CN210388750U - 一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，压头板安装在抛光机压头上，该辅助装置设置在压头的正下方用于辅助压头板进行拆装，该辅助装置包括气缸、底板、导向机构及支撑机构，底板、气缸及支撑机构从下到上依次设置，支撑机构包括支撑板及两个分别设置在支撑板两端的顶杆，气缸的底端设置在底板上，气缸的输出端与支撑机构相连，导向机构设置在底板和支撑板之间，导向机构包括两个在竖直方向设置的导向杆，两个导向杆关于气缸对称设置，导向杆的底端设置在底板上，导向杆的顶端与支撑机构相连，该装置可以帮助维修人员方便地对抛光机的压头板进行拆卸、安装，节省了人工劳动力，提高了拆装效率。

Description

一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置。

背景技术

抛光硅片生产所使用的有一种加内压装置抛光机，其压头在更换轴承、衬套、旋转接头等维修工作时，需要拆除、安装压头板。该零件具有一定的重量，单人工作因力量不足，往往需要借助辅助工具来完成。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，该装置可以帮助维修人员方便地对抛光机的压头板进行拆卸、安装，节省了人工劳动力，提高了拆装效率。

本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案是：一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，压头板安装在抛光机压头上，该辅助装置设置在压头的正下方用于辅助压头板进行拆装，该辅助装置包括气缸、底板、导向机构及支撑机构，所述底板、所述气缸及所述支撑机构从下到上依次设置，所述支撑机构包括支撑板及两个分别设置在所述支撑板两端的顶杆，所述气缸的底端设置在所述底板上，所述气缸的输出端与所述支撑机构相连，所述导向机构设置在所述底板和所述支撑板之间，所述导向机构包括两个在竖直方向设置的导向杆，两个所述导向杆关于所述气缸对称设置，所述导向杆的底端设置在所述底板上，所述导向杆的顶端与所述支撑机构相连。

进一步的，所述导向杆包括固定杆和移动杆，所述移动杆设置在所述固定杆上方，所述固定杆的底端设置在所述底板上，所述固定杆的顶部设置有凹槽，所述移动杆的底部可在竖直方向上抽拉的设置在所述凹槽内，所述移动杆的顶部与所述支撑板相连。

进一步的，所述凹槽的内壁在竖直方向上设置有滑槽，所述移动杆的外壁上设置有可沿所述滑槽进行滑动的滑块。

进一步的，所述气缸包括缸体、设置在所述缸体内的活塞及与所述活塞相连的活塞杆，所述活塞将缸体的内腔分隔为上腔室和下腔室，所述活塞杆的自由端与所述支撑板相连。

进一步的，所述缸体在上腔室的外侧设置有出气口，所述出气口处安装有出气管，所述出气管上设置有单向阀Ⅰ，缸体在下腔室的外侧设置有进气口，所述进气口处安装有进气管，所述进气管上设置有单向阀Ⅱ，所述出气管和进气管间通过连通管相连通，所述连通管上设置有控制阀。

进一步的，所述顶杆在竖直方向上垂直于所述支撑板设置，所述顶杆的顶部设置有吸盘。

本实用新型的有益效果主要表现在以下方面：压头板的拆卸过程：将此装置放置在已经升至上位的压头的下方，关闭气缸上腔室和下腔室之间的控制阀并向气缸下腔室充气。压缩空气由工厂系统压空或外接气泵、打气筒等通过进气管进入气缸的下腔室，推动气缸活塞杆向上运动，其缸上墙的气体被上行的活塞压缩排除腔外。支撑板在活塞杆向上运动时，将顶杆升起并抵住压头板，继续充气以达到一定的作用压力，此时停止充气，关闭气缸上腔室和下腔室联通的控制阀，单向阀Ⅰ和单向阀Ⅱ亦阻止了气缸上腔室空气进入，并保障下腔室的压缩空气不能逃逸，抵在压头板下的顶杆继续保持在压头板上。从支撑板与两个顶杆之间的部分用扳手拆去压头板上固定在压头内压装置上的螺栓，待螺栓拆除完毕，打开控制阀，气缸下腔室的压缩空气窜入上腔室，并在压头板的重力作用下，活塞杆受力缩回，压头板亦随之降下，维修人员将压头板移走以完成压头板的拆卸过程。

压头板安装过程：让此装置处在下降位置，将压头板放置两个顶杆的顶端并让整个装置处在压头的正下方，关闭气缸上腔室和下腔室相连通的控制阀，向气缸的下腔室中通入压缩空气，当压头板接近到压头的底部时停止充气，调整压头板的位置，让压头板上的安装孔对准压头上的丝孔后安装固定螺栓，安装完毕并进行紧固后，打开气缸上腔室和下腔室相连通的控制阀，气缸下腔室的压缩空气窜入到气缸的下腔室，使活塞杆下降，从而方便移除此整个装置以完成整个安装过程。该装置可以帮助维修人员方便地对抛光机的压头板进行拆卸、安装，节省了人工劳动力，提高了拆装效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的气缸的结构示意图；

图3是本实用新型的导向杆的结构示意图；

图4是本实用新型的固定杆的结构示意图；

图5是本实用新型的移动杆的结构示意图；

图中标记：1、缸体，101、活塞，102、活塞杆，2、底板，3、固定杆，301、移动杆，3011、滑块，302、凹槽，303、滑槽，4、支撑板，401、顶杆，402、吸盘，5、出气管，501、单向阀Ⅰ，6、进气管，601、单向阀Ⅱ，7、连通管，701、控制阀，8、压头板，9、压头。

具体实施方式

结合附图对本实用新型实施例加以详细说明，本实施例以本实用新型技术方案为前提，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。

根据附图可知，一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，压头板8安装在抛光机压头9上，该辅助装置设置在压头9的正下方用于辅助压头板8进行拆装，该辅助装置包括气缸、底板2、导向机构及支撑机构，所述底板2、所述气缸及所述支撑机构从下到上依次设置，所述支撑机构包括支撑板4及两个分别设置在所述支撑板4两端的顶杆401，所述气缸的底端设置在所述底板2上，所述气缸的输出端与所述支撑机构相连，所述导向机构设置在所述底板2和所述支撑板4之间，所述导向机构包括两个在竖直方向设置的导向杆，两个所述导向杆关于所述气缸对称设置，所述导向杆的底端设置在所述底板2上，所述导向杆的顶端与所述支撑机构相连；所述顶杆401在竖直方向上垂直于所述支撑板4设置，所述顶杆401的顶部设置有用于吸附所述压头板8的吸盘402，设置吸盘402可以使顶杆401稳定的吸附支撑在压头板8的下方；从而实现顶杆401更牢固稳定的支撑压头板8的目的；

所述导向杆包括固定杆3和移动杆301，所述移动杆301设置在所述固定杆3上方，所述固定杆3的底端设置在所述底板2上，所述固定杆3的顶部设置有凹槽302，所述移动杆301的底部可在竖直方向上抽拉的设置在所述凹槽302内，所述移动杆301的顶部与所述支撑板4相连。所述凹槽302的内壁在竖直方向上设置有滑槽303，所述移动杆301的外壁上设置有可沿所述滑槽303进行滑动的滑块3011。

所述气缸包括缸体1、设置在所述缸体1内的活塞101及与所述活塞101相连的活塞杆102，所述活塞101将缸体1的内腔分隔为上腔室和下腔室，所述活塞杆102的自由端与所述支撑板4相连。

所述缸体1在上腔室的外侧设置有出气口，所述出气口处安装有出气管5，所述出气管5上设置有单向阀Ⅰ501，缸体1在下腔室的外侧设置有进气口，所述进气口处安装有进气管6，所述进气管6上设置有单向阀Ⅱ601，出气管5和进气管6均为水平方向设置，所述出气管5和进气管6间通过连通管7相连通，连通管7在竖直方向设置，所述连通管7上设置有控制阀701。

气缸安装在一个底板2的中心位置上，支撑板4随着活塞杆102的伸出、下降可在气缸行程的范围内升降。两个导向杆则保证了支撑板4在升降过程中的稳定性；单向阀Ⅱ601只允许气体充入到气缸下腔，而单向阀Ⅰ501则只能让汽缸上腔内的气体排出去。在气缸的上下腔联通管路中安装一个控制阀701，以关闭或开启汽缸上腔室和下腔室的联通。

压头板的拆卸过程：将此装置放置在已经升至上位的压头9的下方，关闭气缸上腔室和下腔室之间的控制阀701并向气缸下腔室充气。压缩空气由工厂系统压空或外接气泵、打气筒等通过进气管6进入气缸的下腔室，推动气缸活塞杆102向上运动，其缸上墙的气体被上行的活塞压缩排除腔外。支撑板4在活塞杆102向上运动时，将顶杆401升起并抵住压头板8，继续充气以达到一定的作用压力，此时停止充气，关闭气缸上腔室和下腔室联通的控制阀701，单向阀Ⅰ501和单向阀Ⅱ601亦阻止了气缸上腔室空气进入，并保障下腔室的压缩空气不能逃逸，抵在压头板8下的顶杆401继续保持在压头板上。从支撑板4与两个顶杆401之间的部分用扳手拆去压头板8上固定在压头9内压装置上的螺栓，待螺栓拆除完毕，打开控制阀701，气缸下腔室的压缩空气窜入上腔室，并在压头板8的重力作用下，活塞杆102受力缩回，压头板8亦随之降下，维修人员将压头板8移走以完成压头板的拆卸过程。

压头板安装过程：让此装置处在下降位置，将压头板8放置两个顶杆401的顶端并让整个装置处在压头9的正下方，关闭气缸上腔室和下腔室相连通的控制阀701，向气缸的下腔室中通入压缩空气，当压头板8接近到压头9的底部时停止充气，调整压头板8的位置，让压头板8上的安装孔对准压头9上的丝孔后安装固定螺栓，安装完毕并进行紧固后，打开气缸上腔室和下腔室相连通的控制阀701，气缸下腔室的压缩空气窜入到气缸的下腔室，使活塞杆102下降，从而方便移除此整个装置以完成整个安装过程。

该装置可以帮助维修人员方便地对抛光机的压头板进行拆卸、安装，节省了人工劳动力，提高了拆装效率。

还需要说明的是，在本文中，诸如Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

Claims (6)

1.一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，压头板(8)安装在抛光机压头(9)上，该辅助装置设置在压头(9)的正下方用于辅助压头板(8)进行拆装，其特征在于：该辅助装置包括气缸、底板(2)、导向机构及支撑机构，所述底板(2)、所述气缸及所述支撑机构从下到上依次设置，所述支撑机构包括支撑板(4)及两个分别设置在所述支撑板(4)两端的顶杆(401)，所述气缸的底端设置在所述底板(2)上，所述气缸的输出端与所述支撑机构相连，所述导向机构设置在所述底板(2)和所述支撑板(4)之间，所述导向机构包括两个在竖直方向设置的导向杆，两个所述导向杆关于所述气缸对称设置，所述导向杆的底端设置在所述底板(2)上，所述导向杆的顶端与所述支撑机构相连。

2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，其特征在于：所述导向杆包括固定杆(3)和移动杆(301)，所述移动杆(301)设置在所述固定杆(3)上方，所述固定杆(3)的底端设置在所述底板(2)上，所述固定杆(3)的顶部设置有凹槽(302)，所述移动杆(301)的底部可在竖直方向上抽拉的设置在所述凹槽(302)内，所述移动杆(301)的顶部与所述支撑板(4)相连。

3.根据权利要求2所述的一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，其特征在于：所述凹槽(302)的内壁在竖直方向上设置有滑槽(303)，所述移动杆(301)的外壁上设置有可沿所述滑槽(303)进行滑动的滑块(3011)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，其特征在于：所述气缸包括缸体(1)、设置在所述缸体(1)内的活塞(101)及与所述活塞(101)相连的活塞杆(102)，所述活塞(101)将缸体(1)的内腔分隔为上腔室和下腔室，所述活塞杆(102)的自由端与所述支撑板(4)相连。

5.根据权利要求4所述的一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，其特征在于：所述缸体(1)在上腔室的外侧设置有出气口，所述出气口处安装有出气管(5)，所述出气管(5)上设置有单向阀Ⅰ(501)，缸体(1)在下腔室的外侧设置有进气口，所述进气口处安装有进气管(6)，所述进气管(6)上设置有单向阀Ⅱ(601)，所述出气管(5)和进气管(6)间通过连通管(7)相连通，所述连通管(7)上设置有控制阀(701)。

6.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机压头板拆装用辅助装置，其特征在于：所述顶杆(401)在竖直方向上垂直于所述支撑板(4)设置，所述顶杆(401)的顶部设置有吸盘(402)。

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