CN210506554U - 一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，包括机架，机架安装有倾斜平台，机架的一侧设置有液体收集箱，倾斜平台的中部设置有旋转固定部，旋转固定部包括外固定部和内旋转部，外固定部安装于倾斜平台，内旋转部滑动连接于外固定部内腔中，倾斜平台安装有电刷镀处理装置和固定支架，固定支架分别安装在倾斜平台的两端，电刷镀处理装置包括刷头、绝缘伸缩杆和刷镀滑轨，刷头滑动安装于刷镀滑轨，刷镀滑轨的两端分别安装于固定支架，绝缘伸缩杆的一端连接于刷头，绝缘伸缩杆的另一端连接于固定支架。本实用新型的加工设备提高电刷镀区域的电流密度和离子沉积速度，提高电刷镀层的致密性和电刷镀效率。

Description

一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备

技术领域

本实用新型涉及旋转靶绑定预处理技术领域，尤其是涉及一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备。

背景技术

传统的绑定方法将旋转靶材分多段依次绑定，多段绑定导致旋转靶材段之间形成接缝，该接缝在磁控溅射中会影响镀膜的均匀性，因此采取一次整管绑定的旋转靶质量更优。

在对旋转靶的背管和靶材管在绑定前的预处理效果直接影响旋转靶绑定的粘结牢固度和焊合率，粘结牢固度和焊合率低使旋转靶在使用时出现导电不良、散热不均、易脱落的情况，严重影响产品的使用，因此对旋转靶的绑定前的预处理尤为重要。

其中靶材管的预处理是对靶材管的内壁进行电刷镀处理，在电刷镀通电时，靶材管的长度达到2.5米以上，因靶材管的长度过长，导致电刷镀区域的电流密度低，使电刷镀层的致密性低，离子的沉积速度慢，导致电刷镀效果差，电刷镀效率低。同时现有的旋转靶电刷镀平台为人工刷镀，生产效率低，刷镀膜层厚度等靠人工经验进行控制，刷镀膜的质量无法保证。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，对绑定前的靶材管内壁进行电刷镀处理，提高电刷镀区域的电流密度和离子沉积速度，提高电刷镀层的致密性和电刷镀效率，提高电刷镀的自动化控制，减少人工操作，提供靶材管电刷镀的可控性，提高生产效率，提高生产质量。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，包括机架，机架安装有倾斜平台，机架的一侧设置有液体收集箱，倾斜平台的中部设置有旋转固定部，旋转固定部包括外固定部和内旋转部，外固定部安装于倾斜平台，内旋转部滑动连接于外固定部内腔中，倾斜平台安装有电刷镀处理装置和固定支架，固定支架分别安装在倾斜平台的两端，电刷镀处理装置包括刷头、绝缘伸缩杆和刷镀滑轨，刷头滑动安装于刷镀滑轨，刷镀滑轨的两端分别安装于固定支架，绝缘伸缩杆的一端连接于刷头，绝缘伸缩杆的另一端连接于固定支架。

进一步的技术方案中，所述机架内设置有升降驱动机构，升降驱动机构驱动连接所述倾斜平台的一端，倾斜平台的另一端铰接于机架，所述液体收集箱位于铰接有倾斜平台的机架一侧。

进一步的技术方案中，所述外固定部固定安装于所述倾斜平台的顶面，用于固定靶材管的所述内旋转部沿所述加工设备的长度方向为中空设置，所述旋转固定部包括旋转驱动装置，旋转驱动装置驱动连接内旋转部，内旋转部相对外固定部旋转。

进一步的技术方案中，所述电刷镀处理装置包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管和至少两个用于连接在所述靶材管外壁的阴极连接部，所述刷头设置有阳极连接管，阳极连接管的一端连接于刷头，阳极连接管的另一端连接直流电源的正极，电刷镀输液管的一端固定于刷头，电刷镀输液管的另一端插入电刷镀液，阴极连接部与靶材管同轴安装，阴极连接部设置有数量与阴极连接部数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与分别一阴极连接部，各负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极。

进一步的技术方案中，相邻的所述阴极连接部之间的距离设置在50cm-100cm，各阴极连接部间隔相等地设置于所述靶材管的外壁，阴极连接部围绕于所述靶材管的外壁。

进一步的技术方案中，所述刷头包括刷镀头、固定座和阳极连接部，阳极连接部安装于固定座的中部，刷镀头安装于阳极连接部。

进一步的技术方案中，所述刷镀头的外侧形状与所述靶材管的内侧形状相匹配，刷镀头的一侧开设有镀头固定孔，镀头固定孔插装于所述阳极连接部，所述固定座为中空，固定座的侧面开设有阳极连接通孔，阳极连接部安装于固定座的中空位置，阳极连接部的侧面设置有固定孔，固定孔与阳极连接通孔对应连接，阳极连接部的下端凸出设置有一镀头安装部，镀头固定孔安装于镀头安装部，阳极连接部的上端向内凹陷形成阳极安装部，阳极安装部与所述阳极连接管的一端连接，所述刷头的外周包覆有镀液擦拭部，刷镀头被包裹于镀液擦拭部内，所述电刷镀输液管插入至镀液擦拭部的包裹范围内。

进一步的技术方案中，所述刷镀滑轨安装于所述刷头的上方，所述电刷镀输液管和所述阳极连接管位于所述绝缘伸缩杆上，所述机架的一侧旋转设置有收放装置和收放驱动装置，收放驱动装置驱动收放装置旋转，收放装置的旋转速度与刷头的滑动速度相适应，电刷镀输液管和阳极连接管分别缠绕于收放装置。

进一步的技术方案中，所述刷镀滑轨包括横向滑动块和横向驱动机构，横向滑动块的一侧滑动安装于刷镀滑轨，横向滑动块的另一侧连接于所述刷头，横向滑动块驱动连接于横向驱动机构。

进一步的技术方案中，所述加工设备设置有控制装置，控制装置分别控制连接所述横向驱动机构、所述升降驱动机构、所述收放驱动装置和所述旋转驱动装置。

采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：本实用新型的加工处理设备，提高对靶材管电刷镀作业的自动化程度，能通过控制装置控制靶材管刷镀时的旋转速度和刷头的移动速度，有效保证电刷镀层的厚度及致密性，同时也提高电刷镀的工作效率

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的倾斜平台被顶起时的结构剖视图。

图3是本实用新型的电刷镀处理装置电线连接结构示意图。

图4是本实用新型的刷头的结构示意图。

图5是本实用新型的阳极连接部的结构示意图。

图6是本实用新型的固定座的结构示意图。

图7是本实用新型的刷镀头的结构示意图。

图中：12-靶材管、18-机架、19-液体收集箱；

75-旋转固定部、76-外固定部、77-内旋转部、78-倾斜平台、79-升降驱动机构；

80-直流电源的正极、81-直流电源的负极、82-刷镀滑轨、83-固定支架、84-绝缘伸缩杆、85-横向滑动块；

90-电刷镀输液管、91-阴极连接部、92-阳极连接管；93-刷头、94-刷镀头、95-镀头固定孔、96-镀液擦拭部；

110-固定座、111-阳极连接通孔、112-阳极连接部、113-固定孔、114-镀头安装部、115-阳极安装部。

具体实施方式

以下仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。

一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，如图1-图7所示，包括机架18，机架18安装有倾斜平台78，机架18的一侧设置有液体收集箱19，倾斜平台78的中部设置有旋转固定部75，旋转固定部75包括外固定部76和内旋转部77，外固定部76安装于倾斜平台78，内旋转部77滑动连接于外固定部76，倾斜平台78安装有电刷镀处理装置和固定支架83，固定支架83分别安装在倾斜平台78的两端，电刷镀处理装置包括刷头93、绝缘伸缩杆84和刷镀滑轨82，刷头93滑动安装于刷镀滑轨82，刷镀滑轨82的两端分别安装于固定支架83，绝缘伸缩杆84的一端连接于刷头93，绝缘伸缩杆84的另一端连接于固定支架83。

本实用新型的加工设备可以对长达2.5米以上的整管靶材管12进行电刷镀作业，提高对靶材管电刷镀作业的自动化程度，能通过控制装置控制靶材管12刷镀时的旋转速度和刷头93的移动速度，有效保证电刷镀层的厚度及致密性，同时也提高电刷镀的工作效率。

在电刷镀时，靶材管12固定安装于旋转固定部75的内旋转部77中，刷镀滑轨82安装于靶材管12的轴线上，刷头93的刷镀面朝下，启动加工设备，通过水泵将电刷镀液流入电刷镀输液管90，电刷镀液到达刷头93处并留出电刷镀输液管90，电刷镀液将镀液擦拭部96浸湿，镀液擦拭部96浸湿至规定湿度，开始电刷镀工作，内旋转部77与靶材管12相对外固定部76旋转，旋转固定部75按照设定的旋转速度旋转，以配合电镀层形成的时间旋转，在电刷镀过程中，电刷镀输液管90源源不断地向镀液擦拭部96提供电刷镀液。一刷头93的长度(刷镀头94即沿靶材管12的长度方向的长度)为一电刷镀单位长度，在刷头93与旋转靶材的接触面上旋转完一圈后的面积为一电刷镀单位面积，一电刷镀单位面积的电刷镀层已完成，刷头93沿刷镀滑轨82方向向未电刷镀区域移动一电刷镀单位长度，随着靶材管12的旋转继续进行电刷镀，不断地循环，直至整个靶材管12内壁的电刷镀层完成，电刷镀层完成后，通过升降驱动机构79将倾斜平台78的一端顶起，使靶材管12发生倾斜，旋转靶被顶起的一端高，接近倾斜平台78铰接于固定支架83的靶材管12一端为低，此时在靶材管12内的电刷镀液顺着靶材管12的斜度流向液体收集箱19。

机架18内设置有升降驱动机构79，升降驱动机构79驱动连接倾斜平台78的一端，倾斜平台78的另一端铰接于机架18，液体收集箱19位于铰接有倾斜平台78的机架18一侧。升降驱动机构79可选齿轮与齿条啮合，通过电机驱动齿轮旋转从而驱动齿条上升或下降，或选用电动液压千斤顶等电动驱动装置，升降驱动机构79将倾斜平台78的一端向上抵顶，使倾斜平台78的一端向上移动，另一端铰接于机架18，使倾斜平台78整体发生倾斜，因靶材管12固定于旋转固定部75，且刷镀滑轨82、绝缘伸缩杆84和刷头93均位于靶材管12内，且刷镀滑轨82和绝缘伸缩杆84的端部安装于靶材管12之外的固定支架83上，因此将倾斜平台78整体倾斜从而带动靶材管12、固定支架83、滑轨、绝缘伸缩杆84和刷头93同时倾斜，能避免因需要将靶材管12倾斜而变动与靶材管12连接或接触的部件位置，倾斜平台78整体倾斜，整体稳定性更好，使用更安全。

外固定部76固定安装于倾斜平台78的顶面，内旋转部77滑动连接于外固定部76内腔中，用于固定靶材管12的内旋转部77沿加工设备的长度方向为中空设置，旋转固定部75包括旋转驱动装置，旋转驱动装置驱动连接内旋转部77，内旋转部77相对外固定部76旋转。内旋转部77的中空形状与靶材管12的外壁形状相适应，旋转驱动装置传动连接内旋转部77，以实现驱动内旋转部77匀速旋转，在电刷镀过程中使靶材管12旋转。

具体的，刷镀滑轨82安装于刷头93的上方，电刷镀输液管90和阳极连接管92位于绝缘伸缩杆84上，机架18的一侧旋转设置有收放装置和收放驱动装置，收放驱动装置驱动收放装置旋转，收放装置的旋转速度与刷头93的滑动速度相适应，电刷镀输液管90和阳极连接管92分别缠绕于收放装置。在电刷镀过程中，刷头93根据控制系统的控制在刷镀滑轨82上前后移动，在移动过程中，绝缘伸缩杆84为多段拼接结构，绝缘伸缩杆84随着刷头93的移动进行相应地伸缩以匹配刷头93的移动距离，同时，刷头93在刷镀滑轨82上前后移动时，收放装置同时也与刷头93滑动距离相适应地收放缠绕在收放装置上的电刷镀输液管90和阳极连接管92，以使电刷镀输液管90和阳极连接管92至刷头93的长度适宜，若电刷镀输液管90和阳极连接管92至刷头93的长度过短会影响刷头93的移动，电刷镀输液管90和阳极连接管92至刷头93的长度过长则有可能会凸出触碰至电刷镀层，影响电刷镀层的质量。

更为具体的，刷镀滑轨82包括横向滑动块85和横向驱动机构，横向滑动块85的一侧滑动安装于刷镀滑轨82，横向滑动块85的另一侧连接于刷头93，横向滑动块85驱动连接于横向驱动机构。

加工设备设置有控制装置，控制装置分别控制连接横向驱动机构、升降驱动机构79、收放驱动装置和旋转驱动装置。横向驱动机构驱动横向滑动块85带动刷头93沿刷镀滑轨82方向移动。升降驱动机构79驱动倾斜平台78的一端上升或下降。收放驱动装置驱动收放装置对电刷镀输液管90和阳极连接管92收卷或放出。旋转驱动装置驱动内旋转部77带动靶材管12进行旋转，横向驱动机构、升降驱动机构79、收放驱动装置和旋转驱动装置之间相互配合，通过控制装置同一控制，从而保证靶材管12的旋转速度，刷头93的移动距离等参数均可量化，使电刷镀效果更好，减少人工操作，提高生产自动化，提高生产效率。

电刷镀处理装置，图3-图7所示，包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管90，电刷镀处理装置包括刷头93和至少两个用于连接在靶材管12外壁的阴极连接部91，刷头93设置有阳极连接管92，阳极连接管92的一端连接于刷头93，阳极连接管92的另一端连接直流电源的正极80，电刷镀输液管90的一端固定于刷头93，电刷镀输液管90的另一端连接电刷镀液，阴极连接部91与靶材管12同轴安装，阴极连接部91设置有数量与阴极连接部91数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与对应的阴极连接部91连接，负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极81。

现有的旋转靶绑定多为分段绑定，分段的旋转靶长度较短，一般在绑定前进行对旋转靶的背管和靶材管12进行预处理，对靶材管12的预处理会进行刷镀，在刷镀时会对靶材管12连接直流电源的负极81，在刷镀笔上连接直流电源的正极80进行电刷镀。因分段绑定的靶材管12在连接处会形成接缝，在磁控溅射时会影响镀膜的均匀性，为了避免这问题发生因此采取一次性整管绑定。

在电刷镀时对电流密度会有一定的要求，靶材管12的长度一般在2.5米以上，由于靶材管12的长度过长，使刷镀时的电流密度过低，导致电刷镀时离子的沉积速度慢，电刷镀效果差，电刷镀效率低。本实用新型在靶材管12的外壁设置有至少2个阴极连接部91，阴极连接部91由电阻较小的导电材料制成，该阴极连接部91的优选材料为铜，直流电源的负极81分别同时连接各阴极连接部91，直流电源的正极80与刷头93连接，打开电源，在刷头93在靶材管12内壁进行刷镀时，因有多个阴极连接部91分布在靶材管12长度方向的不同位置上，使在靶材管12的各区域的电流密度均匀，有效防止个别区域电流密度过度的现象，从而保证离子的沉积速度，电刷镀层厚度均匀，电刷镀效果好，电刷镀效率高。

作为优选地，相邻的阴极连接部91之间的距离设置在50cm-100cm。阴极连接部91之间的距离设置过密容易造成电流密度过高，阴极连接部91之间的距离设置过长容易造成电流密度过低，因此阴极连接部91之间的距离要选取合适的长度，才能得到合适的电流密度。更为优选地，各阴极连接部91间隔相等地设置于靶材管12的外壁，阴极连接部91围绕于靶材管12的外壁。各阴极连接部91间隔相等设置使各区域的电流密度更为均匀。

直流电流的负极与阴极连接部91连接，形成电刷镀处理装置的阴极。直流电流的正极与刷头93连接，形成电刷镀处理装置的阳极。具体的阳极结构为，刷头93包括刷镀头94、固定座110和阳极连接部112，阳极连接部112安装于固定座110的中部，刷镀头94安装于阳极连接部112。刷镀头94优选由石墨材料制成。阳极连接部112优选由导电性能好的材料制成。

更为具体的，刷镀头94的外侧形状(刷镀头94的外侧为与靶材管12接触电刷镀的一侧)与靶材管12的内侧形状相匹配，刷镀头94的一侧开设有镀头固定孔95，镀头固定孔95插装于阳极连接部112。刷镀头94的外侧形状与靶材管12的内侧形状相匹配，在进行电刷镀时，刷头93与靶材管12之间的贴合度更高，有助于镀层的形成。

固定座110为中空，固定座110的侧面开设有阳极连接通孔111，阳极连接部112安装于固定座110的中空位置，阳极连接部112的侧面设置有固定孔113，固定孔113与阳极连接通孔111对应连接。阳极连接部112的下端凸出设置有一镀头安装部114，镀头固定孔95安装于镀头安装部114，阳极连接部112的上端向内凹陷形成阳极安装部115，阳极安装部115与阳极连接管92的一端连接。作为优选的，阳极连接通孔111和固定孔113的数量相同，阳极连接通孔111和固定孔113的位置相对应，阳极连接通孔111和固定孔113通过螺母连接固定，正极连接孔和固定孔113的数量各设置4个，在固定座110和阳极连接部112的圆周侧面间隔均等分布，固定效果更好。镀头固定孔95与镀头安装部114的活动连接方式可选择多种，可以使卡扣连接或螺纹连接。优选的，在镀头固定孔95的内壁和镀头安装部114的外侧分别设置螺纹，镀头固定孔95和镀头安装部114螺纹连接。

刷头93的外周包覆有镀液擦拭部96，刷镀头94被包裹于镀液擦拭部96内，电刷镀输液管90插入至镀液擦拭部96的包裹范围内。镀液擦拭部96可由医用脱脂棉、涤纶棉套或人造毛套等软质并能吸收液体的材质制成。刷镀头94被全部包裹在镀液擦拭部96内，电刷镀输液管90的出液口与镀液擦拭部96接触，或电刷镀输液管90的出液口位于镀液擦拭部96的包裹范围的内侧，使电刷镀输液管90的输入液体能与镀液擦拭部96接触，并润湿镀液擦拭部96，在电刷镀过程中，电刷镀输液管90不断向镀液擦拭部96提供电刷镀液，使镀液擦拭部96中的电刷镀液量满足刷镀要求。

刷镀头94的上方安装有一刷镀滑轨82，刷镀头94滑动安装于刷镀滑轨82，刷镀头94的一侧设置有一绝缘伸缩杆84，电刷镀输液管90和阳极连接管92固定或放置于绝缘伸缩杆84。刷镀滑轨82包括横向滑动块85和横向驱动机构，横向滑动块85的一侧滑动安装于刷镀滑轨82，横向滑动块85的另一侧连接于刷头93，横向滑动块85驱动连接于横向驱动机构。横向驱动机构可以选用直线气缸，横向驱动机构也可以选用由电机所驱动的传动链条、同步传动带或传动杆，绝缘伸缩杆84的伸缩长度或距离与刷头93在刷镀滑轨82上的滑动距离相适应。刷镀滑轨82的两端固定于固定支架83，固定支架83可固定于墙壁或地面等可固定位置。绝缘伸缩杆84远离刷镀头94的一端固定于固定支架83。将刷头93安装于一刷镀滑轨82，并通过横向驱动机构驱动刷头93横向移动，能有效控制刷头93在电刷镀过程中的移动速度，从而控制刷镀头94在各区域形成镀层的厚度，保证镀层质量，同时也提高生产自动化，提高工作效率。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，包括机架(18)，其特征在于：机架(18)安装有倾斜平台(78)，机架(18)的一侧设置有液体收集箱(19)，倾斜平台(78)的中部设置有旋转固定部(75)，旋转固定部(75)包括外固定部(76)和内旋转部(77)，外固定部(76)安装于倾斜平台(78)，内旋转部(77)滑动连接于外固定部(76)内腔中，

倾斜平台(78)安装有电刷镀处理装置和固定支架(83)，固定支架(83)分别安装在倾斜平台(78)的两端，电刷镀处理装置包括刷头(93)、绝缘伸缩杆(84)和刷镀滑轨(82)，刷头(93)滑动安装于刷镀滑轨(82)，刷镀滑轨(82)的两端分别安装于固定支架(83)，绝缘伸缩杆(84)的一端连接于刷头(93)，绝缘伸缩杆(84)的另一端连接于固定支架(83)。

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述机架(18)内设置有升降驱动机构(79)，升降驱动机构(79)驱动连接所述倾斜平台(78)的一端，倾斜平台(78)的另一端铰接于机架(18)，所述液体收集箱(19)位于铰接有倾斜平台(78)的机架(18)一侧。

3.根据权利要求2所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述外固定部(76)固定安装于所述倾斜平台(78)的顶面，用于固定靶材管(12)的所述内旋转部(77)沿所述加工设备的长度方向为中空设置，所述旋转固定部(75)包括旋转驱动装置，旋转驱动装置驱动连接内旋转部(77)，内旋转部(77)相对外固定部(76)旋转。

4.根据权利要求3所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述电刷镀处理装置包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管(90)和至少两个用于连接在所述靶材管(12)外壁的阴极连接部(91)，

所述刷头(93)设置有阳极连接管(92)，阳极连接管(92)的一端连接于刷头(93)，阳极连接管(92)的另一端连接直流电源的正极(80)，电刷镀输液管(90)的一端固定于刷头(93)，电刷镀输液管(90)的另一端插入电刷镀液，

阴极连接部(91)与靶材管(12)同轴安装，阴极连接部(91)设置有数量与阴极连接部(91)数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与分别一阴极连接部(91)，各负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极(81)。

5.根据权利要求4所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：相邻的所述阴极连接部(91)之间的距离设置在50cm-100cm，各阴极连接部(91)间隔相等地设置于所述靶材管(12)的外壁，阴极连接部(91)围绕于所述靶材管(12)的外壁。

6.根据权利要求5所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述刷头(93)包括刷镀头(94)、固定座(110)和阳极连接部(112)，阳极连接部(112)安装于固定座(110)的中部，刷镀头(94)安装于阳极连接部(112)。

7.根据权利要求6所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述刷镀头(94)的外侧形状与所述靶材管(12)的内侧形状相匹配，刷镀头(94)的一侧开设有镀头固定孔(95)，镀头固定孔(95)插装于所述阳极连接部(112)，

所述固定座(110)为中空，固定座(110)的侧面开设有阳极连接通孔(111)，阳极连接部(112)安装于固定座(110)的中空位置，阳极连接部(112)的侧面设置有固定孔(113)，固定孔(113)与阳极连接通孔(111)对应连接，

阳极连接部(112)的下端凸出设置有一镀头安装部(114)，镀头固定孔(95)安装于镀头安装部(114)，阳极连接部(112)的上端向内凹陷形成阳极安装部(115)，阳极安装部(115)与所述阳极连接管(92)的一端连接，

所述刷头(93)的外周包覆有镀液擦拭部(96)，刷镀头(94)被包裹于镀液擦拭部(96)内，所述电刷镀输液管(90)插入至镀液擦拭部(96)的包裹范围内。

8.根据权利要求7所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述刷镀滑轨(82)安装于所述刷头(93)的上方，所述电刷镀输液管(90)和所述阳极连接管(92)位于所述绝缘伸缩杆(84)上，所述机架(18)的一侧旋转设置有收放装置和收放驱动装置，收放驱动装置驱动收放装置旋转，收放装置的旋转速度与刷头(93)的滑动速度相适应，电刷镀输液管(90)和阳极连接管(92)分别缠绕于收放装置。

9.根据权利要求8所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述刷镀滑轨(82)包括横向滑动块(85)和横向驱动机构，横向滑动块(85)的一侧滑动安装于刷镀滑轨(82)，横向滑动块(85)的另一侧连接于所述刷头(93)，横向滑动块(85)驱动连接于横向驱动机构。

10.根据权利要求9所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述加工设备设置有控制装置，控制装置分别控制连接所述横向驱动机构、所述升降驱动机构(79)、所述收放驱动装置和所述旋转驱动装置。

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