CN210966115U - 一种硅片料清洗机反应容器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片料清洗机反应容器，包括滚筒、上料管道和支架，所述滚筒外壁左右位置开设有滑槽，且滚筒上中间位置固定有锯齿，所述上料管道的下端固定有支撑杆，所述上料管道的上端从左到右依次固定有第一计量机构和第二计量机构，所述支架的上端前后对称位置分别固定有转动机构和传动机构，且转动机构包括第一滑轮、第一轴承座、第一齿轮、转动轴和伺服电机，所述支架的前端固定有PLC控制器，且PLC控制器的输出端与伺服电机的输入端电性连接。本实用新型通过设置滚筒、上料管道、第一计量机构、第二计量机构、转动机构和传动机构，解决了清洗机反应容器清洗效果不佳和没有计量功能配置清洗液时耗时耗力的问题。

Description

一种硅片料清洗机反应容器

技术领域

本实用新型涉及硅片料碱洗技术领域，具体为一种硅片料清洗机反应容器。

背景技术

碱洗是一种化学清洗方法。用氢氧化钠和碳酸钠或磷酸三钠配制成的高强度碱液，以软化、松动及分散沉淀物。往往添加一些表面活性剂以增加清洗效果，硅片料在清洗时就需要用清洗机反应容器，目前，现有的反应容器大多数都是敞开式碱液反应，碱液飞溅容易伤人，表面片料暴露在空气中容易产生氧化，人工搅拌促使反应不均匀，部分叠片现象不能使其完全反应，难以将叠片中间的脏污清洁干净，且没有计量功能，在配置清洗液时耗时耗力。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片料清洗机反应容器，解决了清洗机反应容器清洗效果不佳和没有计量功能配置清洗液时耗时耗力的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片料清洗机反应容器，包括滚筒、上料管道、支架和回收箱，所述滚筒外壁左右位置开设有滑槽，且滚筒上中间位置固定有锯齿，所述上料管道的上端从左到右依次固定有第一计量机构和第二计量机构，所述支架的上端前后对称位置分别固定有转动机构和传动机构，且转动机构包括第一滑轮、第一轴承座、第一齿轮、转动轴和伺服电机，所述支架的前端固定有PLC控制器，且PLC控制器的输出端与伺服电机的输入端电性连接，所述回收箱的左部固定有第二运输管。

优选的，所述上料管道的下端固定有支撑杆，且上料管道的左部贯穿滚筒右端开设的上料口。

优选的，所述第一计量机构包括漏斗、量筒和运输管，且量筒的上下端分别固定有漏斗和运输管，所述量筒的前端设置有刻度线，所述运输管上固定有阀门。

优选的，所述伺服电机的输出端与转动轴转动连接，且转动轴上从左到右依次与第一滑轮和第一齿轮固定连接，所述转动轴与第一轴承座转动连接。

优选的，所述滚筒通过滑槽与第一滑轮滚动连接，且滚筒通过锯齿与第一齿轮啮合连接。

优选的，所述传动机构包括第二滑轮、第二轴承座、传动轴和第二齿轮，且传动轴的左右端都与第二滑轮固定连接，所述传动轴的中间位置与第二齿轮固定连接，且传动轴与第二轴承座转动连接。

优选的，所述滚筒通过滑槽与第二滑轮滚动连接，且滚筒通过锯齿与第二齿轮啮合连接。

优选的，所述回收箱上第二运输管的左端固定有水泵，且水泵的上端固定有第一运输管，所述水泵的输入端与PLC控制器的输出端电性连接。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种硅片料清洗机反应容器，具备以下有益效果：

(1)本实用新型通过设置滚筒、转动机构和传动机构，解决了清洗机反应容器清洗效果不佳的问题，利用支架上前后对称位置分别固定有转动机构和传动机构，且转动机构包括第一滑轮、第一轴承座、第一齿轮、转动轴和伺服电机，通过PLC控制器控制伺服电机转速和方向，伺服电机运转时会通过转动轴带动第一滑轮和第一齿轮转动，而第一齿轮会通过锯齿带动滚筒旋转，再利用传动机构包括第二滑轮、第二轴承座、传动轴和第二齿轮，第二滑轮和第二齿轮与滚筒的连接起到支撑效果，本实用新型是旋转的筒式反应器皿，防止碱液桶内飞溅，安全性高，能够使硅片料表面充分的和碱液反应，清洗效果俱佳。

(2)本实用新型通过设置上料管道、第一计量机构和第二计量机构，解决了清洗机反应容器没有计量功能配置清洗液时耗时耗力的问题，利用上料管道上从左到右依次固定有第一计量机构和第二计量机构，且第一计量机构包括漏斗、量筒和运输管，可沿着漏斗的内壁注入配置清洗液的原料，同时观察量筒上的刻度线，注入适量的原料后打开运输管上的阀门，量筒内的原料会由于重力作用通过上料管道掉落入滚筒内，按上述相同方法操作第二计量机构，达到具有计量的效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型图1中滚筒的结构示意图；

图3为本实用新型图1中第一计量机构的结构示意图；

图4为本实用新型图1中转动机构的结构示意图；

图5为本实用新型图1中转动机构与支架的俯视连接示意图；

图6为本实用新型图5中传动机构的结构示意图；

图7为本实用新型的原理框图。

图中附图标记为：1、滚筒；2、上料管道；3、第一计量机构；4、第二计量机构；5、支架；6、PLC控制器；7、转动机构；8、支撑杆；9、滑槽；10、锯齿；11、上料口；12、漏斗；13、量筒；14、刻度线；15、运输管；16、阀门；17、第一滑轮；18、第一轴承座；19、第一齿轮；20、转动轴；21、伺服电机；22、传动机构；23、第二滑轮；24、第二轴承座；25、传动轴；26、第二齿轮；27、第一运输管；28、回收箱；29、水泵；30、第二运输管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-7所示，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片料清洗机反应容器，包括滚筒1、上料管道2、支架5和回收箱28，滚筒1外壁左右位置开设有滑槽9，且滚筒1上中间位置固定有锯齿10，上料管道2的上端从左到右依次固定有第一计量机构3和第二计量机构4，第一计量机构3和第二计量机构4都可通过量筒13的刻度线14适量添加碱液原料，便于配置清洗液，提高实用性，支架5的上端前后对称位置分别固定有转动机构7和传动机构22，且转动机构7包括第一滑轮17、第一轴承座18、第一齿轮19、转动轴20和伺服电机21，伺服电机21的型号为Y2100L2，已知现有技术，通过转动机构7的伺服电机21来驱动，伺服电机21运转带动滚筒1转动，而滚筒1会带动传动机构22转动，搅拌清洗时能防止碱液桶内飞溅，使硅片料表面充分的和碱液反应，支架5的前端固定有PLC控制器6，PLC控制器6的型号为S7400，已知现有技术，且PLC控制器6的输出端与伺服电机21的输入端电性连接，回收箱28的左部固定有第二运输管30。

进一步，上料管道2的下端固定有支撑杆8，支撑杆8用于支撑上料管道2，且上料管道2的左部贯穿滚筒1右端开设的上料口11，上料管道2的左部贯穿上料口11，在不影响滚动的情况下能防止上料时碱液飞溅，避免造成经济和资源上的损失。

进一步，第一计量机构3包括漏斗12、量筒13和运输管15，且量筒13的上下端分别固定有漏斗12和运输管15，量筒13的前端设置有刻度线14，运输管15上固定有阀门16，向漏斗12注入碱液原料，再通过量筒13上的刻度线14，注入适量的原料后打开阀门16，量筒13内的碱液原料会通过上料管道掉2落入滚筒1内，即可实现计量，提高实用性。

进一步，伺服电机21的输出端与转动轴20转动连接，且转动轴20上从左到右依次与第一滑轮17和第一齿轮19固定连接，转动轴20与第一轴承座18转动连接，伺服电机21转动，便于带动第一滑轮17和第一齿轮19旋转，而第一轴承座18将转动机构7与支架5连接，起到支撑的效果。

进一步，滚筒1通过滑槽9与第一滑轮17滚动连接，且滚筒1通过锯齿10与第一齿轮19啮合连接，旋转的第一滑轮17和第一齿轮19会带动滚筒1转动，便于搅拌清洗硅片料。

进一步，传动机构22包括第二滑轮23、第二轴承座24、传动轴25和第二齿轮26，且传动轴25的左右端都与第二滑轮23固定连接，传动轴25的中间位置与第二齿轮26固定连接，且传动轴25与第二轴承座24转动连接，第二滑轮23和第二齿轮26转动便于带动传动轴25旋转，而第二轴承座24将传动机构22与支架5连接，起到支撑的效果。

进一步，滚筒1通过滑槽9与第二滑轮23滚动连接，且滚筒1通过锯齿10与第二齿轮26啮合连接，滚筒1旋转会带动第二滑轮23和第二齿轮26转动，第二滑轮23和第二齿轮26起到支撑滚筒1的效果。

进一步，回收箱28上第二运输管30的左端固定有水泵29，水泵29的型号为ISGD，且水泵29的上端固定有第一运输管27，水泵29的输入端与PLC控制器6的输出端电性连接，滚筒1内的溶液在搅拌过程中会从滚筒1的左端溅落入回收箱28内，而水泵29可将溶液通过第一运输管27抽送到量筒13内，便于回收利用，提高实用性。

工作原理：接通电源，利用支架5上前后对称位置分别固定有转动机构7和传动机构22，通过PLC控制器6控制转动机构7上伺服电机21的转速和方向，伺服电机21驱动转动轴20上第一滑轮17和第一齿轮19转动，再通过滑槽9和锯齿10带动滚筒1旋转，滚动清洗的筒式反应器皿，能防止碱液桶内飞溅，且滚筒1旋转会带动传动机构22旋转，传动机构22可支撑滚筒1，而上料管道2的上端从左到右依次固定有第一计量机构3和第二计量机构4，通过向第一计量机构3和第二计量机构4上的漏斗12注入碱液原料，然后对准刻度线14适量注入，便于定量配置碱液，而滚筒1搅拌过程中，滚筒1内的溶液会从滚筒1的左端溅落入回收箱28内，通过PLC控制器6接通水泵29的电源，水泵29可将溶液通过第一运输管27抽送到量筒13内，便于回收利用。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种硅片料清洗机反应容器，包括滚筒(1)、上料管道(2)、支架(5)和回收箱(28)，其特征在于：所述滚筒(1)外壁左右位置开设有滑槽(9)，且滚筒(1)上中间位置固定有锯齿(10)，所述上料管道(2)的上端从左到右依次固定有第一计量机构(3)和第二计量机构(4)，所述支架(5)的上端前后对称位置分别固定有转动机构(7)和传动机构(22)，且转动机构(7)包括第一滑轮(17)、第一轴承座(18)、第一齿轮(19)、转动轴(20)和伺服电机(21)，所述支架(5)的前端固定有PLC控制器(6)，且PLC控制器(6)的输出端与伺服电机(21)的输入端电性连接，所述回收箱(28)的左部固定有第二运输管(30)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗机反应容器，其特征在于：所述上料管道(2)的下端固定有支撑杆(8)，且上料管道(2)的左部贯穿滚筒(1)右端开设的上料口(11)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗机反应容器，其特征在于：所述第一计量机构(3)包括漏斗(12)、量筒(13)和运输管(15)，且量筒(13)的上下端分别固定有漏斗(12)和运输管(15)，所述量筒(13)的前端设置有刻度线(14)，所述运输管(15)上固定有阀门(16)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗机反应容器，其特征在于：所述伺服电机(21)的输出端与转动轴(20)转动连接，且转动轴(20)上从左到右依次与第一滑轮(17)和第一齿轮(19)固定连接，所述转动轴(20)与第一轴承座(18)转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗机反应容器，其特征在于：所述滚筒(1)通过滑槽(9)与第一滑轮(17)滚动连接，且滚筒(1)通过锯齿(10)与第一齿轮(19)啮合连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗机反应容器，其特征在于：所述传动机构(22)包括第二滑轮(23)、第二轴承座(24)、传动轴(25)和第二齿轮(26)，且传动轴(25)的左右端都与第二滑轮(23)固定连接，所述传动轴(25)的中间位置与第二齿轮(26)固定连接，且传动轴(25)与第二轴承座(24)转动连接。

7.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗机反应容器，其特征在于：所述滚筒(1)通过滑槽(9)与第二滑轮(23)滚动连接，且滚筒(1)通过锯齿(10)与第二齿轮(26)啮合连接。

8.根据权利要求1所述的一种硅片料清洗机反应容器，其特征在于：所述回收箱(28)上第二运输管(30)的左端固定有水泵(29)，且水泵(29)的上端固定有第一运输管(27)，所述水泵(29)的输入端与PLC控制器(6)的输出端电性连接。

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