CN210849316U - 一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置，包括基台上设置吸附托盘，吸附托盘内设置有空腔，且吸附托盘的顶部设置吸附口，吸附口与吸附托盘的空腔连通，且吸附托盘的底部设置连接口，连接口连接真空发生组件，真空发生组件能通过连接口作用空腔，并通过吸附口对靶材进行吸附，基台上还设置有定位组件，定位组件能对在基台上的靶材定位，且吸附口的位置还设置遮挡组件，遮挡组件能遮盖或打开吸附口。通过定位组件实现定位，真空发生组件实现真空吸附，保证了靶材在吸附托盘上的稳定，方便切割，同时吸附托盘设置多个，也能提高了靶材切割的效率，实现高效的生产。

Description

一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置

技术领域

本实用新型涉及靶材加工设备领域，尤其涉及一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置。

背景技术

一般来说，靶材的尺寸比较大，但是在实际使用时，需要将靶材进行分割，才能实现应用，但是现有的靶材切割是在切割平台上进行的，由于尺寸较大，人工难以顺利的挪移，继而切割的速率也较慢，无法满足现在节能减排，高效发展的需求。

因此本实用新型发明人，针对现有的靶材切割平台，切割效率低的问题，旨在发明一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置。

发明内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置，包括基台，所述基台上设置吸附托盘，所述吸附托盘内设置有空腔，且所述吸附托盘的顶部设置吸附口，所述吸附口与吸附托盘的空腔连通，且所述吸附托盘的底部设置连接口，所述连接口连接真空发生组件，所述真空发生组件能通过连接口作用空腔，并通过所述吸附口对靶材进行吸附，所述基台上还设置有定位组件，所述定位组件能对在基台上的靶材定位，且所述吸附口的位置还设置遮挡组件，所述遮挡组件能遮盖或打开吸附口。

优选地，所述吸附托盘设置至少两个，且互相平行设置，同时所述吸附托盘为长条形，且所述吸附托盘上均设置靶材。即平行间隔设置吸附托盘能提高加工效率的效率。

优选地，所述吸附托盘上吸附口设置多个，且间隔均匀。保证了吸附托盘吸附靶材的稳定。

优选地，所述遮挡组件包括遮挡板和回弹件，所述遮挡板设置在空腔内并能遮挡所述吸附口，且所述遮挡板的对称位置设置回弹件，所述回弹件包括回弹轴和复位弹簧，所述回弹轴的一端与遮挡板连接，且所述回弹轴穿过吸附托盘表面，并在所述回弹轴露出所述吸附托盘的位置套设复位弹簧，所述复位弹簧的两端分别抵靠在吸附托盘和回弹轴的另一端。需要真空吸附时，将靶材放置在吸附托盘上，靶材按压回弹轴，使遮挡板与吸附口分开，启动真空泵，实现真空吸附，随着切割过程的进行，靶材的尺寸会越来越小，当然需要的吸附口的数量也减少，随之通过回弹件，使遮挡板遮盖住吸附口，即实现了吸附口的自由开放和封闭。

优选地，所述真空发生组件包括真空泵、压力表和调节阀，所述真空泵、压力表和调节阀依次连接，并与所述连接口连接，并能作用于所述吸附托盘的空腔。即通过压力表来了解空腔内的压力变化，调节阀来实现压力的调节，进行适当的真空吸附，保证切割的稳定。

优选地，所述定位组件包括定位板和移动板，所述定位板设置两块，且互相垂直设置在所述吸附托盘上，所述移动板通过移动气缸移动，且所述移动板与吸附托盘平行，并在所述移动气缸的驱动下，所述移动板朝吸附托盘方向移动。定位组件，能保证靶材在吸附托盘上的稳定，并保证切割靶材的稳定，有利于高效的切割。

本实用新型一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置的有益效果是，通过定位组件实现定位，真空发生组件实现真空吸附，保证了靶材在吸附托盘上的稳定，方便切割，同时吸附托盘设置多个，也能提高了靶材切割的效率，实现高效的生产。

附图说明

图1为用于固定靶材的真空吸附托盘装置的结构示意图。

图2为吸附托盘的剖视图。

图3为遮挡组件的结构示意图。

图4为定位组件的结构示意图。

图中：

1-基台，2-吸附托盘，3-真空发生组件，4-定位组件，5-遮挡组件，

21-空腔，22-吸附口，23-连接口，

31-真空泵，32-压力表，33-调节阀，

41-定位板，42-移动板，43-移动气缸，

51-遮挡板，52-回弹件，521-回弹轴，522-复位弹簧。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

参见附图1-4所示，本实施例中的一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置，包括基台1，基台1上设置吸附托盘2，吸附托盘2内设置有空腔21，且吸附托盘2的顶部设置吸附口22，吸附口22与吸附托盘2的空腔21连通，且吸附托盘2的底部设置连接口23，连接口23连接真空发生组件3，真空发生组件3能通过连接口23作用空腔21，并通过吸附口22对靶材进行吸附，基台1上还设置有定位组件4，定位组件4能对在基台1上的靶材定位，且吸附口22的位置还设置遮挡组件5，遮挡组件5能遮盖或打开吸附口22。

吸附托盘2设置至少两个，且互相平行设置，同时吸附托盘2为长条形，且吸附托盘2上均设置靶材。即平行间隔设置吸附托盘2能提高加工效率的效率。

吸附托盘2上吸附口22设置多个，且间隔均匀。保证了吸附托盘2吸附靶材的稳定。

遮挡组件5包括遮挡板51和回弹件52，遮挡板51设置在空腔21内并能遮挡吸附口22，且遮挡板51的对称位置设置回弹件52，回弹件52包括回弹轴521和复位弹簧522，回弹轴521的一端与遮挡板51连接，且回弹轴521穿过吸附托盘2表面，并在回弹轴521露出吸附托盘2的位置套设复位弹簧522，复位弹簧522的两端分别抵靠在吸附托盘2和回弹轴521的另一端。需要真空吸附时，将靶材放置在吸附托盘2上，靶材按压回弹轴521，使遮挡板51与吸附口22分开，启动真空泵31，实现真空吸附，随着切割过程的进行，靶材的尺寸会越来越小，当然需要的吸附口22的数量也减少，随之通过回弹件52，使遮挡板51遮盖住吸附口22，即实现了吸附口22的自由开放和封闭。

真空发生组件3包括真空泵31、压力表32和调节阀33，真空泵31、压力表32和调节阀33依次连接，并与连接口23连接，并能作用于吸附托盘2的空腔21。即通过压力表32来了解空腔21内的压力变化，调节阀33来实现压力的调节，进行适当的真空吸附，保证切割的稳定。

定位组件4包括定位板41和移动板42，定位板41设置两块，且互相垂直设置在吸附托盘2上，移动板42通过移动气缸43移动，且移动板42与吸附托盘2平行，并在移动气缸43的驱动下，移动板42朝吸附托盘2方向移动。定位组件4，能保证靶材在吸附托盘2上的稳定，并保证切割靶材的稳定，有利于高效的切割。

一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置的有益效果是，通过定位组件4实现定位，真空发生组件3实现真空吸附，保证了靶材在吸附托盘2上的稳定，方便切割，同时吸附托盘2设置多个，也能提高了靶材切割的效率，实现高效的生产。

基本的使用过程为，在基台1上设置吸附托盘2，吸附托盘2的上端设置定位组件4，通过定位组件4的定位板41将靶材放置，并利用移动板42和移动气缸43进行定位后的锁紧，同时当靶材在吸附托盘2顶部时，按压回弹件52，使遮挡板51打开吸附口22，继而利用真空发生组件3抽成真空状态，实现靶材紧密的贴合在吸附托盘2表面。当然，在本装置中，真空吸附是关键，定位组件4的作用主要是定位，并非锁紧功能。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置，其特征在于：包括基台（1），所述基台（1）上设置吸附托盘（2），所述吸附托盘（2）内设置有空腔（21），且所述吸附托盘（2）的顶部设置吸附口（22），所述吸附口（22）与吸附托盘（2）的空腔（21）连通，且所述吸附托盘（2）的底部设置连接口（23），所述连接口（23）连接真空发生组件（3），所述真空发生组件（3）能通过连接口（23）作用空腔（21），并通过所述吸附口（22）对靶材进行吸附，所述基台（1）上还设置有定位组件（4），所述定位组件（4）能对在基台（1）上的靶材定位，且所述吸附口（22）的位置还设置遮挡组件（5），所述遮挡组件（5）能遮盖或打开吸附口（22）。

2.根据权利要求1所述的一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置，其特征在于：所述吸附托盘（2）设置至少两个，且互相平行设置，同时所述吸附托盘（2）为长条形。

3.根据权利要求1所述的一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置，其特征在于：所述吸附托盘（2）上吸附口（22）设置多个，且间隔均匀。

4.根据权利要求1所述的一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置，其特征在于：所述遮挡组件（5）包括遮挡板（51）和回弹件（52），所述遮挡板（51）设置在空腔（21）内并能遮挡所述吸附口（22），且所述遮挡板（51）的对称位置设置回弹件（52），所述回弹件（52）包括回弹轴（521）和复位弹簧（522），所述回弹轴（521）的一端与遮挡板（51）连接，且所述回弹轴（521）穿过吸附托盘（2）表面，并在所述回弹轴（521）露出所述吸附托盘（2）的位置套设复位弹簧（522），所述复位弹簧（522）的两端分别抵靠在吸附托盘（2）和回弹轴（521）的另一端。

5.根据权利要求1所述的一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置，其特征在于：所述真空发生组件（3）包括真空泵（31）、压力表（32）和调节阀（33），所述真空泵（31）、压力表（32）和调节阀（33）依次连接，并与所述连接口（23）连接，并能作用于所述吸附托盘（2）的空腔（21）。

6.根据权利要求1所述的一种用于固定靶材的真空吸附托盘装置，其特征在于：所述定位组件（4）包括定位板（41）和移动板（42），所述定位板（41）设置两块，且互相垂直设置在所述吸附托盘（2）上，所述移动板（42）通过移动气缸（43）移动，且所述移动板（42）与吸附托盘（2）平行，并在所述移动气缸（43）的驱动下，所述移动板（42）朝吸附托盘（2）方向移动。

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