动石墨舟片1，紧接着反向转动对应的旋钮9，同理与正向转动旋钮9的运动方向相反，使得位于同一个石墨舟片1上的两个螺杆10向相互靠近的方向移动，螺杆10移动的同时使得其一端与对应的第一滑槽5远离其开口的一侧内壁紧密接触，进而使得石墨舟片1被固定，使得便于根据实际需要对相邻的两个石墨舟片1之间的间距进行调节，提高镀膜的均匀性。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种不等间距舟片的石墨舟，包括石墨舟本体，所述石墨舟本体包括多个石墨舟片(1)和多个陶瓷杆(2)，多个石墨舟片(1)均活动套设在多个陶瓷杆(2)上，其特征在于，所述石墨舟片(1)的一侧开设有两个第一通孔(3)，多个陶瓷杆(2)中位于两侧的上方的两个陶瓷杆(2)分别位于对应的第一通孔(3)内，多个陶瓷杆(2)中位于两侧的上方的两个陶瓷杆(2)相互远离的一侧均开设有第一滑槽(5)，位于同一个石墨舟片(1)上的两个第一通孔(3)相互远离的一侧内壁上均固定安装有第一滑块(4)，第一滑块(4)与对应的第一滑槽(5)滑动连接，石墨舟片(1)的一侧开设有两个矩形槽(6)，位于同一个石墨舟片(1)上的两个第一通孔(3)位于对应的两个矩形槽(6)之间，矩形槽(6)的两侧内壁之间固定安装有两个定位杆(7)，位于同一个矩形槽(6)内的两个定位杆(7)上滑动套设有同一个移动杆(8)，移动杆(8)靠近对应的陶瓷杆(2)的一侧固定连接有螺杆(10)，位于同一个石墨舟片(1)上的两个螺杆(10)的螺纹旋向相反，螺杆(10)上螺纹套设有转动安装在对应的矩形槽(6)一侧内壁上的旋钮(9)，旋钮(9)的顶部延伸至对应的石墨舟片(1)的上方，螺杆(10)远离对应的移动杆(8)的一端延伸至对应的第一滑槽(5)内并与第一滑槽(5)远离其开口的一侧内壁紧密接触，螺杆(10)远离对应的移动杆(8)的一端设为锥形结构，所述第一滑块(4)套设在对应的螺杆(10)上，位于两侧的上方的两个陶瓷杆(2)相互靠近的一侧均开设有第二滑槽(11)，位于同一个石墨舟片(1)上的两个第一通孔(3)相互靠近的一侧内壁上均固定安装有第二滑块(12)，第二滑块(12)与对应的第二滑槽(11)滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种不等间距舟片的石墨舟，其特征在于，所述旋钮(9)的一侧开设有螺纹孔，螺纹孔与对应的螺杆(10)螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种不等间距舟片的石墨舟，其特征在于，所述第一滑块(4)的一侧开设有第一通孔，螺杆(10)位于对应的第一通孔内，第一通孔的侧壁与对应的螺杆(10)的外侧不接触。
4.根据权利要求1所述的一种不等间距舟片的石墨舟，其特征在于，所述移动杆(8)的一侧开设有两个矩形孔，矩形孔的侧壁与对应的定位杆(7)的外侧滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种不等间距舟片的石墨舟，其特征在于，所述第一滑块(4)的顶部和底部分别与对应的第一滑槽(5)的顶部内壁和底部内壁滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种不等间距舟片的石墨舟，其特征在于，所述第二滑块(12)的顶部和底部分别与对应的第二滑槽(11)的顶部内壁和底部内壁滑动连接。
7.根据权利要求1所述的一种不等间距舟片的石墨舟，其特征在于，所述矩形槽(6)的一侧内壁上开设有圆环形滑槽，旋钮(9)的一侧固定安装有圆环形滑轨，圆环形滑槽与对应的圆环形滑轨滑动连接。
8.根据权利要求1所述的一种不等间距舟片的石墨舟，其特征在于，所述矩形槽(6)的顶部内壁上开设有第二通孔(13)，旋钮(9)位于对应的第二通孔(13)内，第二通孔(13)的侧壁与对应的旋钮(9)的外侧不接触。
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| CN201921777403.1U CN210974868U (zh) | 2019-10-22 | 2019-10-22 | 一种不等间距舟片的石墨舟 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN116988045A (zh) * | 2023-09-28 | 2023-11-03 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 一种电场馈入结构及沉积设备 |
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- 2019-10-22 CN CN201921777403.1U patent/CN210974868U/zh active Active
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| CN116988045B (zh) * | 2023-09-28 | 2024-01-02 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 一种电场馈入结构及沉积设备 |
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