CN210830451U - 用于保证真空腔室的密封性的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于保证真空腔室的密封性的装置，包括：支撑架；驱动装置，固定在所述支撑架上；位置调节装置，固定在所述驱动装置上，并与真空腔室的密封盖相连；通过所述驱动装置带动所述位置调节装置运动，从而带动所述密封盖开启或关闭，其中，当所述密封盖关闭后，所述位置调节装置自动释放压紧力以挤压所述密封盖。当密封盖出现轻微移动时，位置调节装置自动释放压紧力以进一步挤压密封盖，从而使密封盖与真空腔室之间紧密配合，进而保证了真空腔室与密封盖之间的密封性，避免了因密封盖的轻微移动而出现的密封性差的现象。

Description

用于保证真空腔室的密封性的装置

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，特别是涉及一种用于保证真空腔室的密封性的装置。

背景技术

相关技术中，在真空工艺设备中，为了满足真空腔室中物料的装炉出炉操作，经常需要设计密封盖，如下炉盖，实现与真空腔室中炉体的开启闭合功能。同时密封盖带动物料组件同时运动，可以在不同的位置停留，满足工艺需求。当密封盖靠直线升降机构顶升到上限位的位置，很难保证与真空腔室中炉体下法兰配合松紧合适，这就难以保证密封盖与真空腔室之间的密封性。

有鉴于此，特提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型旨在至少一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本实用新型的目的是提供一种用于保证真空腔室的密封性的装置，其能够保证真空腔室与密封盖之间的密封性，避免因密封盖的轻微移动而出现的密封性差的现象。

为达到上述目的，本实用新型提供的一种用于保证真空腔室的密封性的装置，包括：

支撑架；

驱动装置，固定在所述支撑架上；

位置调节装置，固定在所述驱动装置上，并与真空腔室的密封盖相连；

通过所述驱动装置带动所述位置调节装置运动，从而带动所述密封盖开启或关闭，其中，当所述密封盖关闭后，所述位置调节装置自动释放压紧力以挤压所述密封盖。

可选地或优选地，所述位置调节装置包括：底座、连接杆和弹性件，所述底座与所述驱动装置相连，所述连接杆的第一端与所述密封盖相连，所述连接杆的第二端与所述底座相连，所述弹性件位于所述底座和所述密封盖之间；

其中，所述底座能够在所述连接杆的轴向上相对所述连接杆移动。

可选地或优选地，所述底座上设置有第一通孔，所述连接杆的第二端穿过所述第一通孔，并与固定件相连。

可选地或优选地，所述固定件和所述连接杆的第二端通过螺纹连接。

可选地或优选地，所述弹性件套设在所述连接杆上。

可选地或优选地，所述连接杆和所述弹性件均为三个。

可选地或优选地，还包括连接座，所述连接座的第一侧通过支撑杆与所述底座相连，所述连接座的第二侧与所述驱动装置相连。

可选地或优选地，所述支撑架包括顶板、至少三个支撑脚，所述顶板固定盖设在所述支撑脚上。

可选地或优选地，所述顶板上开设有第二通孔，所述真空腔室固定在所述顶板上，所述密封盖能够穿过所述第二通孔对所述真空腔室进行密封。

可选地或优选地，所述驱动装置为丝杆升降机。

本实用新型提供的用于保证真空腔室的密封性的装置，当密封盖出现轻微移动时，位置调节装置自动释放压紧力以进一步挤压密封盖，从而使密封盖与真空腔室之间紧密配合，进而保证了真空腔室与密封盖之间的密封性，避免了因密封盖的轻微移动而出现的密封性差的现象。

附图说明

图1是本实用新型公开的一个实施例用于保证真空腔室的密封性的装置的结构示意图；

图2是图1中所示用于保证真空腔室的密封性的装置的位置调节装置的结构示意图；

图3是图1中所示用于保证真空腔室的密封性的装置的顶板的结构示意图。

图中：

1-支撑架；11-顶板；12-支撑脚；111-第二通孔；

2-驱动装置；

3-位置调节装置；31-底座；32-连接杆；33-弹性件；34-固定件；35-连接座；36-支撑杆；

4-真空腔室；41-密封盖。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好的理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

需要理解的是，使用“第一”、“第二”、“第三”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对上述零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

参考图1，本实施例提供的一种用于保证真空腔室的密封性的装置，包括：支撑架1、驱动装置2和位置调节装置3，其中，驱动装置2固定在支撑架1上，位置调节装置3固定在驱动装置2上，并与真空腔室4的密封盖41相连。在本实施例中，通过驱动装置2带动位置调节装置3运动，从而带动密封盖41开启或关闭，其中，当密封盖41关闭后，位置调节装置3能够自动释放压紧力以挤压密封盖41。在本实施例中，当密封盖41出现轻微移动时，位置调节装置3自动释放压紧力以进一步挤压密封盖41，从而使密封盖41与真空腔室4之间紧密配合，进而保证了真空腔室4与密封盖41之间的密封性，避免了因密封盖41 的轻微移动而出现的密封性差的现象。其中，密封盖41可以但不限于为真空腔室4的炉体的下炉盖。此外，密封盖41与真空腔室4之间还设置有密封件，如密封胶圈。

需要说明的是，本实施例提供的用于保证真空腔室的密封性的装置，由于位置调节装置3能够自动释放压紧力以挤压密封盖41，这就避免了在密封盖41出现轻微移动时，密封盖41产生的拉力传导至驱动装置2上而影响驱动装置2的使用寿命，即提高了驱动装置2的使用寿命。

在一些实施例中，参考图2，位置调节装置3包括：底座31、连接杆32和弹性件33，底座31与驱动装置2相连，连接杆32的第一端与密封盖41相连，连接杆32的第二端与底座31相连，弹性件33位于底座31和密封盖41之间；其中，底座31能够在连接杆32的轴向上相对连接杆32移动，从而使得驱动装置2驱动位置调节装置3朝向真空腔室4移动时，底座31能够挤压弹性件33，以使弹性件33能够积攒可释放的压紧力。其中，连接杆32与密封盖41之间可以但不限于通过焊接的方式固定连接。

可选地，底座31上设置有第一通孔311，连接杆32的第二端穿过第一通孔 311，并与固定件34相连。在本实施例中，固定件34和连接杆32的第二端通过螺纹连接；其中，连接杆32的第二端上设置有螺纹，固定件24为螺栓。

在一些实施例中，为了方便安装，弹性件33可以但不限于套设在连接杆32 上。其中，弹性件33可以但不限于为弹簧。

在一些实施例中，为了保证密封盖41受力均匀，连接杆32和弹性件33均为三个。其中，三个连接杆32与底座31相接触的点可构成一等边三角形

在一些实施例中，为了便于安装，位置调节装置3还包括连接座35，连接座35的第一侧通过支撑杆36与底座31相连，连接座35的第二侧与驱动装置2 相连。其中，支撑杆36与底座31之间可以但不限于通过焊接的方式固定连接；同理，支撑杆36与驱动装置2之间也可以但不限于通过焊接的方式固定连接。

在一些实施例中，支撑架1包括顶板11、至少三个支撑脚12，顶板11固定盖设在支撑脚12上。其中，当支撑脚12为三个时，三个支撑脚12的底端可构成一等边三角形。

可选地，参考图3，顶板11上开设有第二通孔111，真空腔室4固定在顶板 11上，密封盖41能够穿过第二通孔111对真空腔室4进行密封。其中，真空腔室4可以通过卡扣或法兰等固定连接在顶板11上。

在一些实施例中，驱动装置2为丝杆升降机。

为了便于理解，下面介绍本实施例的用于保证真空腔室的密封性的装置的工作过程，其中，密封盖41为真空腔室4的下炉盖。当驱动装置2驱动位置调节装置3带动下炉盖上升时，下炉盖的端面与真空腔室4的炉体下法兰之间留有间隙，它们之间的密封圈没有被完全压紧。驱动装置2继续驱动位置调节装置3 带动下炉盖上升，位置调节装置3中套设在连接杆32上的弹性件33(即弹簧) 被压缩。当位置调节装置3中的底座31与连接杆32上的固定件34之间达到预设距离，此时设定为驱动装置2的上限位位置，控制驱动装置2停止工作。

进一步地，当对真空腔室4进行抽真空操作时，由于外界大气压的作用，下炉盖的端面与真空腔室4的炉体下法兰之间的密封圈被完全压紧，下炉盖会有轻微的轴向上移需求，此时弹性件33(即弹簧)会释放一定压紧力，进而使得下炉盖与真空腔室4之间继续紧密配合，保证了下炉盖与真空腔室4之间的密封性，避免了因下炉盖的轻微移动而出现的密封性差的现象。

进一步地，在抽真空的瞬间，由于密封圈被充分压缩，下炉盖的上升行程可以通过弹性件33(即弹簧)释放满足，从而保证驱动装置2不受轴向力作用，避免了驱动装置2受到损伤，提高了驱动装置2的使用寿命。

综上所述，本实用新型提供的用于保证真空腔室的密封性的装置，当密封盖出现轻微移动时，位置调节装置自动释放压紧力以进一步挤压密封盖，从而使密封盖与真空腔室之间紧密配合，进而保证了真空腔室与密封盖之间的密封性，避免了因密封盖的轻微移动而出现的密封性差的现象。

以上对本实用新型所提供的用于保证真空腔室的密封性的装置进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种用于保证真空腔室的密封性的装置，其特征在于，包括：

支撑架；

驱动装置，固定在所述支撑架上；

位置调节装置，固定在所述驱动装置上，并与真空腔室的密封盖相连；

通过所述驱动装置带动所述位置调节装置运动，从而带动所述密封盖开启或关闭，其中，当所述密封盖关闭后，所述位置调节装置自动释放压紧力以挤压所述密封盖。

2.根据权利要求1所述的用于保证真空腔室的密封性的装置，其特征在于，所述位置调节装置包括：底座、连接杆和弹性件，所述底座与所述驱动装置相连，所述连接杆的第一端与所述密封盖相连，所述连接杆的第二端与所述底座相连，所述弹性件位于所述底座和所述密封盖之间；

其中，所述底座能够在所述连接杆的轴向上相对所述连接杆移动。

3.根据权利要求2所述的用于保证真空腔室的密封性的装置，其特征在于，所述底座上设置有第一通孔，所述连接杆的第二端穿过所述第一通孔，并与固定件相连。

4.根据权利要求3所述的用于保证真空腔室的密封性的装置，其特征在于，所述固定件和所述连接杆的第二端通过螺纹连接。

5.根据权利要求2所述的用于保证真空腔室的密封性的装置，其特征在于，所述弹性件套设在所述连接杆上。

6.根据权利要求2-5中任一项所述的用于保证真空腔室的密封性的装置，其特征在于，所述连接杆和所述弹性件均为三个。

7.根据权利要求2-5中任一项所述的用于保证真空腔室的密封性的装置，其特征在于，还包括连接座，所述连接座的第一侧通过支撑杆与所述底座相连，所述连接座的第二侧与所述驱动装置相连。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的用于保证真空腔室的密封性的装置，其特征在于，所述支撑架包括顶板、至少三个支撑脚，所述顶板固定盖设在所述支撑脚上。

9.根据权利要求8所述的用于保证真空腔室的密封性的装置，其特征在于，所述顶板上开设有第二通孔，所述真空腔室固定在所述顶板上，所述密封盖能够穿过所述第二通孔对所述真空腔室进行密封。

10.根据权利要求1-5中任一项所述的用于保证真空腔室的密封性的装置，其特征在于，所述驱动装置为丝杆升降机。

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