CN210711830U - 一种晶体炉拉伸机构 - Google Patents
一种晶体炉拉伸机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210711830U CN210711830U CN201922007786.0U CN201922007786U CN210711830U CN 210711830 U CN210711830 U CN 210711830U CN 201922007786 U CN201922007786 U CN 201922007786U CN 210711830 U CN210711830 U CN 210711830U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- crucible
- rod
- support
- optical axis
- furnace chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims abstract description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 230000009467 reduction Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 14
- 230000009471 action Effects 0.000 abstract description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 4
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型涉及晶体材料加工技术领域，尤其为一种晶体炉拉伸机构，包括炉室、第一电机和减速器，所述炉室的内部设置有坩埚，且坩埚的底部固定有坩埚托盘，所述坩埚托盘的下方安装有对中套，且对中套的斜下方安置有传动部件，本实用新型中，通过设置的导向架、光轴、对中套和坩埚杆，在导向架处于升降过程中，导向架通过相互连接的设置，可沿着光轴的表面进行上下移动，该装置借助这一移动操作，可对整个升降动作起到辅助导向的作用，并且在结合对中套呈两半的形式套接在坩埚杆上，在坩埚杆上升过程中，可辅助坩埚杆对正炉室的中心位置，相对于以往的传动拉伸移动结构，该拉伸机构稳定性好、精度高，不易产生震动。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶体材料加工技术领域，具体为一种晶体炉拉伸机构。
背景技术
随着科学技术的发展，对晶体材料的要求越来越高，这也意味着对晶体材料的生长工艺和生长设备的要求越来越高，晶体材料由结晶物质构成的固体材料。其所含的原子、离子、分子或粒子集团等具有周期性的规则排列，晶体生长设备和生长工艺关键技术之一就是拉伸机构的稳定性、精度和可靠性。
市面上的晶体炉拉伸机构在进行加工过程中主要存在着稳定性差、易产生震动等缺点，并且在加工过程中因自身组成材质问题，具有高重量、不便于后期的维修操作的特点，因此，针对上述问题提出一种晶体炉拉伸机构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶体炉拉伸机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种晶体炉拉伸机构，包括炉室、第一电机和减速器，所述炉室的内部设置有坩埚，且坩埚的底部固定有坩埚托盘，所述坩埚托盘的下方安装有对中套，且对中套的斜下方安置有传动部件，所述第一电机设置于传动部件的下方，且第一电机的一侧安装有支架，所述支架的中部固定有线性导轨，且线性导轨的一侧设置有光栅尺，所述线性导轨的另一侧安装有滚珠丝杠，且滚珠丝杠的下方固定有导向架，所述减速器通过螺钉固定设置于支架的底部，且减速器的下方连接有第二电机，所述支架的上方固定有坩埚杆，且支架的底部安置有直线轴承，所述坩埚杆的外端套接有波纹管，且波纹管的一侧固定有光轴。
优选的，所述支架由上安装板、U型铝材和下安装板组成框架结构，且支架通过螺钉和炉室固定连接。
优选的，所述坩埚杆的内部呈中空状结构安装于导向架上，且坩埚杆和坩埚托盘之间相互垂直，所述坩埚托盘的顶部安装有外形呈“U”型结构的坩埚。
优选的，所述波纹管和坩埚杆的连接构成嵌套结构，且波纹管和光栅尺之间相互平行。
优选的，所述光轴和导向架之间的连接构成一90°的垂直角，且导向架的底部和直线轴承的顶部之间相互贴合，所述导向架通过嵌套和光轴相连接，且光轴和坩埚杆之间相邻设置，所述坩埚杆的竖向中轴线和炉室的竖向中轴线之间相互重合，且坩埚杆通过套接和对中套相连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型中，通过设置的导向架、光轴、对中套和坩埚杆，在导向架处于升降过程中，导向架通过相互连接的设置，可沿着光轴的表面进行上下移动，该装置借助这一移动操作，可对整个升降动作起到辅助导向的作用，并且在结合对中套呈两半的形式套接在坩埚杆上，在坩埚杆上升过程中，可辅助坩埚杆对正炉室的中心位置，相对于以往的传动拉伸移动结构，该拉伸机构稳定性好、精度高，不易产生震动；
2、本实用新型中，通过设置的上安装板、U型铝材和下安装板，在整个拉伸机构安装时，该装置借助上安装板、U型铝材和下安装板构成的框架加工，来便于多个零部件得以被固，并且整个框架结构主要采用U型的铝材支架，相对于以往的支撑结构，可有效地减小整个支撑结构的重量，同时也便于进行对应的安装。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图；
图2为本实用新型支架结构示意图；
图3为本实用新U型铝材截面结构示意图。
图中：1-炉室、2-坩埚、3-坩埚托盘、4-对中套、5-传动部件、6-第一电机板、7-支架、701-上安装板、702-U型铝材、703-下安装板、8-光栅尺、9-滚珠丝杠、10-线性导轨、11-导向架、12-减速器、13-第二电机、14-坩埚杆、15-直线轴承、16-波纹管、17-光轴。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：
一种晶体炉拉伸机构，包括炉室1、第一电机6和减速器12，所述炉室1的内部设置有坩埚2，且坩埚2的底部固定有坩埚托盘3，所述坩埚托盘3的下方安装有对中套4，且对中套4的斜下方安置有传动部件5，所述第一电机6设置于传动部件5的下方，且第一电机6的一侧安装有支架7，所述支架7的中部固定有线性导轨10，且线性导轨10的一侧设置有光栅尺8，所述线性导轨10的另一侧安装有滚珠丝杠9，且滚珠丝杠9的下方固定有导向架11，所述减速器12通过螺钉固定设置于支架7的底部，且减速器12的下方连接有第二电机13，所述支架7的上方固定有坩埚杆14，且支架7的底部安置有直线轴承15，所述坩埚杆14的外端套接有波纹管16，且波纹管16的一侧固定有光轴17。
所述支架7由上安装板701、U型铝材702和下安装板703组成框架结构，且支架7通过螺钉和炉室1固定连接，在整个拉伸机构安装时，该装置借助上安装板701、U型铝材702和下安装板703构成的框架加工，在便于多个零部件得以被固定的同时，也为这些零部件的安置提供对应的支撑力，并且整个框架结构主要采用U型的铝材支架，相对于以往的支撑结构，可有效地减小整个支撑结构的重量，同时也便于进行对应的安装；所述坩埚杆14的内部呈中空状结构安装于导向架11上，且坩埚杆14和坩埚托盘3之间相互垂直，所述坩埚托盘3的顶部安装有外形呈“U”型结构的坩埚2，所述坩埚杆14的竖向中轴线和炉室1的竖向中轴线之间相互重合，且坩埚杆14通过套接和对中套4相连接，结合坩埚杆14为中空水冷结构，且安装在导向架11上，在装置启动后，高精度的线性导轨10和滚珠丝杠9可通过导向架11，来携带坩埚杆14进行升降运动，在相互连接的状态下，坩埚杆14上端放置的坩埚托盘3及坩埚2发生同步运动，从而实现坩埚2在炉室1的升降运动；所述波纹管16和坩埚杆14的连接构成嵌套结构，且波纹管16和光栅尺8之间相互平行，在坩埚杆14处于升降的过程中，在嵌套结构的设置，波纹管16能够利用这一嵌套的方式来对坩埚杆14起到密封、隔离的作用，并且在相互平行的设置下，该装置用光栅尺8来显示整个坩埚结构的位置；所述光轴17和导向架11之间的连接构成一90°的垂直角，且导向架11的底部和直线轴承15的顶部之间相互贴合，所述导向架11通过嵌套和光轴17相连接，且光轴17和坩埚杆14之间相邻设置，所述坩埚杆14的竖向中轴线和炉室1的竖向中轴线之间相互重合，且坩埚杆14通过套接和对中套4相连接，结合该装置在设备上安装有直线光轴17，且导向架11上安装有直线轴承15，在导向架11处于升降过程中，导向架11通过相互连接的设置，可沿着光轴17的表面进行上下移动，该装置借助这一移动操作，可对整个升降动作起到辅助导向的作用，同时也保障整个升降操作中的稳定性，并且在结合对中套4呈两半的形式套接在坩埚杆14上，在坩埚杆14上升过程中，可辅助坩埚杆14对正炉室1的中心位置，相对于以往的传动拉伸移动结构，该拉伸机构稳定性好、精度高，有效地减少启动过程中产生的震动。
工作流程：结合该装置可实现快速、慢速两种升降动作，慢速升降时，该装置由第二电机13和高精度的减速器12之间联合驱动来实现，快速升降时由第一电机6和传动部件5联合驱动实现，通过兼并两种升降方式，可提高整个装置的适用性，在装置启动后，高精度的线性导轨10和滚珠丝杠9可通过导向架11，来携带坩埚杆14进行升降运动，在相互连接的状态下，坩埚杆14上端放置的坩埚托盘3及坩埚2发生同步运动，从而实现坩埚2在炉室1的升降运动，在导向架11处于升降过程中，导向架11通过相互连接的设置，可沿着光轴17的表面进行上下移动，该装置借助这一移动操作，可对整个升降动作起到辅助导向的作用，并且整个框架结构主要采用U型的铝材支架，相对于以往的支撑结构，可有效地减小整个支撑结构的重量，同时也便于进行对应的安装。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种晶体炉拉伸机构，包括炉室(1)、第一电机(6)和减速器(12)，其特征在于：所述炉室(1)的内部设置有坩埚(2)，且坩埚(2)的底部固定有坩埚托盘(3)，所述坩埚托盘(3)的下方安装有对中套(4)，且对中套(4)的斜下方安置有传动部件(5)，所述第一电机(6)设置于传动部件(5)的下方，且第一电机(6)的一侧安装有支架(7)，所述支架(7)的中部固定有线性导轨(10)，且线性导轨(10)的一侧设置有光栅尺(8)，所述线性导轨(10)的另一侧安装有滚珠丝杠(9)，且滚珠丝杠(9)的下方固定有导向架(11)，所述减速器(12)通过螺钉固定设置于支架(7)的底部，且减速器(12)的下方连接有第二电机(13)，所述支架(7)的上方固定有坩埚杆(14)，且支架(7)的底部安置有直线轴承(15)，所述坩埚杆(14)的外端套接有波纹管(16)，且波纹管(16)的一侧固定有光轴(17)。
2.根据权利要求1所述的一种晶体炉拉伸机构，其特征在于：所述支架(7)由上安装板(701)、U型铝材(702)和下安装板(703)组成框架结构，且支架(7)通过螺钉和炉室(1)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶体炉拉伸机构，其特征在于：所述坩埚杆(14)的内部呈中空状结构安装于导向架(11)上，且坩埚杆(14)和坩埚托盘(3)之间相互垂直，所述坩埚托盘(3)的顶部安装有外形呈“U”型结构的坩埚(2)。
4.根据权利要求1所述的一种晶体炉拉伸机构，其特征在于：所述波纹管(16)和坩埚杆(14)的连接构成嵌套结构，且波纹管(16)和光栅尺(8)之间相互平行。
5.根据权利要求1所述的一种晶体炉拉伸机构，其特征在于：所述光轴(17)和导向架(11)之间的连接构成一90°的垂直角，且导向架(11)的底部和直线轴承(15)的顶部之间相互贴合，所述导向架(11)通过嵌套和光轴(17)相连接，且光轴(17)和坩埚杆(14)之间相邻设置，所述坩埚杆(14)的竖向中轴线和炉室(1)的竖向中轴线之间相互重合，且坩埚杆(14)通过套接和对中套(4)相连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922007786.0U CN210711830U (zh) | 2019-11-20 | 2019-11-20 | 一种晶体炉拉伸机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922007786.0U CN210711830U (zh) | 2019-11-20 | 2019-11-20 | 一种晶体炉拉伸机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210711830U true CN210711830U (zh) | 2020-06-09 |
Family
ID=70965768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201922007786.0U Expired - Fee Related CN210711830U (zh) | 2019-11-20 | 2019-11-20 | 一种晶体炉拉伸机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210711830U (zh) |
-
2019
- 2019-11-20 CN CN201922007786.0U patent/CN210711830U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101549593B (zh) | 中径钢管多功能移动喷印装置 | |
| CN204055113U (zh) | 带机械手的玻璃精雕机 | |
| CN105364932A (zh) | 一种用于上下料的桁架机械手 | |
| CN107263751B (zh) | 一种单驱动单晶硅棒双边切割机 | |
| CN201729763U (zh) | 石英玻璃沉积载物装置 | |
| CN210711830U (zh) | 一种晶体炉拉伸机构 | |
| CN205798667U (zh) | 一种数控等离子钢管自动切割设备 | |
| CN102275087A (zh) | 框架式立柱四导轨运动结构的铣床的侧加工装置 | |
| CN110744342A (zh) | 一种飞机零件加工用支撑固定装置 | |
| CN202199872U (zh) | 一种新型线切割锥度线架 | |
| CN211681829U (zh) | 一种便于准确对接的起重机部件安装辅助装置 | |
| CN202015893U (zh) | 自行走式多功能火焰切割装置 | |
| CN201423807Y (zh) | 中径钢管多功能移动喷印装置 | |
| CN210997725U (zh) | 一种飞机零件加工用支撑固定装置 | |
| CN204236113U (zh) | 应用于玻璃精雕机的机械手 | |
| CN201952168U (zh) | 直线运动机构 | |
| CN214699108U (zh) | 一种减速机的固定装置 | |
| CN210412902U (zh) | 一种盆角齿加工的夹持装置 | |
| CN217122564U (zh) | 一种用于高速机床的鞍座 | |
| CN211870664U (zh) | 一种混凝土板材生产用的传送装置 | |
| CN221582796U (zh) | 一种数控走芯机辅助定位装置 | |
| CN215548296U (zh) | 斜撑推拨机构 | |
| CN102248236A (zh) | 一种新型线切割锥度线架 | |
| CN219138326U (zh) | 一种用于架体顶托自动定位紧固装置 | |
| CN211762189U (zh) | 一种木材榫卯结构加工机床 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200609 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |