CN210436637U - 薄膜贴合装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种薄膜贴合装置，用于控制薄膜与基体之间的胶层厚度，包括：基体固定模块，用于吸附所述基体；薄膜固定模块，可拆卸的设置于所述基体固定模块上方，用于吸附所述薄膜，所述基体与所述薄膜相对设置；若干调节模块，用于调节所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离以控制所述基体与所述薄膜之间的距离。本实用新型能够对薄膜与基体之间的胶层厚度进行控制和精确调节，从而有效保证薄膜与基体之间的胶层厚度。

Description

薄膜贴合装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种薄膜贴合装置。

背景技术

光刻装置是一种将掩模图案成像在目标基板上的设备，在光刻装置中，掩模台以纳米级精度进行运动，其中，掩模柔性吸附组件是掩模台的重要组成部分，其主要功能是吸附并承载掩模板，掩模柔性吸附组件包括薄膜、基体及薄膜与基体之间的胶层，薄膜可大大减小掩模板的形变，并抑制掩模板运动过程中的垂向模态振动。

目前，市场上陆续出现一些薄膜贴合装置，其主要作用是将薄膜和基体通过胶层以一定精度粘接起来，但是现有技术仅能够保证薄膜与基体之间的贴合精度，尚未出现能够对胶层厚度进行控制和精确调节的装置。因此，需设计一种薄膜贴合装置，既能够将薄膜和基体以一定精度粘接起来，同时要能够保证薄膜和基体之间的胶层厚度，以使薄膜和基体之间形成一定厚度的气膜，以保证掩模柔性吸附组件能够达到使用要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种薄膜贴合装置，能够对薄膜与基体之间的胶层厚度进行控制和精确调节，从而有效保证薄膜与基体之间的胶层厚度。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种薄膜贴合装置，用于控制薄膜与基体之间的胶层厚度，包括：

基体固定模块，用于吸附所述基体；

薄膜固定模块，可拆卸的设置于所述基体固定模块上方以吸附所述薄膜，所述基体与所述薄膜相对；

若干调节模块，用于调节所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离以控制所述基体与所述薄膜之间的距离。

可选的，所述调节模块包括调节单元及支撑销，所述薄膜固定模块与所述基体固定模块相对的一侧上设置有若干支撑柱，一个所述支撑销与一个所述支撑柱对准，通过调节所述调节单元以使所述支撑销及所述支撑柱沿垂向移动以改变所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离。

可选的，所述调节单元包括粗调旋钮、粗调杠杆、微调旋钮及微调杠杆，所述粗调杠杆的调节比例小于所述微调杠杆的调节比例，所述粗调旋钮连接所述粗调杠杆，所述微调旋钮连接所述微调杠杆，所述粗调杠杆及所述微调杠杆均连接所述支撑销，通过旋转所述粗调旋钮和/或所述微调旋钮以使所述支撑销及所述支撑柱沿垂向移动。

可选的，所述调节单元还包括粗调弹簧及微调弹簧，所述粗调弹簧设置于所述粗调旋钮的底部且所述粗调弹簧的弹簧力方向与所述粗调旋钮的调节顶紧方向相反，所述微调弹簧设置于所述微调旋钮的底部且所述微调弹簧的弹簧力方向与所述微调旋钮的调节顶紧方向相反。

可选的，所述薄膜贴合装置还包括若干传感模块，所述传感模块用于检测所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离。

可选的，所述调节模块及所述传感模块均具有三组，三组所述调节模块及三组所述传感模块沿所述基体周向设置，并且，三组所述传感模块构成的虚拟三角形的位置与三组所述调节单元构成的虚拟三角形的位置对应或错位。

可选的，所述传感模块包括电容传感器及感应片，所述电容传感器设置于所述基体固定模块上，所述感应片设置于所述薄膜固定模块上，所述感应片与所述电容传感器对准，以检测所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离。

可选的，所述基体固定模块的第一方向上设置有一定位套，所述基体固定模块的第二方向上设置有至少一组定位销，每组定位销至少具有两个沿所述第二方向平行设置的定位销，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。

可选的，当所述基体固定模块的第二方向上设置有多组定位销时，每组定位销的垂向高度不同。

可选的，所述基体固定模块的第一方向及第二方向上均设置有若干顶紧单元，所述第一方向上的顶紧单元与所述定位套对称设置，所述第二方向上的一个所述顶紧单元与一个所述定位销对称设置。

可选的，所述薄膜固定模块上设置有至少两个导向孔，所述基体固定模块上设置有至少两个导向销，一个所述导向孔与一个所述导向销对应设置，每个所述导向孔套住对应的所述导向销以使所述薄膜固定模块与所述基体固定模块连接。

可选的，所述薄膜贴合装置还包括若干弹性压紧单元，所述弹性压紧单元包括Z形板、固定柱及弹簧，所述固定柱固定于所述基体固定模块上，所述Z形板的一端及所述弹簧顺次套设于所述固定柱上，所述Z形板的另一端卡住所述薄膜固定模块。

可选的，所述薄膜与所述基体之间的胶层厚度介于7μm-9μm。

本实用新型通过将基体吸附于所述基体固定模块上，将薄膜吸附于所述薄膜固定模块上，通过所述调节单元调节所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离以控制所述基体与所述薄膜之间的距离，从而实现对胶层厚度的精确调节。

附图说明

图1为一种掩模柔性吸附组件的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的薄膜贴合装置的整体结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的基体固定模块的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的调节模块的剖面示意图；

图5为本实用新型实施例提供的薄膜固定模块的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的薄膜吸附板的结构示意图；

图7为本实用新型另一实施例提供的基体固定模块的结构示意图；

图中：10-基体；20-薄膜；30-基体固定模块；31-基体固定板；311-第一吸附孔；312-第二吸附孔；313-基体吸附腔；32-第一定位销；33-第二定位销；34-定位套；35-导向销；36-弹性压紧单元；37-顶紧单元；40-薄膜固定模块；41-支撑柱；42-导向孔；43-薄膜吸附板；431-第一薄膜吸附腔；432-第二薄膜吸附腔；433-肋筋；44-把手；50-调节模块；51-支撑销；52-粗调旋钮；53-微调旋钮；54-粗调杠杆；55-微调杠杆；56-粗调弹簧；57-微调弹簧；61-电容传感器；62-感应片。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型提供了一种薄膜贴合装置，用于控制薄膜与基体之间的胶层厚度，包括：基体固定模块30，用于吸附所述基体10；薄膜固定模块40，可拆卸的设置于所述基体固定模块30上方以吸附所述薄膜20，所述基体10与所述薄膜20相对；若干调节模块50，用于调节所述基体固定模块30与所述薄膜固定模块40之间的垂向距离以控制所述基体10与所述薄膜20之间的距离。

具体的，参阅图1，所述薄膜20与基体10之间需以一定精度粘接起来，同时要保证薄膜20和基体10之间的胶层厚度。薄膜20与基体10的形状相近，或者薄膜20的宽度比基体10的宽度大。参阅图2，所述基体固定模块30主要用于基体10的固定以及提供其他一些零部件的安装接口等；所述调节模块50设置于所述基体固定模块30上，主要用于调节所述基体固定模块30与所述薄膜固定模块40之间的距离，以实现胶层厚度的调节控制；所述薄膜固定模块40主要用于提供薄膜的定位和固定，由于薄膜自身厚度很小，将对薄膜的操作转换为对薄膜固定模块40的操作。

参阅图3，所述基体固定模块30上设置有基体固定板31，所述基体固定板31用于吸附所述基体10，所述基体10上设置所述薄膜20，所述薄膜固定模块40覆压于所述基体固定模块30上，且所述薄膜固定模块40能够吸附所述薄膜20，所述调节模块50设置于所述基体固定模块30的侧壁上，通过调节所述调节模块50，能够改变所述基体固定模块30与所述薄膜固定模块40之间的垂向距离，从而控制所述基体10与所述薄膜20之间的距离。

进一步的，继续参阅图3，所述基体固定板31上设置有第一吸附孔311、第二吸附孔312及基体吸附腔313，所述第一吸附孔311及基体吸附腔313用于吸附所述基体10，所述第二吸附孔312用于吸附所述薄膜20。本实施例中，所述基体固定板31上设置有1个第一吸附孔311，所述第一吸附孔311设置于所述基体固定板31的中心，所述基体固定板31上还设置有两个并列的基体吸附腔313，当将所述薄膜20放置于所述基体固定板31上时，若打开真空，使所述第一吸附孔311中通入真空，即能够通过基体吸附腔313吸附住所述基体10，从而将所述基体10吸附于所述基体固定板31上。之后，将所述薄膜20放置于所述基体10上，所述基体固定板31上设置的4个第二吸附孔312与所述基体10上的4个通孔相对应，通入真空后，能够将所述薄膜20与所述基体10吸附在一起，保证两者紧密贴合。

进一步的，所述基体固定模块30的第一方向上设置有一定位套34，所述基体固定模块30的第二方向上设置有至少一组定位销，每组定位销至少具有两个沿所述第二方向平行设置的定位销，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。较佳的，当所述基体固定模块的第二方向上设置有多组定位销时，每组定位销的垂向高度不同。

本实施例中，所述定位套34及定位销共同用于对所述基体进行定位，以分别限定所述基体在所述基体固定板31上沿第一方向的位置及沿第二方向的位置。若所述薄膜的宽度等于所述基体的宽度，那么采用一组定位销，即图7中的两个第一定位销32即可同时实现对所述薄膜及所述基体的限位。

进一步的，继续参阅图3，针对所述薄膜的宽度大于所述基体的宽度的情况，可以沿所述基体固定模块30的第二方向设置第二组定位销，即图中的两个第二定位销33，且所述第二定位销33的长度小于所述第一定位销32的长度，这样，通过两个所述第二定位销33限定所述基体的位置，通过两个所述第一定位销32限定所述薄膜的位置(所述薄膜的高度及宽度均大于所述基体)，从而可以避免干涉。

进一步的，所述基体固定模块30的第一方向及第二方向上均设置有若干顶紧单元37，所述第一方向上的顶紧单元与所述定位套34对称设置，所述第二方向上的一个所述顶紧单元与一个所述定位销对称设置。参阅图7，为了保证所述基体与所述基体固定板31的连接更牢固，在设置了第一定位销32及定位套34的基础上，还可以在所述基体固定板31相对于所述第一定位销32及所述定位套34的两个侧壁旁设置顶紧单元37，本实施例中，设置了3个顶紧单元37，以分别对应两个第一定位销32及一个定位套34。经过试验验证，当对所述基体固定板31通入真空后，所述基体固定板31与所述基体吸附力足够，可以无需设置所述顶紧单元37。

进一步的，参阅图4，所述调节模块50包括调节单元及支撑销51，所述薄膜固定模块40与所述基体固定模块30相对的一侧上设置有若干支撑柱41，一个所述支撑销51与一个所述支撑柱41对准，通过调节所述调节单元以使所述支撑销51及所述支撑柱41沿垂向移动以改变所述基体固定模块30与所述薄膜固定模块40之间的垂向距离。

本实施例中，所述支撑柱41与所述薄膜固定模块40螺纹连接，可以调节所述支撑柱41相对于所述薄膜固定模块40的高度位置。

进一步的，所述调节单元包括粗调旋钮52、粗调杠杆54、微调旋钮53及微调杠杆55，所述粗调杠杆54的调节比例小于所述微调杠杆55的调节比例，所述粗调旋钮52连接所述粗调杠杆54，所述微调旋钮53连接所述微调杠杆55，所述粗调杠杆及所述微调杠杆均连接所述支撑销51，通过旋转所述粗调旋钮52和/或所述微调旋钮53以使所述支撑销51及所述支撑柱41沿垂向移动。

具体的，所述粗调杠杆54和微调杠杆55为通过线切割在一个零件上加工而成的柔性件，图中A为粗调杠杆支点，B为微调杠杆支点，旋转所述粗调旋钮52或所述微调旋钮53能够使所述支撑销51沿垂向移动与所述支撑柱41接触或远离所述支撑柱41。通过软件仿真计算，所述粗调杠杆54的调节比例为17.4，所述微调杠杆55的调节比例为71.4，粗调杠杆54调节点及微调杠杆55调节点(即粗调旋钮52与粗调杠杆54的连接点及微调旋钮53与微调杠杆55的连接点)的最大位移均为±0.8mm，相应的，所述粗调杠杆54及所述微调杠杆55在所述支撑柱41与所述支撑销51接触的支点的最大位移范围分别为±46um和±11um，可以满足8um的间隙要求。其中微调旋钮53的调节行程为±6.5mm，最小分辨率为±0.01mm，对应到所述支撑柱41与所述支撑销51接触的支点处的最小分辨率为0.14um，可以满足要求。

较佳的，所述薄膜与所述基体之间的胶层厚度介于7μm-9μm。发明人经过反复实验验证，发现当胶层厚度为8±1μm时，所述薄膜与所述基体所组成的掩模柔性吸附组件能够达到最佳的使用要求。

优选的，所述调节单元还包括粗调弹簧56及微调弹簧57，所述粗调弹簧56设置于所述粗调旋钮52的底部且所述粗调弹簧56的弹簧力方向与所述粗调旋钮52的调节顶紧方向相反，所述微调弹簧57设置于所述微调旋钮53的底部且所述微调弹簧57的弹簧力方向与所述微调旋钮53的调节顶紧方向相反。本实施例中，设置粗调弹簧56及微调弹簧57在调节到位时起到稳定粗调杠杆54及微调杠杆55的作用，防止晃动，同时可以作为反向调节时的作用力。由粗调杠杆54及微调杠杆55形成的所述柔性件使用沉淀硬化不锈钢材料，屈服强度可达到1180MPa，可以满足强度要求。参见表1，其为柔性件的仿真结果，表1中，压紧方向指的是所述粗调旋钮52或所述微调旋钮53竖直向上或竖直向下动作，压紧行程指的是所述粗调杠杆54调节点及所述微调杠杆55调节点的位移，调升距离指的是所述支撑柱41与所述支撑销51接触的支点的位移，调节比例指的是所述粗调杠杆54及所述微调杠杆55的调节比例，调节比例＝压紧行程/调升距离。由表1可知，无论如何调节，柔性件的最大应力都不会超过柔性件的屈服强度1180MPa，因此不会对柔性件造成破坏。

表1柔性件仿真结果

进一步的，所述薄膜贴合装置还包括若干传感模块，所述传感模块用于检测所述基体固定模块30与所述薄膜固定模块40之间的垂向距离。

较佳的，所述调节模块50及所述传感模块均具有三组，三组所述调节模块50及三组所述传感模块沿所述基体周向设置，并且，三组所述传感模块构成的虚拟三角形的位置与三组所述调节模块构成的虚拟三角形的位置对应或错位。

本实施例中，参阅图3，所述传感模块用于高度位置检测，检测所述基体固定模块30与所述薄膜固定模块40之间的垂向距离，进而控制所述基体与所述薄膜之间的距离。

参阅图7，三组所述传感模块与三组所述调节模块50错位设置，图中可见三个所述电容传感器61与三组所述调节模块50的设置位置相反，调节时间较长，调节效率低；参阅图3，若三组所述传感模块与三组所述调节模块50对应设置，即三个所述电容传感器61与所述调节模块50的设置位置一一对应，则更方便调节，调节效率较高。

进一步的，参阅图3及图5，所述传感模块包括电容传感器61及感应片62，所述电容传感器61设置于所述基体固定模块30上，所述感应片62设置于所述薄膜固定模块40上，所述感应片62与所述电容传感器61对准，以检测所述基体固定模块30与所述薄膜固定模块40与之间的垂向距离。具体的，所述感应片62与所述电容传感器61对准，这样，当所述薄膜固定模块40置于所述基体固定模块30上时，每一组传感模块反馈一个高度数值。根据高度数值，可以有利于后续控制和调节所述基体固定模块30与所述薄膜固定模块40之间的垂向距离。

进一步的，继续参阅图5，所述薄膜固定模块40上设置有至少两个导向孔42，所述基体固定模块30上设置有至少两个导向销35，一个所述导向孔42与一个所述导向销35对应设置，每个所述导向孔42套住对应的所述导向销35以使所述薄膜固定模块40与所述基体固定模块30连接。本实施例中，两个所述导向销35等高设置，所述基体固定模块30上的两个导向销35与所述薄膜固定模块40上的两个导向孔42一一对应，通过所述导向销35与所述导向孔42的配合，在所述薄膜固定模块40与所述基体固定模块30连接时起到导向作用。

进一步的，所述薄膜固定模块40上还设置有薄膜吸附板43，所述薄膜吸附板43上具有多个薄膜吸附腔，以吸附所述薄膜。具体的，参阅图5及图6，所述薄膜吸附板43设置于所述薄膜固定模块40朝向所述基体固定模块30的一面上，与所述感应器62同侧设置，所述薄膜吸附板43上具有多个薄膜吸附腔，分别为第一薄膜吸附腔431及第二薄膜吸附腔432。其中，所述第一薄膜吸附腔431排成一行，每个第一薄膜吸附腔431呈腰形，其腔体深度可以为0.5mm，具体实施时，腔体深度在0.2-0.5mm均可。腔体的底部钻孔，能够有效降低加工难度和减少加工量。所述第二薄膜吸附腔432呈条形，其腔体深度可以为0.5mm，且相邻的第二薄膜吸附腔432之间形成有肋筋433，与薄膜吸附板43的表面共面且连续，这样既方便加工后检测表面质量，又可在吸附薄膜时，支撑薄膜，减小薄膜的变形。

进一步的，继续参阅图5，所述薄膜固定模块40的一组相对的侧壁上各设置有把手44，以搬放所述薄膜固定模块40。在所述薄膜固定模块40的侧壁上设置所述把手44，可以方便操作人员搬放所述薄膜固定模块40，同样的，在所述基体固定模块30的侧壁上也相应的设置有把手，以便搬放所述基体固定模块30。

进一步的，所述薄膜贴合装置还包括若干弹性压紧单元36，所述弹性压紧单元36包括Z形板、固定柱及弹簧，所述固定柱固定于所述基体固定模块30上，所述Z形板的一端及所述弹簧顺次套设于所述固定柱上，所述Z形板的另一端卡住所述薄膜固定模块40。具体的，参阅图3，本实施例中，三个所述弹性压紧单元36呈三角形设置，能够在所述薄膜固定模块40放置于所述基体固定模块30上后，对所述薄膜固定模块40施加压力，从而缩小所述薄膜固定模块40与所述基体固定模块30的距离。

本装置在工作时，先打开所述基体固定模块30的真空，将基体10吸附于所述基体固定板31上，并将所述薄膜20吸附至所述基体10上，再分别调节3个所述支撑柱41向远离所述基体固定模块30的方向移动，然后将薄膜固定模块40轻轻的放置到所述薄膜上方，依靠重力压在所述薄膜上，此时记录下三个电容传感器61的高度位置数据，分别为第一高度值h1、第二高度值h2及第三高度值h3。之后分别调节3个所述支撑柱41，使其向靠近所述基体固定模块30的方向移动使其分别与3个所述支撑销51接触，并锁紧所述支撑柱41，继而通过分别调节3个所述粗调旋钮52使其对应的所述支撑柱41与所述支撑销51接触的支点向上调整，当每个电容传感器61显示的高度值发生一定变化后(高度增大)，再回调其对应的粗调旋钮52，将所述电容传感器61显示高度恢复到之前高度，此时所述薄膜吸附板43与所述薄膜、所述支撑柱41与所述支撑销51都处于贴实状态。

之后，打开所述薄膜吸附板43的真空，同时断开所述基体固定模块30上的基体对所述薄膜吸附的真空，使所述薄膜吸附于所述薄膜吸附板43上。调整3个调节模块50上的微调旋钮53，同时观察3个电容传感器61的读数，当上升高度达到8um时停止，即使所述第一高度值h1、所述第二高度值h2及所述第三高度值h3各自增加8um，分别记为新的第一高度值h1’、新的第二高度值h2’、新的第三高度值h3’，此时所述薄膜与所述基体之间即可具有8um的间隙。通过所述薄膜固定模块40上的把手44将所述薄膜固定模块40连同所述薄膜一起拿下，在所述基体上涂抹适量胶水，再将所述薄膜固定模块40放回原位，静置一段时间(例如5min)后观察3个所述电容传感器61的读数是否和之前一致(即新的第一高度值h1’、新的第二高度值h2’、新的第三高度值h3’)如果高度偏高，则可以通过所述弹性压紧单元36沿垂向加压，使读数与之前一致，然后等待胶水固化完成，完成粘接过程。本实施例中，是将所述薄膜与所述基体之间的间隙控制为8um，在其他实施例中，可以根据实际需求调节所述间隙，不作限定。

综上，在本实用新型实施例提供的一种薄膜贴合装置中，本实用新型通过将基体吸附于所述基体固定模块上，将薄膜吸附于所述薄膜固定模块上，通过所述调节单元调节所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离以控制所述基体与所述薄膜之间的距离，从而实现对胶层厚度的精确调节。进一步，通过所述传感模块，实现对胶层厚度的实时监测反馈。

上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (13)

1.一种薄膜贴合装置，用于控制薄膜与基体之间的胶层厚度，其特征在于，包括：

基体固定模块，用于吸附所述基体；

薄膜固定模块，可拆卸的设置于所述基体固定模块上方以吸附所述薄膜，且所述基体与所述薄膜相对；

若干调节模块，用于调节所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离以控制所述基体与所述薄膜之间的距离。

2.如权利要求1所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述调节模块包括调节单元及支撑销，所述薄膜固定模块与所述基体固定模块相对的一侧上设置有若干支撑柱，一个所述支撑销与一个所述支撑柱对准，通过调节所述调节单元以使所述支撑销及所述支撑柱沿垂向移动以改变所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离。

3.如权利要求2所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述调节单元包括粗调旋钮、粗调杠杆、微调旋钮及微调杠杆，所述粗调杠杆的调节比例小于所述微调杠杆的调节比例，所述粗调旋钮连接所述粗调杠杆，所述微调旋钮连接所述微调杠杆，所述粗调杠杆及所述微调杠杆均连接所述支撑销，通过旋转所述粗调旋钮和/或所述微调旋钮以使所述支撑销及所述支撑柱沿垂向移动。

4.如权利要求3所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述调节单元还包括粗调弹簧及微调弹簧，所述粗调弹簧设置于所述粗调旋钮的底部且所述粗调弹簧的弹簧力方向与所述粗调旋钮的调节顶紧方向相反，所述微调弹簧设置于所述微调旋钮的底部且所述微调弹簧的弹簧力方向与所述微调旋钮的调节顶紧方向相反。

5.如权利要求1所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述薄膜贴合装置还包括若干传感模块，所述传感模块用于检测所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离。

6.如权利要求5所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述调节模块及所述传感模块均具有三组，三组所述调节模块及三组所述传感模块沿所述基体周向设置，并且，三组所述传感模块构成的虚拟三角形的位置与三组所述调节模块构成的虚拟三角形的位置对应或错位。

7.如权利要求5或6所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述传感模块包括电容传感器及感应片，所述电容传感器设置于所述基体固定模块上，所述感应片设置于所述薄膜固定模块上，所述感应片与所述电容传感器对准，以检测所述基体固定模块与所述薄膜固定模块之间的垂向距离。

8.如权利要求1所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述基体固定模块的第一方向上设置有一定位套，所述基体固定模块的第二方向上设置有至少一组定位销，每组定位销至少具有两个沿所述第二方向平行设置的定位销，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。

9.如权利要求8所述的薄膜贴合装置，其特征在于，当所述基体固定模块的第二方向上设置有多组定位销时，每组定位销的垂向高度不同。

10.如权利要求8或9所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述基体固定模块的第一方向及第二方向上均设置有若干顶紧单元，所述第一方向上的顶紧单元与所述定位套对称设置，所述第二方向上的一个所述顶紧单元与一个所述定位销对称设置。

11.如权利要求1所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述薄膜固定模块上设置有至少两个导向孔，所述基体固定模块上设置有至少两个导向销，一个所述导向孔与一个所述导向销对应设置，每个所述导向孔套住对应的所述导向销以使所述薄膜固定模块与所述基体固定模块连接。

12.如权利要求1所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述薄膜贴合装置还包括若干弹性压紧单元，所述弹性压紧单元包括Z形板、固定柱及弹簧，所述固定柱固定于所述基体固定模块上，所述Z形板的一端及所述弹簧顺次套设于所述固定柱上，所述Z形板的另一端卡住所述薄膜固定模块。

13.如权利要求1所述的薄膜贴合装置，其特征在于，所述薄膜与所述基体之间的胶层厚度介于7μm-9μm。

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