CN210722968U - 一种化学抛光清洗机的供液系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种化学抛光清洗机的供液系统，包括本体，本体的顶部从左到右依次固定连接有清洗机、储液箱、化学溶液箱和去离子水箱，储液箱内腔底部的左右两侧固定连接有压力传感器和清洗液传感器，储液箱的背面固定连接有输液泵，输液泵的输入端通过管道与储液箱的底部连通。本实用新型通过电机的输出轴固定连接有转动杆，转动杆的左右两侧均固定连接有搅拌杆，搅拌杆的外侧固定连接有搅拌叶，起到了混合的效果，通过化学溶液管的外表面固定安装有化学溶液流量计，起到了记录化学溶液的效果，通过去离子水管的外表面固定安装有去离子水流量计，起到了记录去离子水的效果，通过清洗液传感器，起到了检测清洗液浓度的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及化学抛光清洗机技术领域，具体为一种化学抛光清洗机的供液系统。
背景技术
清洗机，用于冲洗过滤液压系统在制造、装配、使用过程及维护时生成或侵入的污染物，也可以适用于对工作油液的定期维护过滤，提高清洁度，避免或减少因污染而造成的故障，从而保证液压系统设备的高性能、高可靠度和长寿命，清洗机品种有，三氯机、气相机、液压清洗机、冷水高压清洗机、热水高压清洗机、电驱动清洗机、汽油驱动清洗机、电加热高压清洗机、柴油加热高压清洗机、超高压移动式清洗机、工业用不锈钢高压清洗机、防爆高压清洗机、液压清洗机、超声波清洗机，高压清洗机是通过动力装置，使高压柱塞泵产生高压水来冲洗物体表面的机器，它能将污垢剥离，冲走，达到清洗物体表面的目的，因为是使用高压水柱清理污垢，所以高压清洗也是世界公认最科学、经济、环保的清洁方式之一，可分为根据现场使用和工艺要求可分为，冷水式、热水式、汽油机式，在特殊场合还有防爆式、食品行业专用式等多种，化学抛光是靠化学试剂对样品表面凹凸不平区域的选择性溶解作用消除磨痕浸蚀整平的一种方法。化学抛光清洗机的是半导体晶圆生产的重要设备，现有的化学抛光清洗机供液系统主要由一根管路，几个气动阀及1个浮子流量计组成，这种结构不能实现对化学抛光用化学试剂的浓度调节，厂务端供应多少浓度的化学试剂，就只能用多大浓度的化学试剂，而一般厂务端供应的化学试剂的浓度都要相对较高，由于现有的化学抛光清洗机供液系统无法根据实际的现场生产需要，对化学抛光用化学试剂的浓度进行调节，导致化学抛光加工存在较大的局限性，为此，我们提出一种化学抛光清洗机的供液系统。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种化学抛光清洗机的供液系统，具备可调节的优点，解决了现有的化学抛光清洗机供液系统无法根据实际的现场生产需要，对化学抛光用化学试剂的浓度进行调节，导致化学抛光加工存在较大局限性的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种化学抛光清洗机的供液系统，包括本体，本体的顶部从左到右依次固定连接有清洗机、储液箱、化学溶液箱和去离子水箱，所述储液箱内腔底部的左右两侧固定连接有压力传感器和清洗液传感器，所述储液箱的背面固定连接有输液泵，所述输液泵的输入端通过管道与储液箱的底部连通，所述输液泵的输出端通过管道与清洗机连通，所述储液箱顶部的中端固定连接有电机箱，所述电机箱的内腔固定安装有电机，所述电机的输出轴固定连接有转动杆，所述转动杆的左右两侧均固定连接有搅拌杆，所述搅拌杆的外侧固定连接有搅拌叶，所述化学溶液箱顶部的中端通过支撑座固定安装有溶液泵，所述溶液泵的输入端通过管道与化学溶液箱的内腔连通，所述溶液泵的输出轴固定连接有化学溶液管，所述化学溶液管的外表面固定安装有化学溶液流量计，所述化学溶液管的底部与储液箱顶部的右侧连通，所述去离子水箱顶部的中端通过支撑座固定连接有去离子水泵，所述去离子水泵的输入端通过管道与去离子水箱的内腔连通，所述去离子水泵的输出端固定连接有去离子水管，所述去离子水管的外表面固定安装有去离子水流量计，所述去离子水管的底部与储液箱顶部的左侧连通。
优选的，所述储液箱的正表面从上到下依次固定连接有去离子水显示屏、化学溶液显示屏、清洗液显示屏和PLC控制器。
优选的，所述本体底部的左右两侧均固定连接有支撑腿，且支撑腿的底部固定连接有减震垫。
优选的，所述化学溶液箱和去离子水箱右侧的底部均开设有出水口，且出水口的顶部均活动安装有阀门。
优选的，所述化学溶液箱和去离子水箱右侧的顶部均开设有进料口，且进料口的顶部设置有盖板。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
本实用新型通过电机的输出轴固定连接有转动杆，转动杆的左右两侧均固定连接有搅拌杆，搅拌杆的外侧固定连接有搅拌叶，起到了混合的效果，通过化学溶液管的外表面固定安装有化学溶液流量计，起到了记录化学溶液的效果，通过去离子水管的外表面固定安装有去离子水流量计，起到了记录去离子水的效果，通过清洗液传感器，起到了检测清洗液浓度的效果，解决了现有的化学抛光清洗机供液系统无法根据实际的现场生产需要，对化学抛光用化学试剂的浓度进行调节，导致化学抛光加工存在较大局限性的问题。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型输液泵结构示意图；
图3为本实用新型化学溶液显示屏结构示意图；
图4为本实用新型系统原理示意图。
图中：1本体、2清洗机、3搅拌杆、4电机、5电机箱、6去离子水管、7化学溶液管、8化学溶液流量计、9溶液泵、10去离子水流量计、11去离子水泵、12去离子水箱、13化学溶液箱、14搅拌叶、15压力传感器、16转动杆、17清洗液传感器、18储液箱、19输液泵、20去离子水显示屏、21化学溶液显示屏、22清洗液显示屏、23PLC控制器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，一种化学抛光清洗机的供液系统，包括本体1，本体1的顶部从左到右依次固定连接有清洗机2、储液箱18、化学溶液箱13和去离子水箱12，化学溶液箱13和去离子水箱12右侧的底部均开设有出水口，且出水口的顶部均活动安装有阀门，化学溶液箱13和去离子水箱12右侧的顶部均开设有进料口，且进料口的顶部设置有盖板，储液箱18内腔底部的左右两侧固定连接有压力传感器15和清洗液传感器17，储液箱18的正表面从上到下依次固定连接有去离子水显示屏20、化学溶液显示屏21、清洗液显示屏22和PLC控制器23，储液箱18的背面固定连接有输液泵19，输液泵19的输入端通过管道与储液箱18的底部连通，输液泵19的输出端通过管道与清洗机2连通，储液箱18顶部的中端固定连接有电机箱5，电机箱5的内腔固定安装有电机4，电机4的输出轴固定连接有转动杆16，转动杆16的左右两侧均固定连接有搅拌杆3，搅拌杆3的外侧固定连接有搅拌叶14，起到了混合的效果，化学溶液箱13顶部的中端通过支撑座固定安装有溶液泵9，溶液泵9的输入端通过管道与化学溶液箱13的内腔连通，溶液泵9的输出轴固定连接有化学溶液管7，化学溶液管7的外表面固定安装有化学溶液流量计8，起到了记录化学溶液的效果，化学溶液管7的底部与储液箱18顶部的右侧连通，去离子水箱12顶部的中端通过支撑座固定连接有去离子水泵11，去离子水泵11的输入端通过管道与去离子水箱12的内腔连通，去离子水泵11的输出端固定连接有去离子水管6，去离子水管6的外表面固定安装有去离子水流量计10，起到了记录去离子水的效果，去离子水管6的底部与储液箱18顶部的左侧连通，本体1底部的左右两侧均固定连接有支撑腿，且支撑腿的底部固定连接有减震垫。
使用时，通过溶液泵9将化学溶液箱13内的溶液抽出来排入储液箱18内，通过化学溶液流量计8记录，通过去离子水泵11将去离子水箱12内的去离子抽出来排入到储液箱18内，通过去离子水流量计10进行记录，通过搅拌杆3、电机4、搅拌叶14和转动杆16的配合，起到了混合去离子水和化学溶液的效果，通过清洗液传感器17检测浓度，可根据现场的需要进行添加去离子水或者化学溶液，解决了现有的化学抛光清洗机供液系统无法根据实际的现场生产需要，对化学抛光用化学试剂的浓度进行调节，导致化学抛光加工存在较大局限性的问题。
综上所述：该化学抛光清洗机的供液系统，通过电机4的输出轴固定连接有转动杆16，转动杆16的左右两侧均固定连接有搅拌杆3，搅拌杆3的外侧固定连接有搅拌叶14，起到了混合的效果，通过化学溶液管7的外表面固定安装有化学溶液流量计8，起到了记录化学溶液的效果，通过去离子水管6的外表面固定安装有去离子水流量计10，起到了记录去离子水的效果，通过清洗液传感器17，起到了检测清洗液浓度的效果，解决了现有的化学抛光清洗机供液系统无法根据实际的现场生产需要，对化学抛光用化学试剂的浓度进行调节，导致化学抛光加工存在较大局限性的问题。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种化学抛光清洗机的供液系统，包括本体(1)，其特征在于：本体(1)的顶部从左到右依次固定连接有清洗机(2)、储液箱(18)、化学溶液箱(13)和去离子水箱(12)，所述储液箱(18)内腔底部的左右两侧固定连接有压力传感器(15)和清洗液传感器(17)，所述储液箱(18)的背面固定连接有输液泵(19)，所述输液泵(19)的输入端通过管道与储液箱(18)的底部连通，所述输液泵(19)的输出端通过管道与清洗机(2)连通，所述储液箱(18)顶部的中端固定连接有电机箱(5)，所述电机箱(5)的内腔固定安装有电机(4)，所述电机(4)的输出轴固定连接有转动杆(16)，所述转动杆(16)的左右两侧均固定连接有搅拌杆(3)，所述搅拌杆(3)的外侧固定连接有搅拌叶(14)，所述化学溶液箱(13)顶部的中端通过支撑座固定安装有溶液泵(9)，所述溶液泵(9)的输入端通过管道与化学溶液箱(13)的内腔连通，所述溶液泵(9)的输出轴固定连接有化学溶液管(7)，所述化学溶液管(7)的外表面固定安装有化学溶液流量计(8)，所述化学溶液管(7)的底部与储液箱(18)顶部的右侧连通，所述去离子水箱(12)顶部的中端通过支撑座固定连接有去离子水泵(11)，所述去离子水泵(11)的输入端通过管道与去离子水箱(12)的内腔连通，所述去离子水泵(11)的输出端固定连接有去离子水管(6)，所述去离子水管(6)的外表面固定安装有去离子水流量计(10)，所述去离子水管(6)的底部与储液箱(18)顶部的左侧连通。
2.根据权利要求1所述的一种化学抛光清洗机的供液系统，其特征在于：所述储液箱(18)的正表面从上到下依次固定连接有去离子水显示屏(20)、化学溶液显示屏(21)、清洗液显示屏(22)和PLC控制器(23)。
3.根据权利要求1所述的一种化学抛光清洗机的供液系统，其特征在于：所述本体(1)底部的左右两侧均固定连接有支撑腿，且支撑腿的底部固定连接有减震垫。
4.根据权利要求1所述的一种化学抛光清洗机的供液系统，其特征在于：所述化学溶液箱(13)和去离子水箱(12)右侧的底部均开设有出水口，且出水口的顶部均活动安装有阀门。
5.根据权利要求1所述的一种化学抛光清洗机的供液系统，其特征在于：所述化学溶液箱(13)和去离子水箱(12)右侧的顶部均开设有进料口，且进料口的顶部设置有盖板。
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