CN210543993U - 一种半导体设备粉尘去除装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体设备粉尘去除装置，包括吸尘体、导气管和蓄水箱，所述吸尘体包括吸收管、塑料管和手动拉伸杆，所述塑料管的内腔中安装有风机，其外侧壁的顶部固定粘接有垫块，所述垫块上设有与之传动连接的调向轴，所述手动拉伸杆的侧壁与调向轴的外壁固定粘接，所述塑料管远离吸收管的一侧与导气管的一端固定粘接，所述蓄水箱的内腔中竖直设置有伸入管，其内腔中盛有自来水。该半导体设备粉尘去除装置，通过设置了蓄水箱、进液管、伸入管和自来水，通过进液管将自来水加入蓄水箱内，当空气带着粉尘并排入蓄水箱时，空气中的粉尘会被自来水吸收，防止被吸收的粉尘重新溢出至外界环境，使去除粉尘的效果更好。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体设备技术领域，具体涉及一种半导体设备粉尘去除装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有应用，例如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或还是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。随着科技的发展，半导体设备的应用越来越广泛，其涉及的范围也更广。
半导体设备在长时间工作后，其内部会残留大量的粉尘，因此需要用到相关的粉尘去除装置。现有的粉尘去除装置大多将粉尘吸入容纳罐内，而在清理容纳罐时，其内堆积的粉尘可能会重新溢出至外界环境，导致去除粉尘的效果并不好。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体设备粉尘去除装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备粉尘去除装置，包括吸尘体、导气管和蓄水箱，所述吸尘体包括吸收管、塑料管和手动拉伸杆，所述塑料管的内腔中安装有风机，其外侧壁的顶部固定粘接有垫块，所述垫块上设有与之传动连接的调向轴，所述手动拉伸杆的侧壁与调向轴的外壁固定粘接，所述塑料管远离吸收管的一侧与导气管的一端固定粘接，所述导气管的另一端与蓄水箱的顶壁固定连接；
所述蓄水箱的内腔中竖直设置有伸入管，其内腔中盛有自来水，所述蓄水箱远离导气管一侧的外侧壁固定焊接有与之内腔相通的排放管，所述排放管的外侧壁上开有安装槽，其内腔中设有衔接条和金属滤网，所述安装槽内设有与之卡合固定的嵌合块，其两侧均开有插孔，所述嵌合块的两端均固定焊接有插块，两组所述插块分别与两组插孔插接固定且其外侧壁固定粘接有橡胶垫，所述吸尘体底壁的四角均安装有滚轮。
优选的，所述吸收管的侧壁与塑料管的侧壁固定粘接，二者的内腔相通，所述吸收管内腔远离塑料管一侧的开口处设有金属格栅，所述金属格栅的外壁与吸收管内腔的侧壁固定粘接。
优选的，所述伸入管的一端贯穿蓄水箱的顶壁且与导气管固定粘接，其另一端伸向蓄水箱内腔的底部。
优选的，所述蓄水箱顶壁的中央固定焊接有其内腔相通的进液管，所述进液管和排放管上均安装有控制其开合的阀门。
优选的，所述衔接条的两端分别与嵌合块的内侧壁和金属滤网的外壁固定焊接，所述嵌合块的外侧壁固定焊接有支撑片，所述支撑片上设有与之固定粘接的把手。
本实用新型的技术效果和优点：该半导体设备粉尘去除装置，通过设置了蓄水箱、进液管、伸入管和自来水，通过进液管将自来水加入蓄水箱内，当空气带着粉尘并排入蓄水箱时，空气中的粉尘会被自来水吸收，防止被吸收的粉尘重新溢出至外界环境，使去除粉尘的效果更好；通过设置了手动拉伸杆、调向轴和垫块，手持手动拉伸杆和塑料管并使手动拉伸杆沿着调向轴旋转，即可调节其偏移角度，人员手持手动伸缩杆可将吸收管移动至半导体设备内的各个角落，使吸收粉尘的效果更好；通过设置了排放管、嵌合块、衔接条和金属滤网，当污水排出时，其内凝结的大块固体杂质会被金属滤网拦阻，而污水(和小颗粒杂质)会直接排出，使得污水和大块固体杂质被分开并分别进行处理，使处理的效果更好。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的塑料管的竖直剖面图；
图3为本实用新型的排放管的竖直剖面图；
图4为本实用新型的蓄水箱的竖直剖面图。
图中：1吸尘体、2导气管、3蓄水箱、4吸收管、5塑料管、6金属格栅、7风机、8垫块、9调向轴、10手动拉伸杆、11进液管、12伸入管、13自来水、14排放管、15嵌合块、16衔接条、17金属滤网、18支撑片、19插孔、20插块、21滚轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型提供了如图1-4所示的一种半导体设备粉尘去除装置，本实用新型所适用的半导体设备可为晶圆加工设备、IC封测设备等，包括吸尘体1、导气管2和蓄水箱3，所述吸尘体1包括吸收管4、塑料管5和手动拉伸杆10，手动拉伸杆10的伸缩原理与自拍杆的伸缩原理相同，所述塑料管5的内腔中安装有风机7，该风机7与外接的电源电性连接，以保证其正常工作，其外侧壁的顶部固定粘接有垫块8，所述垫块8上设有与之传动连接的调向轴9，所述手动拉伸杆10的侧壁与调向轴9的外壁固定粘接，所述塑料管5远离吸收管4的一侧与导气管2的一端固定粘接，所述导气管2的另一端与蓄水箱3的顶壁固定连接；
所述蓄水箱3的内腔中竖直设置有伸入管12，其内腔中盛有自来水13，所述蓄水箱3远离导气管2一侧的外侧壁固定焊接有与之内腔相通的排放管14，所述排放管14的外侧壁上开有安装槽，其内腔中设有衔接条16和金属滤网17，所述安装槽内设有与之卡合固定的嵌合块15，其两侧均开有插孔19，所述嵌合块15的两端均固定焊接有插块20，两组所述插块20分别与两组插孔19插接固定且其外侧壁固定粘接有橡胶垫，所述吸尘体1底壁的四角均安装有滚轮21，还应该在安装槽与嵌合块15接触的位置设置一组硅胶垫，使排放管14内的水不会从安装槽与嵌合块15之间的缝隙溢出。
具体的，所述吸收管4的侧壁与塑料管5的侧壁固定粘接，二者的内腔相通，所述吸收管4内腔远离塑料管5一侧的开口处设有金属格栅6，设置金属格栅6可以防止外界的大颗粒固体物进入导气管2内而导致其堵塞，粉尘等小颗粒物可以穿过金属格栅6，所述金属格栅6的外壁与吸收管4内腔的侧壁固定粘接。
具体的，所述伸入管12的一端贯穿蓄水箱3的顶壁且与导气管2固定粘接，其另一端伸向蓄水箱3内腔的底部，在实际使用该装置时，自来水13的水位应漫过伸入管12的底部，这样才能利用自来水吸收粉尘。
具体的，所述蓄水箱3顶壁的中央固定焊接有其内腔相通的进液管11，所述进液管11和排放管14上均安装有控制其开合的阀门。
具体的，所述衔接条16的两端分别与嵌合块15的内侧壁和金属滤网17的外壁固定焊接，所述嵌合块15的外侧壁固定焊接有支撑片18，所述支撑片18上设有与之固定粘接的把手，手持把手向外拉伸，可以带动嵌合块15从排放管14脱离，从而使排放管14内凝结的固体颗粒杂质排出。
具体的，该半导体设备粉尘去除装置，在使用时，首先打开进液管11上的阀门，通过进液管11向蓄水箱3内腔加入自来水，自来水的体积保持在蓄水箱3内腔容积的80％左右即可，人员推动蓄水箱3并使其沿着四组滚轮21的滚动而移动，当蓄水箱3靠近半导体设备后，手持手动拉伸杆10并使其沿着调向轴9旋转，当调节好手动伸缩杆10与塑料管5的夹角之后，手持手动伸缩杆10远离塑料管5的一侧并带动塑料管5靠近需要清理粉尘的位置，驱动风机7工作即可将外界的空气吸入导气管2并将粉尘带入吸收管4，粉尘会通过塑料管5和导气管2的输送后进入蓄水箱3内并被自来水吸收，气体最终从进液管11排出，当粉尘吸收完成后，将蓄水箱3移动至可以排放污水的位置，打开排放管14上的阀门，使污水流出，而污水中凝结成块状的固体颗粒杂质会被金属滤网17拦阻(金属滤网17与防尘网的密集程度相同，其表面开有直径小于1mm的孔，污水和小颗粒杂质可通过，而大颗粒的固体杂质不能通过)，当污水排放完之后，手持把手并拉伸嵌合块15，即可使嵌合块15与排放管14分离，此时即可使排放管14内残留的大块的固体颗粒杂质排出，从而实现污水(包括小颗粒杂质)和大块固体颗粒杂质的分开处理。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种半导体设备粉尘去除装置，包括吸尘体(1)、导气管(2)和蓄水箱(3)，其特征在于：所述吸尘体(1)包括吸收管(4)、塑料管(5)和手动拉伸杆(10)，所述塑料管(5)的内腔中安装有风机(7)，其外侧壁的顶部固定粘接有垫块(8)，所述垫块(8)上设有与之传动连接的调向轴(9)，所述手动拉伸杆(10)的侧壁与调向轴(9)的外壁固定粘接，所述塑料管(5)远离吸收管(4)的一侧与导气管(2)的一端固定粘接，所述导气管(2)的另一端与蓄水箱(3)的顶壁固定连接；
所述蓄水箱(3)的内腔中竖直设置有伸入管(12)，其内腔中盛有自来水(13)，所述蓄水箱(3)远离导气管(2)一侧的外侧壁固定焊接有与之内腔相通的排放管(14)，所述排放管(14)的外侧壁上开有安装槽，其内腔中设有衔接条(16)和金属滤网(17)，所述安装槽内设有与之卡合固定的嵌合块(15)，其两侧均开有插孔(19)，所述嵌合块(15)的两端均固定焊接有插块(20)，两组所述插块(20)分别与两组插孔(19)插接固定且其外侧壁固定粘接有橡胶垫，所述吸尘体(1)底壁的四角均安装有滚轮(21)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体设备粉尘去除装置，其特征在于：所述吸收管(4)的侧壁与塑料管(5)的侧壁固定粘接，二者的内腔相通，所述吸收管(4)内腔远离塑料管(5)一侧的开口处设有金属格栅(6)，所述金属格栅(6)的外壁与吸收管(4)内腔的侧壁固定粘接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体设备粉尘去除装置，其特征在于：所述伸入管(12)的一端贯穿蓄水箱(3)的顶壁且与导气管(2)固定粘接，其另一端伸向蓄水箱(3)内腔的底部。
4.根据权利要求1所述的一种半导体设备粉尘去除装置，其特征在于：所述蓄水箱(3)顶壁的中央固定焊接有其内腔相通的进液管(11)，所述进液管(11)和排放管(14)上均安装有控制其开合的阀门。
5.根据权利要求1所述的一种半导体设备粉尘去除装置，其特征在于：所述衔接条(16)的两端分别与嵌合块(15)的内侧壁和金属滤网(17)的外壁固定焊接，所述嵌合块(15)的外侧壁固定焊接有支撑片(18)，所述支撑片(18)上设有与之固定粘接的把手。
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