CN210304791U - 一种掩膜板清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例公开了一种掩膜板清洗装置，掩膜板清洗装置包括至少一个浸泡式清洗槽、至少一个喷洒式清洗槽、至少一个清洗液清除槽和烘箱：掩膜板清洗装置还包括机械手臂和移动导轨，机械手臂沿移动导轨移动；沿移动导轨延伸的方向，浸泡式清洗槽、喷洒式清洗槽、清洗液清除槽和烘箱依次设置。本实用新型实施例提出的掩膜板清洗装置，通过设置至少一个喷洒式清洗槽，有效提升了掩膜板上异物杂质的清除率，改善了掩膜板清洁效果，提升了通过掩膜板制备的产品的良品率。

Description

一种掩膜板清洗装置

技术领域

本实用新型实施例涉及掩膜板清洗领域，尤其涉及一种掩膜板清洗装置。

背景技术

现有技术中，将掩膜板卸下蒸镀机，由装备有电磁或光学等自动导引装置的小车(Automated Guided Vehicle，简称AGV)搬运掩膜板到缓存区域口，自动化搬运掩膜版(Mask)，使其放入Mask卡槽，如图1所示，吊装手臂12吊装起Mask及其卡槽通过滑动导轨11依次立式插入浸泡含有有机溶剂的第一药液槽1、第二药液槽2、第三药液槽3中，溶解掩膜板10上粘有的有机膜层。在有机溶剂的药液槽中浸泡过后，由清洗机吊装手臂12将掩膜板10从有机溶剂药液槽转移到易挥发溶剂药液槽4，溶解掩膜板10上残留的有机溶剂，在由吊装手臂12将掩膜板10传送到烘干室5，去除易挥发溶剂，最后自动化设备将干净的掩膜板10从卡槽中取出，由传送带送至检测区域，再由AGV小车运送并放置在蒸镀机备用。

现有技术中掩膜板在AGV小车运送过程中，以及在蒸镀机工艺过程中，机台磨损导致的含有Fe/Cr、Fe/Ni类异物粘附掩膜板表面，并且这些异物会悬浮在有机溶剂药液槽表面，由于清洗机吊装手臂采用依次立式插入有机溶剂药液槽中，当吊装手臂搬运掩膜板离开有机溶剂的时候，掩膜板上极易粘附该异物杂质，而自动光学检查机检查时，由于异物的材质和掩膜板材质类似，容易导致漏检上机的可能，最终导致产品不良。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提出一种清洗装置，解决掩膜板在清洗过程中，金属异物清洗不完全的问题。

为达此目的，本实用新型实施例提供了一种清洗装置，包括：

至少一个浸泡式清洗槽、至少一个喷洒式清洗槽、至少一个清洗液清除槽和烘箱：

掩膜板清洗装置还包括机械手臂和移动导轨，机械手臂沿所述移动导轨移动；

沿移动导轨延伸方向，浸泡式清洗槽、喷洒式清洗槽、清洗液清除槽和烘箱依次设置。

可选地，喷洒式清洗槽中设置有多个第一喷嘴头；

第一喷嘴头的喷洒速率可调。

可选地，清洗液清除槽包括喷洒式清洗液清除槽。

可选地，喷洒式清洗液清除槽中设置有多个第二喷嘴头；

第二喷嘴头的喷洒速率可调。

可选地，烘箱包括风淋式烘箱。

可选地，风淋式烘箱中设置有多个出风口；

出风口的出风速率可调。

可选地，至少一个浸泡式清洗槽包括第一浸泡式清洗槽和第二浸泡式清洗槽；

沿移动导轨延伸方向，第一浸泡式清洗槽和第二浸泡式清洗槽依次设置。

可选地，第一浸泡式清洗槽、第二浸泡式清洗槽和喷洒式清洗槽中设置有第一过滤器和吸附磁石。

可选地，掩膜板清洗装置还包括蒸馏冷凝装置；

蒸馏冷凝装置的第一端与喷洒式清洗槽中的第一喷嘴头相连，蒸馏冷凝装置的第二端与第一浸泡式清洗槽中的第一过滤器相连。

可选地，喷洒式清洗液清除槽中还设置有第二过滤器；

掩膜板清洗装置还包括蒸馏分离装置，蒸馏分离装置的第一端与喷洒式清洗液清除槽中的第二喷嘴头相连，蒸馏分离装置的第二端与喷洒式清洗液清除槽中的所述第二过滤器相连。

本实用新型提供的掩模版清洗装置，包括至少一个浸泡式清洗槽、至少一个喷洒式清洗槽，并且沿导轨延伸的方向依次设置，待清洗掩模版在浸泡式清洗槽清洗过后，由于漂浮在清洗液表面的异物杂质容易吸附在掩膜板上，在通过喷洒式清洗槽清洗时，通过喷洒的方式对掩膜板进行清洗，利用液体冲刷的作用，提高掩膜板的清洗效果，提高掩膜板异物杂质清洗率。

附图说明

图1是现有技术中掩膜板清洗装置示意图。

图2是本实用新型实施例提供的掩膜板清洗装置示意图。

图3是本实用新型实施例提供的另一种掩膜板清洗装置示意图。

图4是本实用新型实施例提供的又一种掩膜板清洗装置示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部内容。在更加详细地讨论示例性实施例之前应当提到的是，一些示例性实施例被描述成作为流程图描绘的处理或方法。虽然流程图将各项操作(或步骤)描述成顺序的处理，但是其中的许多操作可以被并行地、并发地或者同时实施。此外，各项操作的顺序可以被重新安排。当其操作完成时所述处理可以被终止，但是还可以具有未包括在附图中的附加步骤。所述处理可以对应于方法、函数、规程、子例程、子程序等等。

本实用新型实施例提供的清洗装置包括至少一个浸泡式清洗槽21、至少一个喷洒式清洗槽23、至少一个清洗液清除槽24和烘箱25；掩膜板清洗装置还包括机械手臂31和移动导轨32，机械手臂31沿所述移动导轨32移动；沿移动导轨32延伸方向，浸泡式清洗槽21、喷洒式清洗槽23、清洗液清除槽24和烘箱25依次设置。

示例性的，图2是本实用新型实施例提供的掩膜板清洗装置示意图，如图2所示，至少一个浸泡式清洗槽包括两个浸泡式清洗槽21、至少一个喷洒式清洗槽包括一个喷洒式清洗槽23、至少一个清洗液清除槽包括一个清洗液清除槽24为例进行说明。如图2所示，掩膜板清洗装置还包括机械手臂31和移动导轨32，机械手臂31沿移动导轨32移动；沿移动导轨32延伸方向，浸泡式清洗槽211、浸泡式清洗槽212、喷洒式清洗槽23、清洗液清除槽24和烘箱25依次设置。

本实用新型实施例中，掩膜板30由机械手臂31通过移动导轨32依次经过浸泡式清洗槽211和浸泡式清洗槽212，通过浸泡式清洗槽211和浸泡式清洗槽212进行溶解掩膜板30上的有机膜层，并初步清洗附着在掩膜板30上的杂质。进一步的，由于掩膜板30由机械手臂31插入浸泡式清洗槽211和浸泡式清洗槽212，在掩膜板30取出时，悬浮在浸泡式清洗槽211和浸泡式清洗槽212上的异物杂质很容易吸附在掩膜板30上，所以通过喷洒式清洗槽23，利用清洗液冲刷的作用减少异物杂质在掩膜板30取出时的吸附率，提高了异物杂质的去除率。

可选地，喷洒式清洗槽23中可以设置有多个第一喷嘴头26；

第一喷嘴头26的喷洒速率可调。

示例性的，在喷洒式清洗槽23中设置多个第一喷嘴头26，可以从多个角度各个方面对掩膜板30进行全面杂质清洗，通过不同角度喷洒清洗液，能够充分地清洗掩膜板30的各个区域，尤其能够清洗掩膜板30死角位置，提高清洗效果。进一步的，可以根据掩膜板30的尺寸大小设置第一喷嘴头26的数量，当掩膜板30尺寸较大时，增加第一喷嘴头26的数量，以加快掩膜板30的清洗速率，使第一喷嘴头26的清洗范围能够覆盖较大尺寸的掩膜板30；当掩膜板30尺寸较小时，可以适当减小第一喷嘴头26的数量，避免由于掩膜板30尺寸小，部分第一喷嘴头26冲刷不到掩膜板30的情况，减小成本，节约资源。进一步的，第一喷嘴头26的喷洒速率可调，能够满足不同掩膜板30的洁净要求，当有大量掩膜板30需要清洗时，可以加快第一喷嘴头26的喷洒速率，以达到生产周期要求，提升掩膜板30的清洗效率；当需要清洗的掩膜板30数量较少时，可以适当减慢第一喷嘴头26的喷洒速率，能够更加精细的清洗掩膜板30，提高掩膜板30的清洗效果。同时，第一喷嘴头26的喷洒速率可调，可以满足掩膜板30不同清洗度的要求，例如当掩膜板30的清洁程度要求较高时，可以设置第一喷嘴头26的喷洒速率较快，通过较快的喷洒速率增加对掩膜板30的冲刷效果，保证掩膜板30的清洁程度较高；当掩膜板30的清洁程度要求较低时，可以设置第一喷嘴头26的喷洒速率较慢，较慢的喷洒速率可以节省清洗液，降低清洗成本。

可选地，图3是本实用新型实施例提供的另一种掩膜板清洗装置示意图，如图3所示：掩膜板清洗装置除了包括移动导轨32、机械手臂31、泡式清洗槽211、浸泡式清洗槽212、喷洒式清洗槽23、烘箱25外，可选地，清洗液清除槽包括喷洒式清洗液清除槽34。

由于掩膜板30依次经过浸泡式清洗槽211、浸泡式清洗槽212、喷洒式清洗槽23，掩膜板30表面粘附了大量的清洗液，将清洗液清除槽34设置成喷洒式，增加了清洗液清除槽34中的清洗液清除溶液与掩膜板30表面残留的清洗液的接触面积，并且利用冲刷作用，增加了对清洗液的清除效果，能使清洗液充分的与喷洒式清洗液清除槽34中的清洗液清除溶液接触并去除，提高对清洗液的去除率，并且再次通过喷洒式的冲刷作用除去掩膜板30表面粘附的异物杂质。

可选地，喷洒式清洗液清除槽34中设置有多个第二喷嘴头27；

第二喷嘴头27的喷洒速率可调。

示例性的，在喷洒式清洗液清除槽34中设置多个第二喷嘴头27，可以从多个角度各个方面对掩膜板30上的清洗液进行全面清洗，通过不同角度的喷洒，能够充分的清洗掩膜板30的各个区域，尤其能够清洗掩膜板30死角位置，提高掩膜板30的洁净度，更为有效的去除掩膜板30上附着的清洗液。进一步的，可以根据掩膜板30的尺寸大小设置第二喷嘴头27数量，当掩膜板30尺寸较大时，增加第二喷嘴头27的数量，以加快掩膜板30的清洗速率，使第二喷嘴头27的清洗范围能够覆盖较大尺寸的掩膜板30；当掩膜板30尺寸较小时，可以适当减小第二喷嘴头27的数量，避免由于掩膜板30尺寸小，部分第二喷嘴头27冲刷不到掩膜板30的情况，减小成本节约资源，以适应不同尺寸大小的掩膜板30的清洗工作，增加清洗装置清洗范围。进一步的，第二喷嘴头27喷洒速率可调，能够满足不同掩膜板30的洁净要求，当有大量掩膜板需要清洗时，可以加快第二喷嘴头27的喷洒速率，以达到生产周期要求，提升掩膜板30的清洗效率；当需要清洗的掩膜板30数量较少时，可以适当减慢第二喷嘴头27的喷洒速率，能够更加精细的清洗掩膜板30，提高掩膜板30的清洗效果。同时，第二喷嘴头27的喷洒速率可调，可以满足掩膜板30不同清洗度的要求，例如当掩膜板30的清洁程度要求较高时，可以设置第二喷嘴头27的喷洒速率较快，通过较快的喷洒速率增加对掩膜板30的冲刷效果，保证掩膜板30的清洁程度较高；当掩膜板30的清洁程度要求较低时，可以设置第二喷嘴头27的喷洒速率较慢，较慢的喷洒速率可以节省清洗液，降低清洗成本。

图4是本实用新型实施例提供的又一种掩膜板清洗装置示意图。如图4所示，可选地，烘箱包括风淋式烘箱35。

将烘箱设置成风淋式，通过流动的空气加速掩膜板30上液体的蒸发，提高了烘干的效率，并且利用风的动能还能带走更多异物杂质，减少异物杂质在掩膜板30上的附着率，提高掩膜板30的清洗效果和良品率。

可选地，风淋式烘箱35中设置有多个出风口28；

出风口28的出风速率可调。

示例性的，在风淋式烘箱35中设置多个出风口28在风淋式烘箱35中，从不同方向各个角度对掩膜板30进行全面烘干，通过不同角度的吹风，能够充分的清洗掩膜板30的各个区域，尤其能够清洗掩膜板30死角位置，提高掩膜板30的洁净度，更为有效的去除掩膜板30上附着的清洗液清洗溶剂。达到去除清洗液清除溶液的目的，提升烘干效率，同时增加清洗装置的使用范围。进一步的，可以根据掩膜板30的尺寸大小设置出风口28数量，当掩膜板30尺寸较大时，增加出风口28的数量，以加快掩膜板30的烘干速率，使出风口28的烘干范围能够覆盖较大尺寸的掩膜板30；当掩膜板30尺寸较小时，可以适当减小出风口28的数量，避免由于掩膜板30尺寸小，部分出风口28吹不到掩膜板30的情况，减小成本节约资源，以适应不同尺寸大小的掩膜板30的公烘干工作，增加清洗装置烘干范围。进一步的，出风口28风速可调，能够满足了不同掩膜板30对烘干的要求，当有数量较大的掩膜板30需要清洗时，提升出风口28的吹风速率，以加快掩膜板30的烘干速率；当需要清洗的掩膜板30数量较少时，可以适当减慢出风口28的速率，以达到精细清洗的目的。

可选地，继续参考图2、图3和图4所示，本实用新型实施例中，至少一个浸泡式清洗槽包括第一浸泡式清洗槽211和第二浸泡式清洗槽212；

沿移动导轨32延伸方向，第一浸泡式清洗槽211和第二浸泡式清洗槽212依次设置。

本实用新型实施例以两个浸泡式清洗槽为例，掩膜板30由机械手臂31通过移动导轨32依次经过第一浸泡式清洗槽211和第二浸泡式清洗槽212，其中，第一浸泡式清洗槽211和第二浸泡式清洗槽212中盛放的均是有机清洗溶剂，例如环己酮，用来溶解掩膜板30上附着的有机膜层。当掩膜板30从第二浸泡式清洗槽212中取出后，由喷洒式清洗槽23进行清洗，喷洒式清洗槽23中的有机清洗溶剂与第一浸泡式清洗槽211和第二浸泡式清洗槽212中盛放的有机清洗溶剂相同，其中清洗槽药液洁净程度为喷洒式清洗槽23>第二浸泡式清洗槽212>第一浸泡式清洗槽211。

可选地，继续参考图2、图3和图4所示，本实用新型实施例中，第一浸泡式清洗槽211、第二浸泡式清洗槽212和喷洒式清洗槽23中设置有第一过滤器41和吸附磁石(图中未出示)。

对第一浸泡式清洗槽211、第二浸泡式清洗槽212和喷洒式清洗槽23设置第一过滤器41，用来过滤较大的杂质颗粒，并加装吸附磁石来吸附金属类的异物杂质，避免由于掩膜板30上吸附异物杂质，使得产品在蒸镀的过程中薄膜封装不良等问题，提高清洗装置的清洗效果，提升清洗装置的清洗效率。

可选地，继续参考图2、图3和图4所示，本实用新型实施例中，掩膜板清洗装置还包括蒸馏冷凝装置43；

蒸馏冷凝装置43的第一端与喷洒式清洗槽23中的第一喷嘴头26相连，蒸馏冷凝装置43的第二端与第一浸泡式清洗槽211中的第一过滤器41相连。

设置蒸馏冷凝装置43可以使第一浸泡式清洗槽211、第二浸泡式清洗槽212和喷洒式清洗槽23中的有机清洗溶剂依次由喷洒式清洗槽23→第二浸泡式清洗槽212→第一浸泡式清洗槽211→蒸馏冷凝装置43→喷洒式清洗槽23的方向循环利用。并且蒸馏冷凝装置43自动排出脏液和废液，同时利用补液装置45像蒸馏冷凝装置43中补充有机清洗溶剂。

可选地，继续参考图2、图3和图4所示，本实用新型实施例中，喷洒式清洗液清除槽34中还设置有第二过滤器42；

掩膜板清洗装置还包括蒸馏分离装置44，蒸馏分离装置44的第一端与喷洒式清洗液清除槽34中的第二喷嘴头27相连，蒸馏分离装置44的第二端与喷洒式清洗液清除槽34中的第二过滤器42相连

喷洒式清洗液清除槽34中盛放的是易挥发溶剂，例如氢氟醚，用来溶解掩膜板30上的有机清洗溶剂，将溶解有机清洗溶剂的易挥发混合溶剂通过蒸馏分离装置44蒸馏分离，实现易挥发溶剂的循环使用，同时也将有机清洗溶剂分离出来，进行废液处理或再次蒸馏循环到第一浸泡式清洗槽211中循环使用，节约了生产成本。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种掩膜板清洗装置，其特征在于，包括至少一个浸泡式清洗槽、至少一个喷洒式清洗槽、至少一个清洗液清除槽和烘箱：

所述掩膜板清洗装置还包括机械手臂和移动导轨，所述机械手臂沿所述移动导轨移动；

沿所述移动导轨延伸方向，所述浸泡式清洗槽、所述喷洒式清洗槽、所述清洗液清除槽和所述烘箱依次设置。

2.根据权利要求1所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述喷洒式清洗槽中设置有多个第一喷嘴头；

所述第一喷嘴头的喷洒速率可调。

3.根据权利要求1所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述清洗液清除槽包括喷洒式清洗液清除槽。

4.根据权利要求3所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述喷洒式清洗液清除槽中设置有多个第二喷嘴头；

所述第二喷嘴头的喷洒速率可调。

5.根据权利要求1所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述烘箱包括风淋式烘箱。

6.根据权利要求5所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述风淋式烘箱中设置有多个出风口；

所述出风口的出风速率可调。

7.根据权利要求2所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，至少一个浸泡式清洗槽包括第一浸泡式清洗槽和第二浸泡式清洗槽；

沿所述移动导轨延伸方向，所述第一浸泡式清洗槽和所述第二浸泡式清洗槽依次设置。

8.根据权利要求7所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述第一浸泡式清洗槽、所述第二浸泡式清洗槽和所述喷洒式清洗槽中设置有第一过滤器和吸附磁石。

9.根据权利要求8所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述掩膜板清洗装置还包括蒸馏冷凝装置；

所述蒸馏冷凝装置的第一端与所述喷洒式清洗槽中的第一喷嘴头相连，所述蒸馏冷凝装置的第二端与所述第一浸泡式清洗槽中的所述第一过滤器相连。

10.根据权利要求4所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述喷洒式清洗液清除槽中还设置有第二过滤器；

所述掩膜板清洗装置还包括蒸馏分离装置，所述蒸馏分离装置的第一端与所述喷洒式清洗液清除槽中的所述第二喷嘴头相连，所述蒸馏分离装置的第二端与所述喷洒式清洗液清除槽中的所述第二过滤器相连。

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