JPH11166699A - シリンダキャビネットにおける排気ダクトの流量調節装置 - Google Patents
シリンダキャビネットにおける排気ダクトの流量調節装置Info
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- JPH11166699A JPH11166699A JP33222097A JP33222097A JPH11166699A JP H11166699 A JPH11166699 A JP H11166699A JP 33222097 A JP33222097 A JP 33222097A JP 33222097 A JP33222097 A JP 33222097A JP H11166699 A JPH11166699 A JP H11166699A
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
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- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
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- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 短い排気ダクトであっても、当該排気ダクト
内を流れる空気の流速を正確に測定し、高精度に流量調
節を行うことができる流量調節装置を提供すること。 【解決手段】 本発明による流量調節装置１０は、排気
ダクト１４内の流路３６の断面積を調節する手段２０，
２２であって、当該流路３６が排気ダクト１４の中央に
形成され且つその流路３６が排気ダクト１４の中心軸線
ＡＸを基準として常に対称的な形状となるようにする手
段を備えることを特徴とする。このように、流路断面積
調節手段２０，２２により排気ダクト１４に形成される
流路３６が、対称的な形状となることで、排気ダクト１
４の中心軸線ＡＸ上を流れる空気流には乱れが生ずるこ
とはなく、中心で流速を計測することで、その流速を正
確に求めることができる。
内を流れる空気の流速を正確に測定し、高精度に流量調
節を行うことができる流量調節装置を提供すること。 【解決手段】 本発明による流量調節装置１０は、排気
ダクト１４内の流路３６の断面積を調節する手段２０，
２２であって、当該流路３６が排気ダクト１４の中央に
形成され且つその流路３６が排気ダクト１４の中心軸線
ＡＸを基準として常に対称的な形状となるようにする手
段を備えることを特徴とする。このように、流路断面積
調節手段２０，２２により排気ダクト１４に形成される
流路３６が、対称的な形状となることで、排気ダクト１
４の中心軸線ＡＸ上を流れる空気流には乱れが生ずるこ
とはなく、中心で流速を計測することで、その流速を正
確に求めることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス容器が収容さ
れる筐体、いわゆるシリンダキャビネットに関し、特
に、シリンダキャビネットの排気ダクト内を流通する空
気流の流量を調節する装置に関するものである。
れる筐体、いわゆるシリンダキャビネットに関し、特
に、シリンダキャビネットの排気ダクト内を流通する空
気流の流量を調節する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造等に用いられる特殊材料ガス
は、通常、ガスボンベないしはガスシリンダと称される
可搬型のガス容器に貯蔵された状態で使用される。かか
る半導体製造用の特殊材料ガスには、可燃性（爆発
性）、毒性、腐食性、支燃性等の危険性を有するものが
多く、その使用に際しては十分な安全上の配慮がなされ
なければならない。このため、従来、危険性のある特殊
材料ガスが封入されたガス容器は、シリンダキャビネッ
トと呼ばれる筐体内に収容することとし、万が一のガス
漏れに備えている。
は、通常、ガスボンベないしはガスシリンダと称される
可搬型のガス容器に貯蔵された状態で使用される。かか
る半導体製造用の特殊材料ガスには、可燃性（爆発
性）、毒性、腐食性、支燃性等の危険性を有するものが
多く、その使用に際しては十分な安全上の配慮がなされ
なければならない。このため、従来、危険性のある特殊
材料ガスが封入されたガス容器は、シリンダキャビネッ
トと呼ばれる筐体内に収容することとし、万が一のガス
漏れに備えている。
【０００３】シリンダキャビネットは、それ自体がガス
の外部への拡散を防止すると共に、漏洩ガスを希釈排気
することができるように、その内部が常時換気されてい
る。このため、シリンダキャビネットの下部には空気取
入口が形成され、上部には排気ダクトが設けられてい
る。更に、この排気ダクトは、建屋に配された主排気ダ
クトに接続されている。主排気ダクトの出口端部には排
気ファンが取り付けられており、この排気ファンを駆動
すると、主排気ダクト内が負圧となって空気が空気取入
口からシリンダキャビネット内に取り入れられ、排気ダ
クトを経て主排気ダクトに流れるようになっている。
の外部への拡散を防止すると共に、漏洩ガスを希釈排気
することができるように、その内部が常時換気されてい
る。このため、シリンダキャビネットの下部には空気取
入口が形成され、上部には排気ダクトが設けられてい
る。更に、この排気ダクトは、建屋に配された主排気ダ
クトに接続されている。主排気ダクトの出口端部には排
気ファンが取り付けられており、この排気ファンを駆動
すると、主排気ダクト内が負圧となって空気が空気取入
口からシリンダキャビネット内に取り入れられ、排気ダ
クトを経て主排気ダクトに流れるようになっている。
【０００４】シリンダキャビネット内の常時排気は関連
法規により義務付けられているが、その排気量は、ガス
種に応じた適切な換気率ないしは換気量で行うことが安
全上非常に重要である。例えばモノシランのような可燃
性ガスの場合、１分間にシリンダキャビネットの容積の
１０倍以上の空気を導入することにより換気を行う必要
がある。また、毒性のガスの場合は、シリンダキャビネ
ットの隙間からガスが外部に漏出しないようにすること
を目的として、空気取入口における空気流の流速が０．
５〜１ｍ／ｓｅｃとなるよう換気が行われる。
法規により義務付けられているが、その排気量は、ガス
種に応じた適切な換気率ないしは換気量で行うことが安
全上非常に重要である。例えばモノシランのような可燃
性ガスの場合、１分間にシリンダキャビネットの容積の
１０倍以上の空気を導入することにより換気を行う必要
がある。また、毒性のガスの場合は、シリンダキャビネ
ットの隙間からガスが外部に漏出しないようにすること
を目的として、空気取入口における空気流の流速が０．
５〜１ｍ／ｓｅｃとなるよう換気が行われる。
【０００５】このように取り扱うガス種により換気量を
変えなければならないため、従来、シリンダキャビネッ
トの排気ダクトには流量調節用のダンパが設けられてい
るのが一般的である。
変えなければならないため、従来、シリンダキャビネッ
トの排気ダクトには流量調節用のダンパが設けられてい
るのが一般的である。
【０００６】また、主排気ダクトには、通常、複数のシ
リンダキャビネットの排気ダクトが接続されているた
め、例えば一つのシリンダキャビネットの排気風量を変
化させたとき等には、主排気ダクト内の圧力が変動し、
他のシリンダキャビネットについての排気風量も変化し
てしまうことがある。このため、シリンダキャビネット
には排気風量が管理値からズレた場合にそのことを検知
するためのなんらかの排気異常センサを設けることにな
っている。この排気異常を検知するためにはダクト内の
風速を測定し、それと収容ガス種毎に各々のシリンダキ
ャビネットで決められた管理値とのズレを検知できるこ
とが望ましいが、従来は次項で述べる技術上の要因及び
コスト上の理由から風速センサではなくダクトの内外圧
力差を微差圧センサで検知することにより間接的に排気
異常を推し量る方法を採っていた。このため、従来にお
いては所望の排気量が常に維持できるよう差圧異常が生
じた段階でその都度別途に可搬式風速センサを持ち込
み、ダクト内の風速を測定してから、その風速データに
基づいてダンパの開度調整を行っていた。
リンダキャビネットの排気ダクトが接続されているた
め、例えば一つのシリンダキャビネットの排気風量を変
化させたとき等には、主排気ダクト内の圧力が変動し、
他のシリンダキャビネットについての排気風量も変化し
てしまうことがある。このため、シリンダキャビネット
には排気風量が管理値からズレた場合にそのことを検知
するためのなんらかの排気異常センサを設けることにな
っている。この排気異常を検知するためにはダクト内の
風速を測定し、それと収容ガス種毎に各々のシリンダキ
ャビネットで決められた管理値とのズレを検知できるこ
とが望ましいが、従来は次項で述べる技術上の要因及び
コスト上の理由から風速センサではなくダクトの内外圧
力差を微差圧センサで検知することにより間接的に排気
異常を推し量る方法を採っていた。このため、従来にお
いては所望の排気量が常に維持できるよう差圧異常が生
じた段階でその都度別途に可搬式風速センサを持ち込
み、ダクト内の風速を測定してから、その風速データに
基づいてダンパの開度調整を行っていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来一般に、排気ダク
ト内に設けられているダンパは蝶形（円板を回転させ流
路を開閉する型式）である。この蝶形ダンパの場合、ダ
ンパの近傍では空気流は乱流となりやすく、正確に流速
を計測するには、排気ダクトの内径の１０倍以上の距
離、ダンパから離れた位置に流速計を配置する必要があ
る。
ト内に設けられているダンパは蝶形（円板を回転させ流
路を開閉する型式）である。この蝶形ダンパの場合、ダ
ンパの近傍では空気流は乱流となりやすく、正確に流速
を計測するには、排気ダクトの内径の１０倍以上の距
離、ダンパから離れた位置に流速計を配置する必要があ
る。
【０００８】しかしながら、排気ダクト自体の全長は一
般に短く、その内径の１０倍未満である。従って、ダン
パから十分に離した位置に流速計を配置することはでき
ず、その結果として、計測値の精度が低く、排気風量も
不安定となる傾向があった。
般に短く、その内径の１０倍未満である。従って、ダン
パから十分に離した位置に流速計を配置することはでき
ず、その結果として、計測値の精度が低く、排気風量も
不安定となる傾向があった。
【０００９】本発明の目的は、上記問題点を解決するこ
とのできる排気ダクトの流量調節装置を提供することに
ある。
とのできる排気ダクトの流量調節装置を提供することに
ある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による流量調節装置は、排気ダクト内の流路
の断面積を調節する手段であって、当該流路が排気ダク
トの中央に形成され且つその流路が排気ダクトの中心軸
線を基準として常に対称的な形状となるようにする流路
断面積調節手段を備えることを特徴としている。この流
路断面積調節手段は、排気ダクト内に枢動可能に取り付
けられた１対の四分球形状のダンパ部材と、これらのダ
ンパ部材を枢動させる駆動源とから成るものが好適であ
る。
に、本発明による流量調節装置は、排気ダクト内の流路
の断面積を調節する手段であって、当該流路が排気ダク
トの中央に形成され且つその流路が排気ダクトの中心軸
線を基準として常に対称的な形状となるようにする流路
断面積調節手段を備えることを特徴としている。この流
路断面積調節手段は、排気ダクト内に枢動可能に取り付
けられた１対の四分球形状のダンパ部材と、これらのダ
ンパ部材を枢動させる駆動源とから成るものが好適であ
る。
【００１１】このように、流路断面積調節手段により排
気ダクトに形成される流路が、対称的な形状となること
で、排気ダクトの中心軸線上を流れる空気流には乱れが
生ずることはなく、中心軸線上で流速を計測すること
で、その流速計測値と流路の断面積とから、空気流の流
量ないしは排気風量を正確に求めることができる。
気ダクトに形成される流路が、対称的な形状となること
で、排気ダクトの中心軸線上を流れる空気流には乱れが
生ずることはなく、中心軸線上で流速を計測すること
で、その流速計測値と流路の断面積とから、空気流の流
量ないしは排気風量を正確に求めることができる。
【００１２】また、空気流量を一定に維持すべく、フィ
ードバック制御が可能なように、本発明による流量調節
装置は、流路断面積調節手段よりも下流側の排気ダクト
内であって、排気ダクトの中心軸線上に、流速計測部が
位置するよう配置された流速計と、この流速計の計測結
果に基づき流路断面積調節手段を制御する制御手段とを
更に備えることが好適である。
ードバック制御が可能なように、本発明による流量調節
装置は、流路断面積調節手段よりも下流側の排気ダクト
内であって、排気ダクトの中心軸線上に、流速計測部が
位置するよう配置された流速計と、この流速計の計測結
果に基づき流路断面積調節手段を制御する制御手段とを
更に備えることが好適である。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の好適な
実施形態について詳細に説明するが、図中、同一又は相
当部分には同一符号を付すこととする。
実施形態について詳細に説明するが、図中、同一又は相
当部分には同一符号を付すこととする。
【００１４】図１〜図３は、本発明による流量調節装置
１０の一実施形態を示している。図１に示すように、こ
の流量調節装置１０は、シリンダキャビネット１２の上
板に取り付けられた略円筒形の排気ダクト１４に設けら
れている。シリンダキャビネット１２は、シラン系ガス
等の特殊ガスが貯蔵されたガス容器（図示せず）を収容
する筐体であり、ステンレス鋼板等から組み立てられて
いる。このシリンダキャビネット１２の下部には空気取
入口（図示せず）が形成されており、ここから取り入れ
られた空気は、シリンダキャビネット１２内を流れ、排
気ダクト１４を通って排出される。排気ダクト１４は、
図示しないが、建屋に配された主排気ダクトに接続され
ており、その出口端部は、除害装置であるスクラバー及
び排気ファンを介して、大気に開放されている。換気用
空気の吸引は、この排気ファンの駆動によるものであ
る。
１０の一実施形態を示している。図１に示すように、こ
の流量調節装置１０は、シリンダキャビネット１２の上
板に取り付けられた略円筒形の排気ダクト１４に設けら
れている。シリンダキャビネット１２は、シラン系ガス
等の特殊ガスが貯蔵されたガス容器（図示せず）を収容
する筐体であり、ステンレス鋼板等から組み立てられて
いる。このシリンダキャビネット１２の下部には空気取
入口（図示せず）が形成されており、ここから取り入れ
られた空気は、シリンダキャビネット１２内を流れ、排
気ダクト１４を通って排出される。排気ダクト１４は、
図示しないが、建屋に配された主排気ダクトに接続され
ており、その出口端部は、除害装置であるスクラバー及
び排気ファンを介して、大気に開放されている。換気用
空気の吸引は、この排気ファンの駆動によるものであ
る。
【００１５】流量調節装置１０は、１対の四分球形状
（球体を四分の一に等分した形状）のダンパ部材２０，
２２を備えている。このダンパ部材２０，２２は、金属
薄板からプレス加工等によって形成されたものであり、
その外面の半径は排気ダクト１４の内面の半径と実質的
に等しくされている。各ダンパ部材２０，２２の縁部２
０ａ，２２ａと縁部２０ｂ，２２ｂとが交わる交差部分
には、それぞれ、外方に突出する軸２４，２６が設けら
れている。この軸２４，２６は、排気ダクト１４の壁面
に形成された貫通孔に通されており、ダンパ部材２０，
２２を枢動可能に支持している。また、ダンパ部材２
０，２２は、それぞれの縁部２０ａ，２２ａが当接し得
るように並べた状態で、排気ダクト１４内に収容されて
いる。各ダンパ部材２０，２２の少なくとも一方の軸２
４，２６には歯車２８，３０が取り付けられており、隣
合う歯車２８，３０同士が噛み合わされている。一方の
歯車３０にはモータ等の駆動源３２の歯車３４が噛み合
わされている。従って、この駆動源３２を動作させて一
方の歯車３０を回転させると、ダンパ部材２０，２２は
互いに相反する方向に枢動する。図２の（ａ）〜（ｃ）
及び図３の（ａ）〜（ｃ）はそれぞれダンパ部材２０，
２２を枢動させた状態を示している。これらの図からも
明らかな通り、ダンパ部材２０，２２間には流路３６が
形成され、その断面積はダンパ部材２０，２２の枢動位
置に対応して変化される。なお、駆動源３２の駆動軸に
は、その回転角度を計測するためのエンコーダ３３が取
り付けられていて、その信号はマイクロコンピュータ等
の制御装置５０の入力部に入力される。このエンコーダ
３３の信号は駆動軸の回転角度に対応しており、この回
転軸の回転角度はまたダンパ部材２０，２２の枢動位置
に対応している。従って、制御装置５０でエンコーダ３
３から出力されるダンパ部材の枢動位置に対応する信号
に基づき、ダンパ部材２０，２２の間に形成される流路
３６の断面積を演算できるようになっている。
（球体を四分の一に等分した形状）のダンパ部材２０，
２２を備えている。このダンパ部材２０，２２は、金属
薄板からプレス加工等によって形成されたものであり、
その外面の半径は排気ダクト１４の内面の半径と実質的
に等しくされている。各ダンパ部材２０，２２の縁部２
０ａ，２２ａと縁部２０ｂ，２２ｂとが交わる交差部分
には、それぞれ、外方に突出する軸２４，２６が設けら
れている。この軸２４，２６は、排気ダクト１４の壁面
に形成された貫通孔に通されており、ダンパ部材２０，
２２を枢動可能に支持している。また、ダンパ部材２
０，２２は、それぞれの縁部２０ａ，２２ａが当接し得
るように並べた状態で、排気ダクト１４内に収容されて
いる。各ダンパ部材２０，２２の少なくとも一方の軸２
４，２６には歯車２８，３０が取り付けられており、隣
合う歯車２８，３０同士が噛み合わされている。一方の
歯車３０にはモータ等の駆動源３２の歯車３４が噛み合
わされている。従って、この駆動源３２を動作させて一
方の歯車３０を回転させると、ダンパ部材２０，２２は
互いに相反する方向に枢動する。図２の（ａ）〜（ｃ）
及び図３の（ａ）〜（ｃ）はそれぞれダンパ部材２０，
２２を枢動させた状態を示している。これらの図からも
明らかな通り、ダンパ部材２０，２２間には流路３６が
形成され、その断面積はダンパ部材２０，２２の枢動位
置に対応して変化される。なお、駆動源３２の駆動軸に
は、その回転角度を計測するためのエンコーダ３３が取
り付けられていて、その信号はマイクロコンピュータ等
の制御装置５０の入力部に入力される。このエンコーダ
３３の信号は駆動軸の回転角度に対応しており、この回
転軸の回転角度はまたダンパ部材２０，２２の枢動位置
に対応している。従って、制御装置５０でエンコーダ３
３から出力されるダンパ部材の枢動位置に対応する信号
に基づき、ダンパ部材２０，２２の間に形成される流路
３６の断面積を演算できるようになっている。
【００１６】ダンパ部材２０，２２よりも下流側の排気
ダクト１４には流速計３８が配置されている。流速計３
８としては種々の型式のものを適用することができる
が、図示の流速計３８はピトー静圧管である。ピトー静
圧管３８は、先端に空気の導入口４０が形成された内管
４２と、内管４２を囲み側面に静圧孔４４が形成された
外管４６とから成り、先端の空気導入口４０に向けて空
気を流した場合に生ずる両管４２，４６内の圧力の差か
ら流速を測定するものである。このピトー静圧管３８の
流速計測部となる先端部分は、その中心軸線が排気ダク
ト１４の中心軸線ＡＸと一致するように配置されてい
る。
ダクト１４には流速計３８が配置されている。流速計３
８としては種々の型式のものを適用することができる
が、図示の流速計３８はピトー静圧管である。ピトー静
圧管３８は、先端に空気の導入口４０が形成された内管
４２と、内管４２を囲み側面に静圧孔４４が形成された
外管４６とから成り、先端の空気導入口４０に向けて空
気を流した場合に生ずる両管４２，４６内の圧力の差か
ら流速を測定するものである。このピトー静圧管３８の
流速計測部となる先端部分は、その中心軸線が排気ダク
ト１４の中心軸線ＡＸと一致するように配置されてい
る。
【００１７】ここで、図２及び図３を参照すると、これ
らの図から、ダンパ部材２０，２２間に形成される流路
３６は、排気ダクト１４の中央に形成され、且つ、中心
軸線ＡＸを基準にして対称的な形状となっていることが
分かる。この結果、ダンパ部材２０，２２の縁部２０
ａ，２２ｂに沿う空気流には若干の乱れが生ずるもの
の、中心軸線ＡＸ上に沿って流れる空気流は理想流に近
いものとなる。従って、流速計測部を中心軸線ＡＸ上に
配置している限り、その位置がダンパ部材２０，２２の
近傍であったとしても高精度で流速を測定することが可
能となる。
らの図から、ダンパ部材２０，２２間に形成される流路
３６は、排気ダクト１４の中央に形成され、且つ、中心
軸線ＡＸを基準にして対称的な形状となっていることが
分かる。この結果、ダンパ部材２０，２２の縁部２０
ａ，２２ｂに沿う空気流には若干の乱れが生ずるもの
の、中心軸線ＡＸ上に沿って流れる空気流は理想流に近
いものとなる。従って、流速計測部を中心軸線ＡＸ上に
配置している限り、その位置がダンパ部材２０，２２の
近傍であったとしても高精度で流速を測定することが可
能となる。
【００１８】ピトー静圧管３８の内管４２と外管４６と
は差圧計４８に接続されており、この差圧計４８は制御
装置５０の入力部に接続されている。制御装置５０で
は、差圧計４８から出力される差圧の測定値に基づき、
排気ダクト１４の中心軸線ＡＸ上を流れる空気流の流速
を求める。そして求められた流速Ｖ［ｍ／ｓｅｃ］と、
エンコーダ３３からの信号に基づいて求められたダンパ
部材２０，２２間の流路３６の断面積Ｆ［ｍ2］を基に
制御装置５０内のマイクロコンピュータが次式で演算す
ることにより、排気風量Ｑ［ｍ3／ｍｉｎ］を求めるこ
とができるよう構成されている。
は差圧計４８に接続されており、この差圧計４８は制御
装置５０の入力部に接続されている。制御装置５０で
は、差圧計４８から出力される差圧の測定値に基づき、
排気ダクト１４の中心軸線ＡＸ上を流れる空気流の流速
を求める。そして求められた流速Ｖ［ｍ／ｓｅｃ］と、
エンコーダ３３からの信号に基づいて求められたダンパ
部材２０，２２間の流路３６の断面積Ｆ［ｍ2］を基に
制御装置５０内のマイクロコンピュータが次式で演算す
ることにより、排気風量Ｑ［ｍ3／ｍｉｎ］を求めるこ
とができるよう構成されている。
【００１９】Ｑ＝６０Ｖ・Ｆ これにより求められた排気風量Ｑは風量表示器５１にて
表示させることもできる。
表示させることもできる。
【００２０】また、制御装置５０の出力部は前記の駆動
源３２に接続されており、この駆動源３２の動作を制御
することができるようになっている。ダンパ部材２０，
２２の位置は駆動源３２の動作状態により一義的に定ま
るため、制御装置５０はダンパ部材２０，２２間に形成
される流路３６の断面積を常に把握していることとな
る。前述したように、本発明の構成においては、排気ダ
クト１４の中心を流れる空気流の流速を正確に計測する
ことができるので、制御装置５０は、流速計測値と、そ
の計測時のダンパ部材２０，２２間の流路断面積とか
ら、空気流の流量、或はシリンダキャビネット１２に対
する排気風量を高精度に求めることができる。従って、
何らかの理由により排気ダクト１４を流通する空気流の
流量が変動した場合には、制御装置５０はその変動を流
速の計測値の変化から認識し、駆動源３２をフィードバ
ック制御して、ダンパ部材２０，２２の位置を変え、空
気流の流量ないしは排気風量を一定に維持することが可
能となる。
源３２に接続されており、この駆動源３２の動作を制御
することができるようになっている。ダンパ部材２０，
２２の位置は駆動源３２の動作状態により一義的に定ま
るため、制御装置５０はダンパ部材２０，２２間に形成
される流路３６の断面積を常に把握していることとな
る。前述したように、本発明の構成においては、排気ダ
クト１４の中心を流れる空気流の流速を正確に計測する
ことができるので、制御装置５０は、流速計測値と、そ
の計測時のダンパ部材２０，２２間の流路断面積とか
ら、空気流の流量、或はシリンダキャビネット１２に対
する排気風量を高精度に求めることができる。従って、
何らかの理由により排気ダクト１４を流通する空気流の
流量が変動した場合には、制御装置５０はその変動を流
速の計測値の変化から認識し、駆動源３２をフィードバ
ック制御して、ダンパ部材２０，２２の位置を変え、空
気流の流量ないしは排気風量を一定に維持することが可
能となる。
【００２１】以上、本発明の好適な実施形態について詳
細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない
ことはいうまでもない。例えば、上記実施形態における
流速計３８はピトー静圧管であるが、熱線流速計や電磁
流速計等を用いてもよい。勿論、このような他の流速計
を用いる場合、その流速計測部（例えば熱線流速計にあ
っては熱線）は排気ダクト１４の中心軸線ＡＸ上に配置
する必要がある。
細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない
ことはいうまでもない。例えば、上記実施形態における
流速計３８はピトー静圧管であるが、熱線流速計や電磁
流速計等を用いてもよい。勿論、このような他の流速計
を用いる場合、その流速計測部（例えば熱線流速計にあ
っては熱線）は排気ダクト１４の中心軸線ＡＸ上に配置
する必要がある。
【００２２】また、流路断面積を調節する手段も、流路
３６が排気ダクト１４の中央に形成され且つ中心軸線Ａ
Ｘを基準として対称となるような手段であれば、上記の
四分球形状のダンパ部材２０，２２を用いる必要もな
い。例えば、カメラの絞り機構のような構成等を使用す
ることが可能である。また必ずしも排気風量データにて
駆動源３２ヲフィードバック制御する必要はなく、風量
表示器５１に表示された排気風量を人が目視確認しなが
ら図示しない手動押しボタン操作により駆動源３２をイ
ンチング操作し、シリンダキャビネット１２の排気風量
とその管理値とのズレを手動調整するだけでも、従来の
排気風量が把握できない状態のままで闇雲に行うダンパ
調整に比べれば、格段に正確なダンパ調整が可能であ
る。
３６が排気ダクト１４の中央に形成され且つ中心軸線Ａ
Ｘを基準として対称となるような手段であれば、上記の
四分球形状のダンパ部材２０，２２を用いる必要もな
い。例えば、カメラの絞り機構のような構成等を使用す
ることが可能である。また必ずしも排気風量データにて
駆動源３２ヲフィードバック制御する必要はなく、風量
表示器５１に表示された排気風量を人が目視確認しなが
ら図示しない手動押しボタン操作により駆動源３２をイ
ンチング操作し、シリンダキャビネット１２の排気風量
とその管理値とのズレを手動調整するだけでも、従来の
排気風量が把握できない状態のままで闇雲に行うダンパ
調整に比べれば、格段に正確なダンパ調整が可能であ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、流
路断面積調節手段により排気ダクトに形成される可変の
流路は、排気ダクトの中心軸線に関して対称的なものと
なっているので、当該中心軸線上に沿って流れる空気流
は安定したものとなる。従って、流速計の計測部が中心
軸線上に位置している限り、その位置が流路断面積調節
手段の近傍であって、空気流の流速を正確に計測するこ
とが可能となる。
路断面積調節手段により排気ダクトに形成される可変の
流路は、排気ダクトの中心軸線に関して対称的なものと
なっているので、当該中心軸線上に沿って流れる空気流
は安定したものとなる。従って、流速計の計測部が中心
軸線上に位置している限り、その位置が流路断面積調節
手段の近傍であって、空気流の流速を正確に計測するこ
とが可能となる。
【００２４】従って、排気ダクトの全長が短くとも、空
気流の流速に基づいて、排気風量を一定に維持するフィ
ードバック制御が可能となる。
気流の流速に基づいて、排気風量を一定に維持するフィ
ードバック制御が可能となる。
【図１】本発明による流量調節装置を概略的に示す斜視
図である。
図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、図１の流量調節装
置におけるダンパ部材の位置と、ダンパ部材間に形成さ
れた流路との関係を示す縦断面図である。
置におけるダンパ部材の位置と、ダンパ部材間に形成さ
れた流路との関係を示す縦断面図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、図１の流量調節装
置におけるダンパ部材の位置と、ダンパ部材間に形成さ
れた流路との関係を示す横断面図であり、図２の（ａ）
〜（ｃ）にそれぞれ対応した図である。
置におけるダンパ部材の位置と、ダンパ部材間に形成さ
れた流路との関係を示す横断面図であり、図２の（ａ）
〜（ｃ）にそれぞれ対応した図である。
１０…流量調節装置、１２…シリンダキャビネット、１
４…排気ダクト、２０，２２…ダンパ部材（流路断面積
調節手段）、３２…駆動源、３６…流路、３８…ピトー
静圧管（流速計）、４８…差圧計、５０…制御装置（制
御手段）。
４…排気ダクト、２０，２２…ダンパ部材（流路断面積
調節手段）、３２…駆動源、３６…流路、３８…ピトー
静圧管（流速計）、４８…差圧計、５０…制御装置（制
御手段）。
Claims (3)
- 【請求項１】 ガス容器を収容するシリンダキャビネッ
トの排気ダクトを流れる空気流の流量を調節する装置に
おいて、 前記排気ダクト内の流路の断面積を調節する手段であっ
て、前記流路が前記排気ダクトの中央に形成され且つ前
記流路が前記排気ダクトの中心軸線を基準として対称的
な形状となるようにする流路断面積調節手段を備えるこ
とを特徴とする排気ダクトの流量調節装置。 - 【請求項２】 前記流路断面積調節手段が、前記排気ダ
クト内に枢動可能に取り付けられた１対の四分球形状の
ダンパ部材と、前記ダンパ部材を枢動させる駆動源とか
ら成ることを特徴とする請求項１に記載の排気ダクトの
流量調節装置。 - 【請求項３】 前記流路断面積調節手段よりも下流側の
前記排気ダクト内であって、前記排気ダクトの中心軸線
上に、流速計測部が位置するよう配置された流速計と、 前記流速計の計測結果に基づき前記流路断面積調節手段
を制御する制御手段と、を更に備えることを特徴とする
請求項１又は２に記載の排気ダクトの流量調節装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33222097A JPH11166699A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | シリンダキャビネットにおける排気ダクトの流量調節装置 |
| US09/201,767 US6129335A (en) | 1997-12-02 | 1998-12-01 | Flow rate regulation apparatus for an exhaust duct in a cylinder cabinet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33222097A JPH11166699A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | シリンダキャビネットにおける排気ダクトの流量調節装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11166699A true JPH11166699A (ja) | 1999-06-22 |
Family
ID=18252524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33222097A Pending JPH11166699A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | シリンダキャビネットにおける排気ダクトの流量調節装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6129335A (ja) |
| JP (1) | JPH11166699A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014080657A1 (ja) * | 2012-11-22 | 2014-05-30 | 三浦工業株式会社 | ボイラ装置 |
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| BRPI0600845B1 (pt) * | 2006-03-24 | 2018-10-09 | Valeo Sist Automotivos Ltda | dispositivo de controle de ar, em particular para uma instalação de aquecimento, ventilação e/ou condicionamento de ar para veículo automotivo |
| FR2921433B1 (fr) * | 2007-09-25 | 2009-11-06 | Mann & Hummel Gmbh | Dispositif de mise en tourbillonnement et de melange de gaz d'echappement recycles dans la tubulure d'aspiration d'un moteur a combustion interne. |
| US11624326B2 (en) | 2017-05-21 | 2023-04-11 | Bj Energy Solutions, Llc | Methods and systems for supplying fuel to gas turbine engines |
| US11560845B2 (en) | 2019-05-15 | 2023-01-24 | Bj Energy Solutions, Llc | Mobile gas turbine inlet air conditioning system and associated methods |
| US10895202B1 (en) | 2019-09-13 | 2021-01-19 | Bj Energy Solutions, Llc | Direct drive unit removal system and associated methods |
| CA3092859A1 (en) | 2019-09-13 | 2021-03-13 | Bj Energy Solutions, Llc | Fuel, communications, and power connection systems and related methods |
| CA3092865C (en) | 2019-09-13 | 2023-07-04 | Bj Energy Solutions, Llc | Power sources and transmission networks for auxiliary equipment onboard hydraulic fracturing units and associated methods |
| US11015594B2 (en) | 2019-09-13 | 2021-05-25 | Bj Energy Solutions, Llc | Systems and method for use of single mass flywheel alongside torsional vibration damper assembly for single acting reciprocating pump |
| CA3092868A1 (en) | 2019-09-13 | 2021-03-13 | Bj Energy Solutions, Llc | Turbine engine exhaust duct system and methods for noise dampening and attenuation |
| US10989180B2 (en) | 2019-09-13 | 2021-04-27 | Bj Energy Solutions, Llc | Power sources and transmission networks for auxiliary equipment onboard hydraulic fracturing units and associated methods |
| US11002189B2 (en) | 2019-09-13 | 2021-05-11 | Bj Energy Solutions, Llc | Mobile gas turbine inlet air conditioning system and associated methods |
| US11015536B2 (en) | 2019-09-13 | 2021-05-25 | Bj Energy Solutions, Llc | Methods and systems for supplying fuel to gas turbine engines |
| US10815764B1 (en) | 2019-09-13 | 2020-10-27 | Bj Energy Solutions, Llc | Methods and systems for operating a fleet of pumps |
| CA3191280A1 (en) | 2019-09-13 | 2021-03-13 | Bj Energy Solutions, Llc | Methods and systems for supplying fuel to gas turbine engines |
| US11604113B2 (en) | 2019-09-13 | 2023-03-14 | Bj Energy Solutions, Llc | Fuel, communications, and power connection systems and related methods |
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| US11208880B2 (en) | 2020-05-28 | 2021-12-28 | Bj Energy Solutions, Llc | Bi-fuel reciprocating engine to power direct drive turbine fracturing pumps onboard auxiliary systems and related methods |
| US11109508B1 (en) | 2020-06-05 | 2021-08-31 | Bj Energy Solutions, Llc | Enclosure assembly for enhanced cooling of direct drive unit and related methods |
| US11208953B1 (en) | 2020-06-05 | 2021-12-28 | Bj Energy Solutions, Llc | Systems and methods to enhance intake air flow to a gas turbine engine of a hydraulic fracturing unit |
| US10961908B1 (en) | 2020-06-05 | 2021-03-30 | Bj Energy Solutions, Llc | Systems and methods to enhance intake air flow to a gas turbine engine of a hydraulic fracturing unit |
| US10954770B1 (en) | 2020-06-09 | 2021-03-23 | Bj Energy Solutions, Llc | Systems and methods for exchanging fracturing components of a hydraulic fracturing unit |
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| US11933153B2 (en) | 2020-06-22 | 2024-03-19 | Bj Energy Solutions, Llc | Systems and methods to operate hydraulic fracturing units using automatic flow rate and/or pressure control |
| US11125066B1 (en) | 2020-06-22 | 2021-09-21 | Bj Energy Solutions, Llc | Systems and methods to operate a dual-shaft gas turbine engine for hydraulic fracturing |
| US11028677B1 (en) | 2020-06-22 | 2021-06-08 | Bj Energy Solutions, Llc | Stage profiles for operations of hydraulic systems and associated methods |
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| US11193360B1 (en) | 2020-07-17 | 2021-12-07 | Bj Energy Solutions, Llc | Methods, systems, and devices to enhance fracturing fluid delivery to subsurface formations during high-pressure fracturing operations |
| US11639654B2 (en) | 2021-05-24 | 2023-05-02 | Bj Energy Solutions, Llc | Hydraulic fracturing pumps to enhance flow of fracturing fluid into wellheads and related methods |
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-
1997
- 1997-12-02 JP JP33222097A patent/JPH11166699A/ja active Pending
-
1998
- 1998-12-01 US US09/201,767 patent/US6129335A/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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Also Published As
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|---|---|
| US6129335A (en) | 2000-10-10 |
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