CN210440651U - 流速调节装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种流速调节装置，用于连接一流速调节阀以调节所述流速调节阀的开度，所述流速调节装置包括一齿轮传动结构，所述齿轮传动结构包括主动齿轮以及与所述主动齿轮传动连接的从动齿轮，所述主动齿轮的角速度大于所述从动齿轮的角速度，所述从动齿轮与所述流速调节阀连接。当需要使流速调节阀的开度变化以获得预定流速变化量时，从动齿轮需要旋过的角度变化量小于主动齿轮需要旋过的角度变化量，也即，主动齿轮的调节幅度更大，由此可以降低微调难度，减少流速调节时间。

Description

流速调节装置

技术领域

本实用新型涉及流速调节领域，特别涉及一种流速调节装置。

背景技术

诸多设备需要用到气体、流体等流体进行工作，并且需要使流体的流速设定在一定范围内。并且，在许多情况下，需要人工手动调节管路上的调节阀以调节流速。

以半导体光刻制程为例，在涂胶、清洗、刻蚀等步骤中均会用到化学药液。目前对于化学药液设备端的流速调节方式采用人工手动方式调节流体管路上的调节阀，调节阀包括朝向操作人员设置的锁紧旋钮和调节旋钮，通常完成一次调节过程需要采取的操作如下：旋松锁紧旋钮；旋转调节旋钮以调节流速，直至流速达到目标值；旋紧锁紧旋钮。但是，该调节过程至少存在三个方面的问题：一个是由于流速调节阀十分灵敏，手动调节旋钮时的微小变化就容易引起流速值大的变化，导致微调的过程比较困难、耗时；另外一个是由于旋紧锁紧旋钮动作的影响，旋紧锁紧旋钮后实际流速值会与旋紧锁紧旋钮前所调节的流速目标值产生差异，在对流速精度要求高的场合，往往需要再次重复上述手动调节过程并再次验证调节流速值是否在要求范围内，验证过程甚至会重复多次，也导致流速调节的过程非常耗时；还有一个问题是现有的手动调节过程与操作人员的手感和经验严重相关，并且即使经验丰富的操作人员，对每次调节的具体数值也难以确切得到，只能通过反复的调整验证才能确定。上述问题导致现有的流速调节过程繁琐耗时，并且会降低设备效率以及浪费生产物料。

实用新型内容

本实用新型提出一种流速调节装置，目的是改进目前的流速调节结构，降低微调难度，减少调节时间。

本实用新型提出的流速调节装置，用于连接一流速调节阀以调节所述流速调节阀的开度，所述流速调节装置包括一齿轮传动结构，所述齿轮传动结构包括主动齿轮以及与所述主动齿轮传动连接的从动齿轮，所述主动齿轮的角速度大于所述从动齿轮的角速度，所述从动齿轮与所述流速调节阀连接。

可选的，所述齿轮传动结构为一级传动结构，所述主动齿轮和所述从动齿轮的轮齿啮合。

可选的，所述齿轮传动结构为二级传动结构，所述主动齿轮与所述从动齿轮之间设置有过渡齿轮，所述主动齿轮、所述过渡齿轮和所述从动齿轮的轮齿依次啮合，所述过渡齿轮的半径介于所述主动齿轮和所述从动齿轮的半径之间。

可选的，所述齿轮传动结构为二级传动结构，所述主动齿轮与所述从动齿轮之间同轴设置有第一过渡齿轮和第二过渡齿轮，所述第一过渡齿轮的半径大于所述第二过渡齿轮的半径，所述第一过渡齿轮和所述第二过渡齿轮的角速度相同，所述主动齿轮与所述第一过渡齿轮的轮齿啮合，所述第二过渡齿轮与所述从动齿轮的轮齿啮合。

可选的，所述流速调节装置还包括角度传感器，所述角度传感器的感应端设置在所述主动齿轮上。

可选的，所述流速调节装置还包括角度显示器，所述角度显示器与所述角度传感器通讯连接，所述角度传感器将所述主动齿轮的转动角度数值传输给所述角度显示器，所述角度显示器显示出所述主动齿轮的转动角度数值。

可选的，所述流速调节装置还包括与所述从动齿轮的转轴连接的连接端，所述连接端上设置有限位槽，所述连接端与所述流速调节阀通过与所述限位槽配合的限位键固定。

可选的，所述主动齿轮的转轴与一转动旋钮连接。

可选的，所述流速调节装置还包括锁紧结构。

可选的，所述锁紧结构的锁紧孔设置在所述主动齿轮的转轴外围，所述锁紧孔的最小尺寸小于或等于所述主动齿轮的转轴直径。

本实用新型提供的流速调节装置中，包括齿轮传动结构，所述齿轮传动结构包括主动齿轮以及与所述主动齿轮传动连接的从动齿轮，所述主动齿轮的角速度大于所述从动齿轮的角速度，所述从动齿轮与流速调节阀连接，以调节所述流速调节阀的开度。当需要使流速调节阀的开度变化以获得预定流速变化量时，从动齿轮需要旋过的角度变化量小于主动齿轮需要旋过的角度变化量，也即，主动齿轮的调节幅度更大，由此可以降低微调难度，减少流速调节时间。

进一步的，所述流速调节装置在所述主动齿轮上设置了角度传感器，从而可以在流速调节过程中实时地获得主动齿轮的旋转过的角度，便于操作人员及时了解到旋转角度与所引起的流速变化的关系，从而不需要反复调节验证即可精确调整主动齿轮到所需的角度，有利于减少流速调节时间，提高生产效率，避免物料浪费。

附图说明

图1是本实用新型的齿轮传动结构的原理示意图。

图2是本实用新型一实施例的流速调节装置的示意图。

图3是本实用新型一实施例的齿轮传动结构的示意图。

图4是本实用新型另一实施例的齿轮传动结构的示意图。

图5是本实用新型一实施例的流速调节装置的侧视图。

图6(a)是本实用新型一实施例的流速调节阀的示意图。

图6(b)是本实用新型一实施例的连接端的示意图。

图6(c)是本实用新型一实施例中限位连接的流速调节阀和连接端的示意图。

附图标记说明：

a-第一转动构件；b-第二转动构件；100-流速调节装置；110-主动齿轮；120-从动齿轮；130-过渡齿轮；141-第一过渡齿轮；142-第二过渡齿轮；150-角度传感器；160-角度显示器；170-壳体；111-转动旋钮；121-连接端；200-流速调节阀。

具体实施方式

在半导体工艺中需要用到多种流体，比如在涂胶工艺中将光阻传输到光阻喷嘴，还比如在显影、湿法刻蚀以及清洗工艺中将对应的化学药液或者纯水通过管路传输到流体的出口，等等。在这些工艺中，均需要对流体的流速进行控制，而许多设备对流体流速的调节需要通过手动操作，在维修时，也需要对流体流速进行调节。

提高流速调节阀的灵敏度有利于提高流速调节的精度，但是，如背景技术所述，在通过手动操作调节高灵敏度的流速调节阀时存在微调困难、验证过程长导致耗时较长的问题。

本实用新型提供一种流速调节装置，借助齿轮传动结构改善上述问题，通过齿轮传动来放大流速调节阀开度变化的分度值，使手动操作更容易对其进行微调，便于减少验证过程。以下结合附图和具体实施例对本实用新型的流速调节装置作进一步详细说明。根据下面的说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例。

图1是本实用新型的齿轮传动结构的原理示意图。本实施例的流速调节装置应用了如图1所示的齿轮传动连接的原理。参见图1，第一转动构件a和第二转动构件b均为圆柱形转轮结构，它们的轮齿通过啮合方式连接，因此，第一转动构件a和第二转动构件b的旋转线速度是一样的，传动比i是两个转动构件的角速度的比值，即满足下述关系式(1)：

i＝ω_a/ω_b (1)

其中，i为第一转动构件a和第二转动构件b组成的齿轮结构的传动比，ω_a为第一转动构件a的角速度，ω_b为第二转动构件b的角速度。

根据线速度v和角速度ω之间的关系v＝ωr，r为旋转半径，两个啮合的转动构件具有相同的线速度，所以在齿轮传动中传动比又可以是转动构件的半径比，即满足下述关系式(2)：

i＝ω_a/ω_b＝r_b/r_a (2)

其中，r_a和r_b分别是第一转动构件a和第二转动构件b的半径。

可见，通过预设的传动比和预设半径的传动构件进行组合设置齿轮组，可以调节齿轮组中各转动构件的角速度。本发明实施例利用了上述原理，通过设置齿轮传动结构，调节连接流速调节阀的齿轮的角速度，以放大流速调节阀开度变化的分度值，使手动操作更容易对其进行微调，可以降低调节难度，减少调节过程耗时。

图2是本实用新型一实施例的流速调节装置的正视图。参见图2，本实施例中，流速调节装置100用于连接一流速调节阀(图2未示出)以调节流速调节阀的开度，所述流速调节装置100包括一齿轮传动结构，所述齿轮传动结构包括主动齿轮110以及与所述主动齿轮110传动连接的从动齿轮120，所述主动齿轮110的角速度大于所述从动齿轮120的角速度，所述从动齿轮120与所述流速调节阀连接。

可见，由于主动齿轮110的角速度大于从动齿轮120的角速度，而所述从动齿轮120与流速调节阀连接，当流速调节阀转过一定开度以获得预定流速变化量时，从动齿轮120所需要旋过的角度变化量小于主动齿轮110需要旋过的角度变化量，也即，主动齿轮110的调节幅度更大，方便手动微调。若预定流速变化量很小时，通过齿轮传动的放大，对应的主动齿轮110的角度变化量仍然较从动齿轮120的角度变化量大，即使从动齿轮120所需要旋过的角度小于手动旋转调节误差，但由于主动齿轮110的角速度更大，对应于主动齿轮110所需旋过的角度仍然较大，可以设置主动齿轮110使其所需旋过的角度大于手动旋转调节误差，从而可以按照流速调节的精度要求间接微调流速调节阀的开度，降低了微调难度，也有利于减少调节过程耗时。

一个实施例中，上述主动齿轮110与从动齿轮120可以按照如图1中的第一转动构件a和第二转动构件b那样啮合传动连接，即上述齿轮传动结构为一级传动结构，主动齿轮110和从动齿轮120的线速度相同，由于主动齿轮110的角速度大于从动齿轮120的角速度，因而可知主动齿轮110的半径小于从动齿轮120的半径。

由于主动齿轮110的角速度大于从动齿轮120的角速度，在相同的时间内，主动齿轮110的角度变化量大于从动齿轮120的角度变化量，若要使从动齿轮120转过预定角度变化量，则主动齿轮110的角度变化量Δω1满足下述关系式(3)：

Δω1＝I×Δω2＝R₂×Δω2/R₁ (3)

其中，Δω2为从动齿轮120的预定角度变化量，I为主动齿轮110和从动齿轮120之间的传动比，R₁和R₂分别为主动齿轮110和从动齿轮120的半径。

可见，此时当R1<R2，则Δω1>Δω2。即，需要转动主动齿轮110较预定角度变化量更大的角度变化量，才能产生使从动齿轮120转过预定角度变化量的效果。在将从动齿轮120与流速调节阀连接时，从动齿轮120旋转过预定角度变化量所引起的流速调节阀的开度变化在通过旋转主动齿轮110来实现时，主动齿轮110旋转的角度更大，相比于仅设置连接流速调节阀的旋钮旋转预定角度变化量更方便，更易于控制，有助于降低流速调节阀的开度的最小可调精度，也即可以提高流体的流速调节精度。

本实施例中主动齿轮110和从动齿轮120可以采用通常的齿轮结构，例如均为圆柱形结构。根据具体应用场合的要求，如流速调节阀的灵敏度特点、设置调节装置的空间大小以及可选择的齿轮的半径以及啮合能力等等，可以设置上述齿轮传动装置中主动齿轮110和从动齿轮120之间为一级传动、二级传动、三级传动等等。

图3是本实用新型一实施例的齿轮传动结构的示意图。参见图3，在一种可实施方式中，包括主动齿轮110和从动齿轮120的齿轮传动结构为二级传动结构，所述主动齿轮110与所述从动齿轮120之间设置有过渡齿轮130，所述主动齿轮110、所述过渡齿轮130和所述从动齿轮120的轮齿依次啮合，所述过渡齿轮130的半径小于所述主动齿轮110的半径，且大于所述从动齿轮120的半径。

根据前述齿轮传动结构的原理，相邻两个啮合的转动构件之间满足上述关系式(1)和(2)。例如，设定主动齿轮110、过渡齿轮130和从动齿轮120的半径分别为18mm、36mm和72mm，则主动齿轮110和从动齿轮120之间的传动比等于1/4(由18/72可得)，也即，相对于从动齿轮120，主动齿轮110将其转动角度放大，如果从动齿轮120转动5°，主动齿轮110需要转动20°，可以理解，通过齿轮传动结构放大了由从动齿轮120直接实现的分度转动量，也就是说，若需要使从动齿轮120转动5°，则将主动齿轮110转动20°即可实现，而对于手动操作来说将主动齿轮110转动20°相比将从动齿轮120转动5°的操作误差更小，有利于降低调节难度。

图4是本实用新型另一实施例的齿轮传动结构的示意图。参见图4，为了进一步优化齿轮传动结构，缩小占用体积，在另一种可实施方式中，所述齿轮传动结构为二级传动结构，所述主动齿轮110与所述从动齿轮120之间同轴设置有第一过渡齿轮141(或称大齿轮)和第二过渡齿轮142(或称小齿轮)，所述第一过渡齿轮141的半径大于所述第二过渡齿轮142的半径，所述第一过渡齿轮141和所述第二过渡齿轮142的角速度相同，所述主动齿轮110与所述第一过渡齿轮141的轮齿啮合，所述第二过渡齿轮142与所述从动齿轮120的轮齿啮合。

在图4所示的二级传动结构中，主动齿轮110与第一过渡齿轮141的线速度相同，从动齿轮120与第二过渡齿轮142的线速度相同，而第一过渡齿轮141和第二过渡齿轮142的角速度相同，半径不同。根据上述情况可得到如下关系式(4)：

Δω1×R₁＝Δω21×R₂₁>Δω21×R₂₂＝R₂×Δω2 (4)

其中，Δω1和Δω2分别为主动齿轮110和从动齿轮120的角速度，R₁和R₂分别为主动齿轮110和从动齿轮120的半径，Δω21为所述第一过渡齿轮141和所述第二过渡齿轮142的角速度，R₂₁和R₂₂分别为第一过渡齿轮141和第二过渡齿轮142的半径。

根据前述介绍得知，本实用新型实施例中主动齿轮110的角速度大于从动齿轮120的角速度，即Δω1>Δω2，结合关系式(4)，可知在这种实施方式下，主动齿轮110的半径R1可以大于、等于或者小于从动齿轮120的R2，只要满足关系式即可，可以根据空间大小具体设置。

参见图4，该齿轮传动结构中，主动齿轮110与第一过渡齿轮141的轮齿啮合，构成一级传动，也即二者的线速度相同，设定齿轮的外周上设置的轮齿密度一定，则前述的关系式(2)所示的两个转动构件的传动比也等于二者的轮齿数之比，因而，这里主动齿轮110和第一过渡齿轮141的轮齿数之比等于二者的传动比。作为示例，设定主动齿轮110的轮齿数为24，第一过渡齿轮141的轮齿数为72，则主动齿轮110和第一过渡齿轮141的传动比为24/72，即1/3。第一过渡齿轮141和第二过渡齿轮142的角速度相等，也即主动齿轮110通过一级传动也将第二过渡齿轮142传动。第二过渡齿轮142与从动齿轮120的轮齿啮合，构成二级传动，也即二者的线速度相同，第二过渡齿轮142和从动齿轮120的轮齿数之比等于二者的传动比。设定第二过渡齿轮142的轮齿数为24，从动齿轮120的轮齿数为72，则第二过渡齿轮142与从动齿轮120之间的传动比为1/3。主动齿轮110与从动齿轮120之间的传动比为上述一级传动和二级传动的传动比乘积，在该示例中为1/9。

通过二级传动，从动齿轮120相对于主动齿轮110转动角度缩小，示例的，根据上述传动比可知，当从动齿轮120需要旋转过5°时，主动齿轮110对应的旋转过45°，从而，可以根据从动齿轮120连接的流速调节阀所需的调节量从主动齿轮110一端更方便进行调节。因而流速调节阀的开度变化能力被放大，即流速的变化分度被放大，调节精度提高，例如上述示例中，若从动齿轮旋转过5°引起的流速变化为9L/min，则主动齿轮旋转过1°所能引起的流速变化仅1L/min。

为了在利用上述流速调节装置调节流速的过程中，实时监控调节量，降低调节误差，使操作人员可以及时了解到旋转角度与所引起的流速变化的关系，一实施例中，上述流速调节装置还包括角度传感器，所述角度传感器的感应端设置在所述主动齿轮上。

具体的，参见图2或图4，角度传感器150的感应端可以设置在主动齿轮110的轮缘上，只要能够监测到主动齿轮110的旋转角度即可。角度传感器150可以将感应到的角度变化传输到一控制端(例如一计算机)或者一显示终端，只要能够为操作人员获知即可。如图2所示，一实施例中，所述流速调节装置还包括角度显示器160，所述角度显示器160与所述角度传感器150通讯连接，所述角度传感器150将量测到的主动齿轮110的转动角度数值传输给角度显示器160，所述角度显示器160显示出所述主动齿轮110的转动角度数值。所述角度显示器160可包括LCD、LED或OLED显示屏，用于可以根据需要显示0°～360°的值，但不限于此，在一些实施例中，所述角度显示器160可以显示所述主动齿轮110旋转不止一圈的转动角度数值，即显示的角度可以大于等于360°。所述角度传感器150的测量精度例如为±1度。

角度传感器150、角度显示器160和前述的齿轮传动结构可以均设置在同一壳体170上，作为一个整体安装在流速调节阀的操作侧。所述主动齿轮110的转轴可以套接一转动旋钮111，方便操作人员进行旋转调节。操作人员在通过调节主动齿轮110的角度调节流速时，同时可以观察角度显示器160上显示的数值，如此可以及时调节到要获得的转动角度。即使是缺乏经验和手感的操作人员，也可以参照角度显示器160的数值，快速的调节主动齿轮110到所需角度。

本实施例的流速调节装置在进行流速调节时，从动齿轮120与流速调节阀连接，通过从动齿轮120的转动直接改变流速调节阀的开度。图5是本实用新型一实施例的流速调节装置的侧视图。参见图5，一实施例中，所述流速调节装置还包括与所述从动齿轮120的转轴连接的连接端121，从动齿轮120通过连接端121与流速调节阀200连接。当从动齿轮120转动时，连接端121带动流速调节阀200的阀片转动，从而使流速调节阀200的开度发生变化。

图6(a)是本实用新型一实施例的流速调节阀的示意图。图6(b)是本实用新型一实施例的连接端的示意图。图6(c)是本实用新型一实施例中限位连接的流速调节阀和连接端的示意图。参见图6(a)至图6(c)，一实施例中，所述连接端121上设置有限位槽，所述连接端121与流速调节阀200可以通过与所述限位槽配合的限位键固定。利用连接端121和限位键连接流速调节阀200和流速调节装置100，键槽结合具有精度高、公差小的特点，拆卸容易，操作简单。连接端优选是可拆卸更换的。对于不同的流体及对应的流速调节阀，可以根据需要采用不同类型的连接端。

上述流速调节装置100设置在流体管路上配合流速调节阀使用时，通常仅在需要调节流速时进行操作，在非操作时间，流速调节装置100保持非调节状态，其中齿轮传动结构的齿轮位置固定。为了避免外界的干扰，上述流速调节装置100还可以包括设置在所述主动齿轮110的转轴外围的锁紧结构(未示出)，所述锁紧结构的锁紧孔设置在所述主动齿轮的转轴外围，所述锁紧孔的最小尺寸小于或等于所述主动齿轮110的转轴直径。在每次调节之前，可以先旋松锁紧结构，使主动齿轮110处于可调状态，然后通过调节主动齿轮110的角度使从动齿轮120的角度改变，进而改变流速调节阀的开度，使流过流速调节阀的流体速率发生变化，直到达到目标流速，此时可以旋紧锁紧结构，使主动齿轮110的转轴为不可旋转状态(或不可操作状态)，即通过固定主动齿轮110的转轴实现锁紧作用。在另一实施例中，锁紧结构不是通过固定主动齿轮的转轴进行锁紧，而是通过锁紧结构包括的锁紧块，在需要锁紧时，使所述锁紧块伸出，阻挡在主动齿轮110的轮齿之间，从而使主动齿轮为不可旋转状态。锁紧结构可以与设置所述流速调节阀的管道固定。

考虑到实际应用中，由于锁紧结构在锁紧时与主动齿轮接触、使主动齿轮为不可操作状态时，可能会引起主动齿轮的转动角度的变化，因此，实际操作中在锁紧后还需要验证流速是否为目标值，如果流速不是目标值，可以再将锁紧结构旋松，然后对主动齿轮进行调节，接着再将锁紧结构旋紧，查看此时流速值。由于主动齿轮对流速分量具有放大作用，即相对于现有技术，本方案的主动齿轮旋转较大角度才会引起流速调节阀开度的较小变化，方便微调，并且可以提高调节精度，因此有助于减少验证时间，另外在设置上述角度传感器和角度显示器的情况下，每次调节的角度更加精确，且便于操作人员可以及时获知角度变化量与流速变化的关系，因此流速调节时间可以大大缩短。

一实施例中，用于半导体工艺的光阻材料通过管路传输，在管路上设置了流速调节阀以及上述流速调节装置。作为示例，在一次调节任务中，需要将流速从100L/min调整到95L/min，每次调节旋钮并获得调节后的流速所花费的时间设定约1min。利用现有方法进行调节时，根据现有试验结果平均每个流速调节阀需要验证十次左右，耗时约10min。而如果采用上述流速调节装置，示例的，包括如下过程：第一步，旋松锁紧结构，在角度显示器160的帮助下第一次调节主动齿轮110，从初始位置转动10°，旋紧锁紧结构，然后进行流速验证，设定此时流速为90L/min，可得转动角度和流速变化的对应关系为1°对应1L/min；第二步，旋松锁紧结构，在角度显示器160的帮助下第二次调节主动齿轮110，从初始位置转动5°，旋紧锁紧结构，然后进行流速验证，设定此时由于锁紧结构及其它干扰因素的影响，此时流速为94L/min，说明转动角度需要减少；第三步，旋松锁紧结构，在角度显示器160的帮助下第三次调节主动齿轮110，从初始位置转动6°，旋紧锁紧结构，然后进行流速验证，由于根据第一步得到了转动角度和流速变化的对应关系，又根据第二步得到了流速值与理论计算值的偏离量，因而通过第三步的调整，基本就可以获得预定的流速95L/min，从而完成调节过程。可见，通过三次调整和验证过程即可获得目标流速，耗时约3min，相对于现有方法大大缩短了流速调节时间。

本实用新型实施例的流速调节装置，可以用于对半导体设备中用到的各种化学药液(如光阻、显影液)、水等流体在相应管路上的流速进行调节，在某些实施例中，也可以用于对某些气体(如干燥空气、氮气、惰性气体)的流速进行调节。

根据上述说明可知，利用本实用新型实施例的流速调节装置，微调方便，有助于提高调节精度，减少因调整流速而消耗的时间以及浪费的物料，有利于提高生产效率。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型权利范围的任何限定，任何本领域技术人员在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (10)

1.一种流速调节装置，其特征在于，用于连接一流速调节阀以调节所述流速调节阀的开度，所述流速调节装置包括一齿轮传动结构，所述齿轮传动结构包括主动齿轮以及与所述主动齿轮传动连接的从动齿轮，所述主动齿轮的角速度大于所述从动齿轮的角速度，所述从动齿轮与所述流速调节阀连接。

2.如权利要求1所述的流速调节装置，其特征在于，所述齿轮传动结构为一级传动结构，所述主动齿轮和所述从动齿轮的轮齿啮合。

3.如权利要求1所述的流速调节装置，其特征在于，所述齿轮传动结构为二级传动结构，所述主动齿轮与所述从动齿轮之间设置有过渡齿轮，所述主动齿轮、所述过渡齿轮和所述从动齿轮的轮齿依次啮合，所述过渡齿轮的半径介于所述主动齿轮和所述从动齿轮的半径之间。

4.如权利要求1所述的流速调节装置，其特征在于，所述齿轮传动结构为二级传动结构，所述主动齿轮与所述从动齿轮之间同轴设置有第一过渡齿轮和第二过渡齿轮，所述第一过渡齿轮的半径大于所述第二过渡齿轮的半径，所述第一过渡齿轮和所述第二过渡齿轮的角速度相同，所述主动齿轮与所述第一过渡齿轮的轮齿啮合，所述第二过渡齿轮与所述从动齿轮的轮齿啮合。

5.如权利要求1至4任一项所述的流速调节装置，其特征在于，还包括角度传感器，所述角度传感器的感应端设置在所述主动齿轮上。

6.如权利要求5所述的流速调节装置，其特征在于，还包括角度显示器，所述角度显示器与所述角度传感器通讯连接，所述角度传感器将所述主动齿轮的转动角度数值传输给所述角度显示器，所述角度显示器显示所述主动齿轮的转动角度数值。

7.如权利要求1至4任一项所述的流速调节装置，其特征在于，还包括与所述从动齿轮的转轴连接的连接端，所述连接端上设置有限位槽，所述连接端与所述流速调节阀通过与所述限位槽配合的限位键固定。

8.如权利要求1至4任一项所述的流速调节装置，其特征在于，所述主动齿轮的转轴与一转动旋钮连接。

9.如权利要求1至4任一项所述的流速调节装置，其特征在于，还包括锁紧结构。

10.如权利要求9所述的流速调节装置，其特征在于，所述锁紧结构的锁紧孔设置在所述主动齿轮的转轴外围，所述锁紧孔的最小尺寸小于或等于所述主动齿轮的转轴直径。

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