CN210620930U

CN210620930U - 一种高效磁控溅射真空镀膜机

Info

Publication number: CN210620930U
Application number: CN201921688964.4U
Authority: CN
Inventors: 不公告发明人
Original assignee: Kunshan Yitai Film Decoration Co Ltd
Current assignee: Kunshan Yitai Film Decoration Co Ltd
Priority date: 2019-10-10
Filing date: 2019-10-10
Publication date: 2020-05-26
Anticipated expiration: 2029-10-10

Abstract

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，且公开了一种高效磁控溅射真空镀膜机，包括箱体，所述箱体的左侧固定安装有铰接块，所述铰接块的左侧固定安装有箱门，所述箱门的正面固定安装有观察窗，所述箱门的正面且位于观察窗的上方和下方均固定安装有导轨，所述导轨的内部活动安装有滑块，所述滑块的相对侧活动安装有滚筒，所述箱门的正面且位于滑块的右侧固定安装有第一电动推杆，所述箱体的内壁底部固定安装有底板，底板的顶部固定安装有第二电动推杆。该高效磁控溅射真空镀膜机，通过启动步进电机，步进电机通过输出轴带动夹盘旋转，从而改变夹持零件的夹持角度，达到简单方便调节夹持零件角度的效果，从而提高了该真空镀膜机的实用性。

Description

一种高效磁控溅射真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种高效磁控溅射真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延和PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

传统的真空镀膜机一般没有自动清理功能，观察玻璃容易污染而造成不便于观察喷涂效果，且传统的真空镀膜机一般为固定式夹具，不便于调节夹持角度，造成使用不方便等问题，故而提出一种高效磁控溅射真空镀膜机来解决上述问题。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种高效磁控溅射真空镀膜机，具备便于使用等优点，解决了传统的真空镀膜机一般没有自动清理功能，观察玻璃容易污染而造成不便于观察喷涂效果，且传统的真空镀膜机一般为固定式夹具，不便于调节夹持角度，造成使用不方便等的问题。

（二）技术方案

为实现上述便于使用的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效磁控溅射真空镀膜机，包括箱体，所述箱体的左侧固定安装有铰接块，所述铰接块的左侧固定安装有箱门，所述箱门的正面固定安装有观察窗，所述箱门的正面且位于观察窗的上方和下方均固定安装有导轨，所述导轨的内部活动安装有滑块，所述滑块的相对侧活动安装有滚筒，所述箱门的正面且位于滑块的右侧固定安装有第一电动推杆，所述箱体的内壁底部固定安装有底板，所述底板的顶部固定安装有第二电动推杆，所述底板的顶部且位于第二电动推杆的左侧和右侧均固定安装有导向杆，所述导向杆的外壁套接有套筒，所述套筒的外壁且位于第二电动推杆的顶部固定安装有滑板，所述滑板的顶部活动安装有滑座，所述滑座的相背侧且位于滑板的顶部固定安装有第三电动推杆，所述滑座的左侧且位于滑座远离第三电动推杆的一端固定安装有步进电机，所述滑座的右侧且位于滑座远离第三电动推杆的一端固定安装有轴承座，所述轴承座的右侧固定安装有旋转轴，所述旋转轴的外壁和步进电机输出轴的外壁均套接有夹盘，所述箱体的内壁顶部固定安装有磁控喷射头。

优选的，所述箱体的底部固定安装有支撑座，所述支撑座的外壁套接有增阻套，所述增阻套为丁腈橡胶。

优选的，所述箱体的正面固定安装有第一密封圈，所述箱门的正面固定安装有与第一密封圈相咬合的第二密封圈。

优选的，所述滚筒为清洁软毛刷筒，所述第一电动推杆的安装方向与导轨相互平行。

优选的，所述导向杆和套筒的数量均为四个，所述滑板的相对侧固定安装有限位块。

优选的，所述第二电动推杆和第三电动推杆的数量均为两个，所述第二电动推杆和第三电动推杆的安装方向相互垂直。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种高效磁控溅射真空镀膜机，具备以下有益效果：

该高效磁控溅射真空镀膜机，通过启动第一电动推杆伸缩，第一电动推杆通过滑块带动滚筒左右移动并对观察窗进行擦拭，达到简单方便自动清洁的效果，通过启动第三电动推杆伸缩，第三电动推杆通过滑板带动滑座左右移动，滑座通过步进电机带动夹盘左右移动，滑座通过轴承座带动旋转轴和夹盘左右移动，从而改变夹盘之间的间距，使得该真空镀膜机适合多种不同规格大小的零件镀膜使用，通过启动第二电动推杆伸缩，第二电动推杆通过滑板带动滑座上下移动，滑座通过步进电机带动夹盘上下移动，从而改变夹持零件的夹持高度，再通过启动步进电机，步进电机通过输出轴带动夹盘旋转，从而改变夹持零件的夹持角度，达到简单方便调节夹持零件角度的效果，从而提高了该真空镀膜机的实用性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构图1中A处放大图。

图中：1箱体、2铰接块、3箱门、4观察窗、5导轨、6滑块、7滚筒、8第一电动推杆、9底板、10第二电动推杆、11导向杆、12套筒、13滑板、14滑座、15第三电动推杆、16步进电机、17轴承座、18旋转轴、19夹盘、20磁控喷射头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，一种高效磁控溅射真空镀膜机，包括箱体1，箱体1的底部固定安装有支撑座，支撑座的外壁套接有增阻套，增阻套为丁腈橡胶，箱体1的左侧固定安装有铰接块2，铰接块2的左侧固定安装有箱门3，箱体1的正面固定安装有第一密封圈，箱门3的正面固定安装有与第一密封圈相咬合的第二密封圈，箱门3的正面固定安装有观察窗4，箱门3的正面且位于观察窗4的上方和下方均固定安装有导轨5，导轨5的内部活动安装有滑块6，滑块6的相对侧活动安装有滚筒7，箱门3的正面且位于滑块6的右侧固定安装有第一电动推杆8，滚筒7为清洁软毛刷筒，第一电动推杆8的安装方向与导轨5相互平行，箱体1的内壁底部固定安装有底板9，底板9的顶部固定安装有第二电动推杆10，底板9的顶部且位于第二电动推杆10的左侧和右侧均固定安装有导向杆11，导向杆11的外壁套接有套筒12，套筒12的外壁且位于第二电动推杆10的顶部固定安装有滑板13，导向杆11和套筒12的数量均为四个，滑板13的相对侧固定安装有限位块，滑板13的顶部活动安装有滑座14，滑座14的相背侧且位于滑板13的顶部固定安装有第三电动推杆15，第一电动推杆8、第二电动推杆10和第三电动推杆15的型号均为XTL100，第二电动推杆10和第三电动推杆15的数量均为两个，第二电动推杆10和第三电动推杆15的安装方向相互垂直，滑座14的左侧且位于滑座14远离第三电动推杆15的一端固定安装有步进电机16，步进电机16的型号为IHSS57-36-20，滑座14的右侧且位于滑座14远离第三电动推杆15的一端固定安装有轴承座17，轴承座17的右侧固定安装有旋转轴18，旋转轴18的外壁和步进电机16输出轴的外壁均套接有夹盘19，箱体1的内壁顶部固定安装有磁控喷射头20，通过启动第一电动推杆8伸缩，第一电动推杆8通过滑块6带动滚筒7左右移动并对观察窗4进行擦拭，达到简单方便自动清洁的效果，通过启动第三电动推杆15伸缩，第三电动推杆15通过滑板13带动滑座14左右移动，滑座14通过步进电机16带动夹盘19左右移动，滑座14通过轴承座17带动旋转轴18和夹盘左右移动，从而改变夹盘19之间的间距，使得该真空镀膜机适合多种不同规格大小的零件镀膜使用，通过启动第二电动推杆10伸缩，第二电动推杆10通过滑板13带动滑座14上下移动，滑座14通过步进电机16带动夹盘19上下移动，从而改变夹持零件的夹持高度，再通过启动步进电机16，步进电机16通过输出轴带动夹盘19旋转，从而改变夹持零件的夹持角度，达到简单方便调节夹持零件角度的效果，从而提高了该真空镀膜机的实用性。

综上所述，该高效磁控溅射真空镀膜机，通过启动第一电动推杆8伸缩，第一电动推杆8通过滑块6带动滚筒7左右移动并对观察窗4进行擦拭，达到简单方便自动清洁的效果，通过启动第三电动推杆15伸缩，第三电动推杆15通过滑板13带动滑座14左右移动，滑座14通过步进电机16带动夹盘19左右移动，滑座14通过轴承座17带动旋转轴18和夹盘左右移动，从而改变夹盘19之间的间距，使得该真空镀膜机适合多种不同规格大小的零件镀膜使用，通过启动第二电动推杆10伸缩，第二电动推杆10通过滑板13带动滑座14上下移动，滑座14通过步进电机16带动夹盘19上下移动，从而改变夹持零件的夹持高度，再通过启动步进电机16，步进电机16通过输出轴带动夹盘19旋转，从而改变夹持零件的夹持角度，达到简单方便调节夹持零件角度的效果，从而提高了该真空镀膜机的实用性，解决了传统的真空镀膜机一般没有自动清理功能，观察玻璃容易污染而造成不便于观察喷涂效果，且传统的真空镀膜机一般为固定式夹具，不便于调节夹持角度，造成使用不方便等的问题。

Claims

1.一种高效磁控溅射真空镀膜机，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）的左侧固定安装有铰接块（2），所述铰接块（2）的左侧固定安装有箱门（3），所述箱门（3）的正面固定安装有观察窗（4），所述箱门（3）的正面且位于观察窗（4）的上方和下方均固定安装有导轨（5），所述导轨（5）的内部活动安装有滑块（6），所述滑块（6）的相对侧活动安装有滚筒（7），所述箱门（3）的正面且位于滑块（6）的右侧固定安装有第一电动推杆（8），所述箱体（1）的内壁底部固定安装有底板（9），所述底板（9）的顶部固定安装有第二电动推杆（10），所述底板（9）的顶部且位于第二电动推杆（10）的左侧和右侧均固定安装有导向杆（11），所述导向杆（11）的外壁套接有套筒（12），所述套筒（12）的外壁且位于第二电动推杆（10）的顶部固定安装有滑板（13），所述滑板（13）的顶部活动安装有滑座（14），所述滑座（14）的相背侧且位于滑板（13）的顶部固定安装有第三电动推杆（15），所述滑座（14）的左侧且位于滑座（14）远离第三电动推杆（15）的一端固定安装有步进电机（16），所述滑座（14）的右侧且位于滑座（14）远离第三电动推杆（15）的一端固定安装有轴承座（17），所述轴承座（17）的右侧固定安装有旋转轴（18），所述旋转轴（18）的外壁和步进电机（16）输出轴的外壁均套接有夹盘（19），所述箱体（1）的内壁顶部固定安装有磁控喷射头（20）。

2.根据权利要求1所述的一种高效磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述箱体（1）的底部固定安装有支撑座，所述支撑座的外壁套接有增阻套，所述增阻套为丁腈橡胶。

3.根据权利要求1所述的一种高效磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述箱体（1）的正面固定安装有第一密封圈，所述箱门（3）的正面固定安装有与第一密封圈相咬合的第二密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种高效磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述滚筒（7）为清洁软毛刷筒，所述第一电动推杆（8）的安装方向与导轨（5）相互平行。

5.根据权利要求1所述的一种高效磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述导向杆（11）和套筒（12）的数量均为四个，所述滑板（13）的相对侧固定安装有限位块。

6.根据权利要求1所述的一种高效磁控溅射真空镀膜机，其特征在于：所述第二电动推杆（10）和第三电动推杆（15）的数量均为两个，所述第二电动推杆（10）和第三电动推杆（15）的安装方向相互垂直。