CN210958776U - 一种扬声器陶瓷振膜结构 - Google Patents
一种扬声器陶瓷振膜结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210958776U CN210958776U CN201921895339.7U CN201921895339U CN210958776U CN 210958776 U CN210958776 U CN 210958776U CN 201921895339 U CN201921895339 U CN 201921895339U CN 210958776 U CN210958776 U CN 210958776U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- vibrating diaphragm
- loudspeaker
- diaphragm structure
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种扬声器陶瓷振膜结构，包括薄膜层本体，所述薄膜层本体包括有氧化锆层薄膜层、氧化铝黏附层和聚酰亚胺柔性衬底层，该扬声器陶瓷振膜结构，通过设有氧化锆层薄膜层、氧化铝黏附层和聚酰亚胺柔性衬底层结构，使得振膜材料均匀致密性好，振膜材料的厚度，可以通过原子层沉积循环次数，实现精确可控，可以实现轻薄的振膜材料，将陶瓷振膜材料应用在扬声器振膜中，可实现高达25kHz高音信号的保真传输。
Description
技术领域
本实用新型涉及薄膜技术领域，具体为一种扬声器陶瓷振膜结构。
背景技术
振膜是耳机等扬声器中的主要发声器件。目前分频扬声器的高音单元几乎都是球顶，这种结构下，高刚性、低质量的振膜材料就显得非常有优势。高刚性、低质量的振膜材料可提高振膜的振动频率，实现对高频率声音信号的保真传输。
目前，扬声器的振动膜大多利用纸、布料、塑料、铝或钛金属等原料制作，常用的纸或布料制振动膜主要使用于中低音讯的输出，但易受潮受高温等环境影响而受损。金属材料的刚性可实现对中高声音信号的传输，但铝和钛金属的刚性不够高，铍金属制造成本高。目前使用陶瓷材料，多用陶瓷粉末压制而成，制造的振膜材料较粗糙，厚度无法控制。为此，我们提出一种扬声器陶瓷振膜结构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种扬声器陶瓷振膜结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扬声器陶瓷振膜结构，包括薄膜层本体，所述薄膜层本体包括有氧化锆层薄膜层、氧化铝黏附层和聚酰亚胺柔性衬底层。
进一步地，所述氧化锆层薄膜层、氧化铝黏附层和聚酰亚胺柔性衬底层从上至下依次排列。
进一步地，所述氧化锆层薄膜层(2)的厚度为1-5um。
进一步地，所述氧化锆层薄膜层(2)的厚度为2um。
进一步地，所述氧化铝黏附层(3)的厚度为50-200nm。
进一步地，所述氧化铝黏附层(3)的厚度为100nm。
进一步地，所述聚酰亚胺柔性衬底层(4)的规格为50-150mm×50-150mm。
进一步地，所述聚酰亚胺柔性衬底层(4)的规格为100mm×100mm。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该扬声器陶瓷振膜结构，通过设有氧化锆层薄膜层、氧化铝黏附层和聚酰亚胺柔性衬底层结构，使得振膜材料均匀致密性好，振膜材料的厚度，可以通过原子层沉积循环次数，实现精确可控，可以实现轻薄的振膜材料，将陶瓷振膜材料应用在扬声器振膜中，可实现高达25kHz高音信号的保真传输。
附图说明
图1为本实用新型剖视图。
图中：1薄膜层本体、2氧化锆层薄膜层、3氧化铝黏附层、4聚酰亚胺柔性衬底层。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种扬声器陶瓷振膜结构，包括薄膜层本体1，薄膜层本体1全部结构均通过原子层沉积的方法进行制作，在耐高温400℃左右的氧化锆层薄膜层2上，镀一层2um厚度的氧化锆层薄膜层2，使振膜厚度精确可控，实现均匀性好、刚性强且轻薄的特点，提升振膜材料的振动频率，实现对高音信号的保真传输。所述薄膜层本体1包括有氧化锆层薄膜层2、氧化铝黏附层3和聚酰亚胺柔性衬底层4。氧化锆层薄膜层2为聚酰亚胺柔性材料。首先将100mm×100mm的氧化锆层薄膜层2固定在原子层沉积系统的样品平台上，使用真空系统抽取真空，使真空腔室的真空度达到10-3Torr左右，对样品平台加热，加热温度为150℃。通过通入惰性气体Ar气，调节原子层沉积系统内的真空腔室的压强，保持真空腔室的压强在0.15Torr左右。使用的金属前驱体源需要装在特定的密封钢瓶内，使用手动阀和气动阀控制前驱体源的出源。对于四二甲氨基锆前驱体源，需要对源瓶加热到75℃。使用的H2O源应为去离子水，水的输入气路需要和金属源气路分开。振膜材料制备的具体步骤如下：先生长氧化锆层薄膜层2作为黏附层。使用三甲基铝作为金属前驱体源先通入到腔体内部，前驱体源通入腔体的最高气压为0.175Torr左右，再通入Ar气吹扫5s的时间。然后将H2O源通入腔体内部，H2O通入腔体的最高气压为0.19Torr左右，再通入Ar气吹扫5s的时间，然后循环生长。控制氧化铝黏附层3的生长厚度为100nm。所述氧化铝黏附层3为一层氧化铝Al203薄膜。再生长一层氧化锆层薄膜层2。
所述氧化锆层薄膜层2为氧化锆Zr02陶瓷薄膜。使用四二甲氨基作为金属前驱体源先通入到腔体内部，前驱体源通入时间为0.05s，再通入Ar吹扫5s的时间。然后将H2O源通入腔体内部，H2O通入腔提的最高气压为0.19Torr左右，再通入Ar气吹扫5s的时间，然后循环生长。控制生长锆层薄膜层2的厚度为2um，进而得到陶瓷振膜。该复合型材料有三层薄膜叠加而成，聚酰亚胺柔性衬底层4作为衬底，在上面镀一层氧化铝黏附层3，氧化铝黏附层3为氧化铝Al2O3黏附层薄膜，然后再镀上锆层薄膜层2。形成了陶瓷振膜材料，具有均匀性好，致密性强，刚性高，厚度可控，轻薄等特点，可应用在扬声器中，实现对25kHz的高音信号的传输。所述氧化锆层薄膜层2的厚度为2um。然后所述氧化铝黏附层3的厚度为100nm。所述聚酰亚胺柔性衬底层4的规格为100mm×100mm。所述氧化锆层薄膜层2、氧化铝黏附层3和聚酰亚胺柔性衬底层4从上至下依次排列。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种扬声器陶瓷振膜结构，包括薄膜层本体(1)，其特征在于：所述薄膜层本体(1)包括有氧化锆层薄膜层(2)、氧化铝黏附层(3)和聚酰亚胺柔性衬底层(4)；
所述氧化锆层薄膜层(2)、氧化铝黏附层(3)和聚酰亚胺柔性衬底层(4)从上至下依次排列。
2.根据权利要求1所述的一种扬声器陶瓷振膜结构，其特征在于：所述氧化锆层薄膜层(2)的厚度为1-5um。
3.根据权利要求2所述的一种扬声器陶瓷振膜结构，其特征在于：所述氧化锆层薄膜层(2)的厚度为2um。
4.根据权利要求1所述的一种扬声器陶瓷振膜结构，其特征在于：所述氧化铝黏附层(3)的厚度为50-200nm。
5.根据权利要求4所述的一种扬声器陶瓷振膜结构，其特征在于：所述氧化铝黏附层(3)的厚度为100nm。
6.根据权利要求1所述的一种扬声器陶瓷振膜结构，其特征在于：所述聚酰亚胺柔性衬底层(4)的规格为50-150mm×50-150mm。
7.根据权利要求6所述的一种扬声器陶瓷振膜结构，其特征在于：所述聚酰亚胺柔性衬底层(4)的规格为100mm×100mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921895339.7U CN210958776U (zh) | 2019-11-05 | 2019-11-05 | 一种扬声器陶瓷振膜结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921895339.7U CN210958776U (zh) | 2019-11-05 | 2019-11-05 | 一种扬声器陶瓷振膜结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210958776U true CN210958776U (zh) | 2020-07-07 |
Family
ID=71383426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921895339.7U Active CN210958776U (zh) | 2019-11-05 | 2019-11-05 | 一种扬声器陶瓷振膜结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210958776U (zh) |
-
2019
- 2019-11-05 CN CN201921895339.7U patent/CN210958776U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11470424B2 (en) | MXene-based voice coils and active acoustic devices | |
| US8851228B2 (en) | Speaker diaphragm and its manufacturing method | |
| WO2021248838A1 (zh) | 振膜、发声装置、麦克风组件及振膜制作方法 | |
| CN210958776U (zh) | 一种扬声器陶瓷振膜结构 | |
| JPWO2017030192A1 (ja) | 電気音響変換フィルム | |
| CN108574923B (zh) | 一种硅碳振膜的制备方法、碳质振膜及设有该振膜的声学单元 | |
| KR20050100852A (ko) | 마이크로 스피커의 진동판 | |
| JPH03145900A (ja) | スピーカー用振動板 | |
| KR101251216B1 (ko) | 잉크젯 프린팅을 이용한 그래핀 전극 제조 방법 | |
| CN207235109U (zh) | 一种具有镀膜的音响振膜 | |
| CN213244346U (zh) | 一种扬声器使用的振膜 | |
| CN211047202U (zh) | 一种振膜 | |
| CN106686499B (zh) | 一种应用于振膜的球顶 | |
| JP2013236371A (ja) | 一つの高分子フィルムで剛性度が相違に一体で成形されたスピーカ用振動板 | |
| TW202143517A (zh) | 高分子複合壓電薄膜 | |
| JPS61244195A (ja) | 音響用振動板 | |
| JP4967702B2 (ja) | スピーカ用振動板 | |
| CN112626450B (zh) | 一种陶瓷振膜及其制备方法 | |
| CN106851499A (zh) | 振膜及其制备方法以及使用该振膜的电声器件 | |
| JPS5841038B2 (ja) | 音響振動板 | |
| CN106060756A (zh) | 一种多层压电扬声器振子的制造方法 | |
| US20240023450A1 (en) | Piezoelectric film | |
| JPH11266493A (ja) | スピーカ用振動板およびこれを用いたスピーカ | |
| JP5653776B2 (ja) | 高性能スピーカー用振動板及びスピーカー用振動板の製造方法 | |
| JP2010141001A (ja) | 多層セラミック基板の製造方法及び該方法を用いて作製された多層セラミック基板。 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |