CN210400241U - 一种新型光刻膜加工用厚度检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，所述尺架的前端端面连接有隔热垫，所述尺架的中间偏左位置处连接有测砧，所述测砧的右方在尺架的中间位置处连接有测微螺杆，本实用新型有前支撑柱、后支撑柱、套管和伸缩管组成的支撑装置，采用前支撑柱和后支撑柱来支撑厚度检测装置，能很好的使厚度检测装置在桌面上立起，避免了物体掉落造成的麻烦，同时微分筒和前支撑柱上的螺纹也使厚度检测装置能够进行正常的测量，本实用新型有上卡扣、支撑脚、下卡扣、柱体和万向轴组成的前支撑柱，采用上卡扣和下卡扣来卡住支撑脚能很好的固定支撑脚，在支撑脚使用时能正常支撑，保证正常使用的同时减少了所占空间。

Description

一种新型光刻膜加工用厚度检测装置

技术领域

本实用新型属于测量工具相关技术领域，具体涉及一种新型光刻膜加工用厚度检测装置。

背景技术

光刻膜加工用厚度检测装置即外径千分尺，外径千分尺也叫螺旋测微器，常简称为“千分尺”，它是比游标卡尺更精密的长度测量仪器，精度有0.01mm、0.02mm和0.05mm几种，加上估读的1位，可读取到小数点后第3位（千分位），故称千分尺。

现有的技术存在以下问题：现有的光刻膜加工用厚度检测装置在使用时由于检测时需要用一手扶住厚度检测装置另一手旋转厚度检测装置上的旋钮，而物体由于大小不一很难在厚度检测装置上固定，造成检测物掉落使测量失败。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，以解决上述背景技术中提出的物体由于大小不一很难在厚度检测装置上固定造成检测物掉落使测量失败的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，包括尺架和隔热垫，所述尺架的前端端面连接有隔热垫，所述尺架的中间偏左位置处连接有测砧，所述测砧的右方在尺架的中间位置处连接有测微螺杆，所述隔热垫的上方在尺架的前端端面位置处连接有锁紧装置，所述尺架的右端端面连接有固定套筒，所述固定套筒的外表面套接有微分筒，所述微分筒的右端端面连接有测力装置，所述微分筒和测力装置的外表面套接有支撑装置，所述支撑装置包括前支撑柱、后支撑柱、套管和伸缩管，所述套管的上端端面偏右位置处连接有前支撑柱，所述套管的右端端口套接有伸缩管，所述伸缩管的上端端面偏上位置处连接有后支撑柱。

优选的，所述前支撑柱包括上卡扣、支撑脚、下卡扣、柱体和万向轴，所述柱体的左端和右端端面连接有万向轴，所述万向轴的表面连接有支撑脚，所述支撑脚的中间连接有上卡扣，所述支撑脚的下端端面连接有下卡扣。

优选的，所述微分筒的表面偏右位置处设置有螺纹，所述微分筒的表面偏左位置处设置有刻度。

优选的，所述套管的左端端面连接在尺架的表面，所述套管的内部中空，所述伸缩管可在套管的内部左右移动。

优选的，所述柱体的左端和右端端面设置有卡槽能卡住上卡扣和下卡扣，所述支撑脚可通过万向轴相对于柱体进行转动。

优选的，所述固定套筒的表面设置有刻度，所述微分筒可相对于固定套筒进行转动，所述微分筒和测力装置转动可控制测微螺杆的左右移动。

优选的，所述前支撑柱的左端端面偏上位置处设置有开口且开口内部设置有可以和微分筒表面螺纹咬合的螺纹，所述后支撑柱的左端端面偏上位置处设置有开口且套接在测力装置的表面。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，具备以下有益效果：

1.本实用新型有前支撑柱、后支撑柱、套管和伸缩管组成的支撑装置，采用前支撑柱和后支撑柱来支撑厚度检测装置，能很好的使厚度检测装置在桌面上立起，避免了物体掉落造成的麻烦，同时微分筒和前支撑柱上的螺纹也使厚度检测装置能够进行正常的测量。

2.本实用新型有上卡扣、支撑脚、下卡扣、柱体和万向轴组成的前支撑柱，采用上卡扣和下卡扣来卡住支撑脚能很好的固定支撑脚，在支撑脚使用时能正常支撑，不使用时可以收起，保证正常使用的同时减少了所占空间。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型提出的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置结构示意图；

图2为本实用新型提出的支撑装置的结构示意图；

图3为本实用新型提出的前支撑柱的结构示意图；

图中：1、尺架；2、测砧；3、测微螺杆；4、锁紧装置；5、固定套筒；6、微分筒；7、测力装置；8、隔热垫；9、支撑装置；91、前支撑柱；92、后支撑柱；93、套管；94、伸缩管；911、上卡扣；912、支撑脚；913、下卡扣；914、柱体；915、万向轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，包括尺架1和隔热垫8，尺架1的前端端面连接有隔热垫8，尺架1的中间偏左位置处连接有测砧2，测砧2的右方在尺架1的中间位置处连接有测微螺杆3，隔热垫8的上方在尺架1的前端端面位置处连接有锁紧装置4，尺架1的右端端面连接有固定套筒5，固定套筒5的外表面套接有微分筒6，微分筒6的右端端面连接有测力装置7，微分筒6和测力装置7的外表面套接有支撑装置9，支撑装置9包括前支撑柱91、后支撑柱92、套管93和伸缩管94，套管93的上端端面偏右位置处连接有前支撑柱91，套管93的右端端口套接有伸缩管94，伸缩管94的上端端面偏上位置处连接有后支撑柱92。

一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，前支撑柱91包括上卡扣911、支撑脚912、下卡扣913、柱体914和万向轴915，柱体914的左端和右端端面连接有万向轴915，万向轴915的表面连接有支撑脚912，支撑脚912的中间连接有上卡扣911，支撑脚912的下端端面连接有下卡扣913，采用上卡扣911和下卡扣913来卡住支撑脚912能很好的固定支撑脚912，在支撑脚912使用时能正常支撑，不使用时可以收起，保证正常使用的同时减少了所占空间。

一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，微分筒6的表面偏右位置处设置有螺纹，微分筒6的表面偏左位置处设置有刻度，刻度能很好的标示位置，使后续能提供位移读数，套管93的左端端面连接在尺架1的表面，套管93的内部中空，伸缩管94可在套管93的内部左右移动，左右移动能使伸缩管94不阻碍测力装置7的移动，保证测量的正常进行，柱体914的左端和右端端面设置有卡槽能卡住上卡扣911和下卡扣913，支撑脚912可通过万向轴915相对于柱体914进行转动，卡槽能很好的固定上卡扣911和下卡扣913，从而使支撑脚912的位置能够固定稳定，固定套筒5的表面设置有刻度，微分筒6可相对于固定套筒5进行转动，微分筒6和测力装置7转动可控制测微螺杆3的左右移动，能很好的对物体进行挤压从而获取更精确的数据，前支撑柱91的左端端面偏上位置处设置有开口且开口内部设置有可以和微分筒6表面螺纹咬合的螺纹，后支撑柱92的左端端面偏上位置处设置有开口且套接在测力装置7的表面，在微分筒6转动时能很好的不阻碍微分筒6的转动和移动，保证厚度测量装置的正常使用。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，在需要使用时首先将厚度检测装置放在水平的桌面上，随后将手放在支撑脚912上，用力按压支撑脚912并向外掰，则上卡扣911脱离柱体914表面的卡槽，转动支撑脚912使下卡扣913卡进柱体914表面的卡槽，则支撑脚912固定在柱体914表面，则支撑脚912支撑柱体914保持竖直，旋转微分筒6微分筒6旋转带动测微螺杆3向右移动，当测砧2与测微螺杆3之间距离大于要测量物体的厚度时，停止旋转微分筒6，将需要测量的物体放在测砧2与测微螺杆3之间，反向旋转微分筒6，则测微螺杆3慢慢挤压被测物体，当微分筒6旋转困难时开始旋转测力装置7，则测微螺杆3继续挤压被测物体，当测力装置7难以转动时，旋转锁紧装置4，根据固定套筒5和微分筒6表面的刻度读出被测物体长度。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，包括尺架（1）和隔热垫（8），其特征在于：所述尺架（1）的前端端面连接有隔热垫（8），所述尺架（1）的中间偏左位置处连接有测砧（2），所述测砧（2）的右方在尺架（1）的中间位置处连接有测微螺杆（3），所述隔热垫（8）的上方在尺架（1）的前端端面位置处连接有锁紧装置（4），所述尺架（1）的右端端面连接有固定套筒（5），所述固定套筒（5）的外表面套接有微分筒（6），所述微分筒（6）的右端端面连接有测力装置（7），所述微分筒（6）和测力装置（7）的外表面套接有支撑装置（9），所述支撑装置（9）包括前支撑柱（91）、后支撑柱（92）、套管（93）和伸缩管（94），所述套管（93）的上端端面偏右位置处连接有前支撑柱（91），所述套管（93）的右端端口套接有伸缩管（94），所述伸缩管（94）的上端端面偏上位置处连接有后支撑柱（92）。

2.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述前支撑柱（91）包括上卡扣（911）、支撑脚（912）、下卡扣（913）、柱体（914）和万向轴（915），所述柱体（914）的左端和右端端面连接有万向轴（915），所述万向轴（915）的表面连接有支撑脚（912），所述支撑脚（912）的中间连接有上卡扣（911），所述支撑脚（912）的下端端面连接有下卡扣（913）。

3.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述微分筒（6）的表面偏右位置处设置有螺纹，所述微分筒（6）的表面偏左位置处设置有刻度。

4.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述套管（93）的左端端面连接在尺架（1）的表面，所述套管（93）的内部中空，所述伸缩管（94）可在套管（93）的内部左右移动。

5.根据权利要求2所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述柱体（914）的左端和右端端面设置有卡槽能卡住上卡扣（911）和下卡扣（913），所述支撑脚（912）可通过万向轴（915）相对于柱体（914）进行转动。

6.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述固定套筒（5）的表面设置有刻度，所述微分筒（6）可相对于固定套筒（5）进行转动，所述微分筒（6）和测力装置（7）转动可控制测微螺杆（3）的左右移动。

7.根据权利要求1所述的一种新型光刻膜加工用厚度检测装置，其特征在于：所述前支撑柱（91）的左端端面偏上位置处设置有开口且开口内部设置有可以和微分筒（6）表面螺纹咬合的螺纹，所述后支撑柱（92）的左端端面偏上位置处设置有开口且套接在测力装置（7）的表面。

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