CN210516693U - 一种自动提动装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种自动提动装置，涉及半导体晶圆加工领域，针对现有手动操作的方式对于作业员的依赖性大，作业员操作的力度、幅度等因素均依赖于作业员的人为控制，质量稳定性、一致性差的问题，现提出如下方案，包括往返气缸，所述往返气缸上固定连接有两个气管，所述气管远离往返气缸的一端固定连接有电磁阀，所述电磁阀上连接有气缸控制器，所述气缸控制器上连接有计时器，所述往返气缸的顶部设有推拉杆，所述推拉杆远离往返气缸的一端固定连接有吊杆。本实用新型结构简单，成本低，维修方便，可调的提动频率和时间满足清洗、腐蚀和镀镍等多种需求，有效地控制时间，降低人工劳动强度、提高生产效率，提高产品品质。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体晶圆加工领域，尤其涉及一种自动提动装置。
背景技术
半导体晶圆在生产制造过程中需要各种清洗、腐蚀以及镀镍等工序，在这些工序中清洗液或腐蚀液与晶圆反应去除表面杂质或形成各种镀膜，反应的均匀性决定了晶圆的质量。而在反应时晶圆表面会产生气泡阻碍反应进行，需要扰动晶圆以利于反应进行。现行技术往往采用手动上下提动载片盒连带晶圆的人工作业方式。手动操作的方式对于作业员的依赖性大，作业员操作的力度、幅度等因素均依赖于作业员的人为控制，质量稳定性、一致性差，为此我们提出了一种自动提动装置。
实用新型内容
本实用新型提出的一种自动提动装置，解决了现有手动操作的方式对于作业员的依赖性大，作业员操作的力度、幅度等因素均依赖于作业员的人为控制，质量稳定性、一致性差的问题。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种自动提动装置，包括往返气缸，所述往返气缸上固定连接有两个气管，所述气管远离往返气缸的一端固定连接有电磁阀，所述电磁阀上连接有气缸控制器，所述气缸控制器上连接有计时器，所述往返气缸的顶部设有推拉杆，所述推拉杆远离往返气缸的一端固定连接有吊杆，所述吊杆的底部远离推拉杆的一侧焊接有挡板，所述推拉杆和挡板之间设有与吊杆的底部转动连接的推杆电机，所述推杆电机的输出轴铰接有挂钩，所述挂钩的顶端与吊杆铰接，所述挂钩的外部套设有晶圆吊篮。
优选的，所述往返气缸为2个，并排设置在一起，所述往返气缸产生至少300牛顿的推拉力。
优选的，所述推拉杆的顶端焊接有固定板，且固定板与吊杆通过螺栓连接。
优选的，所述晶圆吊篮内还设有载片盒，所述载片盒内插放晶圆。
优选的，所述电磁阀还外设减压阀，所述电磁阀上设有气源接口，所述气源接口接入有气源管路。
优选的，所述气缸控制器的型号为WXY15，所述计时器的型号为 KG316T。
与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过气缸控制器给出往返气缸的进气和放气指令以及频率，以此使推拉杆有节奏的上下运动，晶圆吊篮承载载片盒及晶圆，可实现等速均匀的上下提动晶圆，减少人为因素对品质的影响，晶圆吊篮设计成可脱卸式，方便取放载片盒，往返气缸内的推拉杆，产生至少300牛顿的推拉力，可推动连带晶圆和晶圆吊篮，吊杆和晶圆吊篮，设计为塑料材质，可避免清洗、腐蚀等的酸碱腐蚀液腐蚀，此外，还设有计时器，线路与气缸控制器连接，并给出作业完成时报警，本装置结构简单，成本低，维修方便，可调的提动频率和时间满足清洗、腐蚀和镀镍等多种需求，有效地控制时间，降低人工劳动强度、提高生产效率，提高产品品质。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种自动提动装置的正视结构示意图。
图中：1往返气缸、2气管、3电磁阀、4气缸控制器、5计时器、 6气源接口、7推拉杆、8吊杆、9挡板、10推杆电机、11挂钩、12 晶圆吊篮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1，一种自动提动装置，包括往返气缸1，往返气缸1上固定连接有两个气管2，气管2远离往返气缸1的一端固定连接有电磁阀3，电磁阀3上连接有气缸控制器4，气缸控制器4上连接有计时器5，往返气缸1的顶部设有推拉杆7，推拉杆7远离往返气缸1 的一端固定连接有吊杆8，吊杆8的底部远离推拉杆7的一侧焊接有挡板9，推拉杆7和挡板9之间设有与吊杆8的底部转动连接的推杆电机10，推杆电机10的输出轴铰接有挂钩11，挂钩11的顶端与吊杆8铰接，挂钩11的外部套设有晶圆吊篮12。
本实施例中，往返气缸1为2个，并排设置在一起，往返气缸1 产生至少300牛顿的推拉力。
本实施例中，推拉杆7的顶端焊接有固定板，且固定板与吊杆8 通过螺栓连接。
本实施例中，晶圆吊篮12内还设有载片盒，载片盒内插放晶圆。
本实施例中，电磁阀3还外设减压阀，电磁阀3上设有气源接口 6，气源接口6接入有气源管路。
本实施例中，气缸控制器4的型号为WXY15，所述计时器5的型号为KG316T，气缸控制器4与计时器5之间通过导线电性连接，气缸控制器4与电磁阀3之间也通过导线电性连接。
工作原理，首先，气缸控制器4给出往返气缸1的进气和放气指令以及频率，以此使推拉杆7有节奏的上下运动，晶圆吊篮12承载载片盒及晶圆，可实现等速均匀的上下提动晶圆，减少人为因素对品质的影响，晶圆吊篮12设计成可脱卸式，方便取放载片盒，推杆电机10则可以带动挂钩11转动，这样方便晶圆吊篮12的取放，往返气缸1内的推拉杆7，产生至少300牛顿的推拉力，可推动连带晶圆和晶圆吊篮12，吊杆8和晶圆吊篮12，设计为塑料材质，可避免清洗、腐蚀等的酸碱腐蚀液腐蚀，此外，还设有计时器5，线路与气缸控制器4连接，并给出作业完成时报警，整个装置成本低，维修方便，可调的提动频率和时间满足清洗、腐蚀和镀镍等多种需求，有效地控制时间，降低人工劳动强度、提高生产效率，提高产品品质。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种自动提动装置，包括往返气缸(1)，其特征在于，所述往返气缸(1)上固定连接有两个气管(2)，所述气管(2)远离往返气缸(1)的一端固定连接有电磁阀(3)，所述电磁阀(3)上连接有气缸控制器(4)，所述气缸控制器(4)上连接有计时器(5)，所述往返气缸(1)的顶部设有推拉杆(7)，所述推拉杆(7)远离往返气缸(1)的一端固定连接有吊杆(8)，所述吊杆(8)的底部远离推拉杆(7)的一侧焊接有挡板(9)，所述推拉杆(7)和挡板(9)之间设有与吊杆(8)的底部转动连接的推杆电机(10)，所述推杆电机(10)的输出轴铰接有挂钩(11)，所述挂钩(11)的顶端与吊杆(8)铰接，所述挂钩(11)的外部套设有晶圆吊篮(12)。
2.根据权利要求1所述的一种自动提动装置，其特征在于，所述往返气缸(1)为2个，并排设置在一起，所述往返气缸(1)产生至少300牛顿的推拉力。
3.根据权利要求1所述的一种自动提动装置，其特征在于，所述推拉杆(7)的顶端焊接有固定板，且固定板与吊杆(8)通过螺栓连接。
4.根据权利要求1所述的一种自动提动装置，其特征在于，所述晶圆吊篮(12)内还设有载片盒，所述载片盒内插放晶圆。
5.根据权利要求1所述的一种自动提动装置，其特征在于，所述电磁阀(3)还外设减压阀，所述电磁阀(3)上设有气源接口(6)，所述气源接口(6)接入有气源管路。
6.根据权利要求1所述的一种自动提动装置，其特征在于，所述气缸控制器(4)的型号为WXY15，所述计时器(5)的型号为KG316T。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201921603858.1U CN210516693U (zh) | 2019-09-25 | 2019-09-25 | 一种自动提动装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210516693U true CN210516693U (zh) | 2020-05-12 |
Family
ID=70571456
Family Applications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210516693U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112923689A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-06-08 | 长江师范学院 | 热泵烘干室 |
| CN113964067A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-01-21 | 江苏威森美微电子有限公司 | 一种晶圆刻蚀设备 |
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2019
- 2019-09-25 CN CN201921603858.1U patent/CN210516693U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN112923689A (zh) * | 2021-02-07 | 2021-06-08 | 长江师范学院 | 热泵烘干室 |
| CN113964067A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-01-21 | 江苏威森美微电子有限公司 | 一种晶圆刻蚀设备 |
| CN113964067B (zh) * | 2021-11-26 | 2022-10-25 | 江苏威森美微电子有限公司 | 一种晶圆刻蚀设备 |
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