CN210229640U

CN210229640U - 一种过滤器

Info

Publication number: CN210229640U
Application number: CN201920904706.9U
Authority: CN
Inventors: Jiandong Jia; 贾建东; Jiangming Guo; 郭江明; Zhe Pan; 潘哲; Wenjing Ke; 柯文静
Original assignee: Hangzhou Cobetter Filtration Equipment Co Ltd
Current assignee: Hangzhou Cobetter Filtration Equipment Co Ltd
Priority date: 2019-06-17
Filing date: 2019-06-17
Publication date: 2020-04-03
Anticipated expiration: 2029-06-17

Abstract

本实用新型涉及一种过滤器，其包括：外壳和滤芯，外壳包括上端盖部，筒体和下端盖部，所述的上端盖部和下端盖部分别位于筒体的上端和下端，所述的上端盖部包括位于两端的流体入口和流体出口及位于内部中心的隔离管，所述的滤芯和隔离管的端部固定；所述的隔离管的外周与上端盖部的边缘间的环形区域被隔离管的正对流体入口一侧的外壁的切面分为区域一和区域二，所述的区域一位于切面与流体入口之间，所述的区域二位于切面与流体出口之间，所述的区域二内设有一上游排气口。由于上游排气口位于区域二内，远离流体入口，进料流体经流体入口流入到达上游排气口附近时，流速大幅减小，因而其中夹带的气泡能够顺利从上游排气口排出。

Description

一种过滤器

技术领域

本实用新型涉及过滤技术领域，特别是一种可快速上游排气的过滤器。

背景技术

H₃PO₄，H₂SO₄,HNO₃,HCl，H₂O₂，NH₄OH，NH₄F等流体常用于半导体制造的刻蚀工艺中，上述流体在使用前必须过滤、净化后才能被供应至刻蚀制程。由于上述流体均为易起泡物质，而气泡随洁净流体到达下游的刻蚀工艺，会造成产品缺陷，因此在上述流体的过滤过程中，必须考虑气泡的排除。附图1-2为常用的一种用于过滤上述流体的过滤器，该过滤器包括上壳1，筒体2、下壳3和滤芯4，上壳1包括流体入口11，流体出口12，上游排气口14和下游排气口15，滤芯4包括滤膜，其中，上游排气口14在靠近流体入口11处设置，用于排出进料流体中夹带的气泡，下游排气口15与滤芯4的中心流体连通，用于排出洁净滤液中夹带的少量气体，实现上下游排气。

但是，该过滤器的上游排气口14紧挨着流体入口11设置，进料流体由流体入口11流入过滤器的内部，由于进料流体刚刚由流体入口11流入，此时仍然具有很高的流速，高流速使进料流体中夹带的气泡不能及时向上游排气口14聚集，因而进料流体中夹带的气泡不能及时通过上游排气口14排出。进料流体向下进入滤芯4的外部和筒体3的内壁间的空间，其中夹带的未及时排出的气泡在滤膜的上游侧积累形成一堵墙，进而产生气锁现象，使得进料液体无法通过，且气泡聚集在滤膜表面使得滤膜的实际过滤面积减小，两种因素叠加导致过滤器的过滤速率及过滤效率均下降。

因此，需要对该过滤器的上游排气口的位置做进一步的改进，以改善过滤器的上游排气效果。

实用新型内容

本实用新型所要达到的目的是提供一种能够实现快速上游排气的过滤器，解决现有的过滤器的气锁问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种过滤器，包括：外壳和滤芯，外壳包括上端盖部，筒体和下端盖部，所述的上端盖部和下端盖部分别位于筒体的上端和下端，所述的上端盖部包括位于两端的流体入口和流体出口及位于内部中心的隔离管，所述的滤芯和隔离管的端部固定，进而所述的滤芯的中心流道与隔离管的内部流道连通；所述的隔离管的外周与上端盖部的边缘存在一环形区域，所述的环形区域被隔离管的正对流体入口一侧的外壁的切面分为区域一和区域二，所述的区域一位于切面与流体入口之间，所述的区域二位于切面与流体出口之间，所述的区域二内设有一上游排气口。

如附图1所示，当上游排气口紧挨着流体入口设置时，进料流体由流体入口流入过滤器的内部，由于进料流体刚刚由流体入口流入，此时仍然具有很高的流速，高流速使进料流体中夹带的气泡不能及时向上游排气口聚集，因而进料流体中夹带的气泡不能及时排出。进料流体向下进入滤芯的外部和筒体的内壁间的空间，其中夹带的未及时排出的气泡在滤膜的上游侧积累形成一堵墙，进而产生气锁现象，使得进料液体无法通过，且气泡聚集在滤膜表面使得滤膜的实际过滤面积减小，两种因素叠加导致过滤器的过滤速率及过滤效率均下降。

本实用新型将上端盖部的上游排气口设在区域二内，远离流体入口，进料流体经流体入口流入到达上游排气口附近时，流速大幅减小，因而其中夹带的气泡能够顺利从上游排气口排出。另外，由于流体到达区域二时流速低，所以气体倾向于向区域二聚集，可以在停止进液的时候，再打开位于区域二的上游排气口，气体就能快速地排出。

进一步地，从所述的流体入口的起始位置处的内壁作隔离管的外壁的两条切线，所述的两条切线与隔离管的外壁的两个交点为两个切点，所述的上游排气口设在通过两个切点的上端盖部的垂面与流体出口之间。

进一步地，所述的上游排气口靠近上端盖部的边缘设置。

进一步地，所述的流体出口起始于所述的隔离管的外壁，轴向延伸并突出于所述的上端盖部，所述的上游排气口设在流体出口附近且位于流体出口的投影以外的区域。

进一步地，所述的上游排气口的数目为多个。

进一步地，所述的上端盖部还包括一下游排气口，所述的下游排气口位于所述的上端盖部的上方，并与所述的隔离管的内部流体连通。

进料流体经滤膜过滤，污染物被去除后，洁净滤液进入滤芯的内部，洁净滤液中夹带气泡，则气泡上升经隔离管到达下游排气口并排出。当上端盖部不具备下游排气口时，洁净滤液中夹带的少量气泡可能随洁净滤液一起到达下游工艺，进而造成产品缺陷。

本实用新型提供的过滤器的上端盖部包括一个位于上端盖部上方的下游排气口，该下游排气口与隔离管的内部及滤芯的中心流体连通。当到达滤芯的中心的洁净滤液夹带有气泡时，气泡上升到达隔离管内部，最终由下游排气口排出。因此，本实用新型提供的过滤器能够实现上游排气和下游排气。

进一步地，所述的隔离管通过其侧壁的一个通孔与流体出口连通，以便排出洁净滤液。

进一步地，所述的滤芯的上端通过焊接固定于隔离管。

进一步地，所述的滤芯的上端具有接口，所述的接口焊接固定于隔离管，进而使得滤芯的中心流道与隔离管的内部流道连通，所述的滤芯的下端封闭。

进一步地，所述的下端盖部与筒体为一体式结构，或者，所述的下端盖部通过焊接固定于筒体的下端。

本实用新型中，过滤器的上端盖部的上游排气口设在隔离管的正对流体入口一侧的外壁的切面与流体出口之间的区域二内，该上游排气口远离流体入口，进料流体经流体入口流入到达上游排气口附近时，流速大幅减小，其中夹带的气泡能够顺利从上游排气口排出。该过滤器解决了现有的过滤器由于上游排气口紧挨流体入口设置，导致的气锁问题，实现了快速上游排气。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为现有技术的一种过滤器的剖视图；

图2为对应图1的过滤器的俯视图；

图3为本实用新型的实施例一提供的一种过滤器的轴侧图；

图4为对应图3的过滤器的剖视图；

图5为对应图3的过滤器的上端盖部的仰视图；

图6为对应图3的上端盖部的剖视图；

图7为本实用新型提供的实施例二提供的第二种上端盖部的俯视图；

图8为对应图7的上端盖部的仰视图；

图9本实用新型提供的实施例三提供的第三种上端盖部的轴侧图；

图10为对应图9的上端盖部的仰视图；

图1-10中，1-上端盖部，100-区域一，101-区域二，11-流体入口，12-流体出口，13-隔离管，14-上游排气口，15-下游排气口，16-通孔，2-筒体，3-下端盖部，4-滤芯，41-接口，5-外壳。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

如图3-6所示，本实用新型的实施例一提供的一种过滤器，其包括外壳5和滤芯4，外壳5包括上端盖部1，筒体2和下端盖部3，上端盖部1和下端盖部3分别位于于筒体2的上端和下端，上端盖部1包括位于两端的流体入口11和流体出口12及位于内部中心的隔离管13，滤芯4和隔离管13的端部固定，进而滤芯4的中心流道与隔离管13的内部流道连通；隔离管13的外周与上端盖部1的边缘存在一环形区域，环形区域被隔离管13的正对流体入口11一侧的外壁的切面分为区域一100和区域二101，区域一100位于切面与流体入口11之间，区域二101位于切面与流体出口12之间，区域二101内设有一上游排气口14。

更进一步地，从流体入口11的起始位置处的内壁作隔离管13的外壁的两条切线，该两条切线与隔离管13的外壁的两个交点为两个切点，上游排气口14设在通过该两个切点的上端盖部1的垂面与流体出口12之间。

具体地，如图5所示，上游排气口14设在前述的垂面与流体出口12之间，并靠近上端盖部1的边缘，即上游排气口14的中心位于隔离管13的外周与上端盖部1的边缘间的环形区域的中心线的外侧。

或者，上游排气口14也可部分位于前述的垂面与流体入口11之间，并且上游排气口14靠近上端盖部1的边缘，即上游排气口14的中心位于隔离管13的外周与上端盖部1的边缘间的环形区域的中心线的外侧。

由于上端盖部1的上游排气口14设在区域二101内，远离流体入口11，进料流体经流体入口11流入到达上游排气口14附近时，流速大幅减小，其中夹带的气泡能够顺利从上游排气口14排出。另外，由于流体到达区域二101时流速低，所以气体倾向于向区域二101聚集，可以在停止进液的时候，再打开位于区域二101的上游排气口14，气体就能快速地排出。

此外，上端盖部1还包括下游排气口15，下游排气口15位于上端盖部1的上方，与隔离管13的内部流道连通。

流体出口12起始于隔离管13的外壁，轴向延伸并突出于上端盖部1，隔离管13通过其侧壁的一个通孔16与流体出口12连通，以排出洁净的滤液。

滤芯4的上端通过焊接固定于隔离管13。滤芯4的上端具有接口41，接口41焊接固定于隔离管13，进而使得滤芯4的中心流道与隔离管13的内部流道连通，滤芯4的下端封闭。进入滤芯4的中心流道的洁净滤液上升至接口41，再经隔离管13的侧壁上的通孔16流向流体出口12，并排出过滤器。

由于隔离管13的内部流道与滤芯4的中心流道及下游排气口15形成流体连通，进料流体经滤膜过滤，污染物被去除后，洁净滤液进入滤芯4的中心流道，洁净滤液中夹带气泡上升经滤芯4的接口41及隔离管13到达下游排气口15并排出。

如附图7-8所示，本实用新型提供的第二种上端盖部1，其包括位于两端的流体入口11，流体出口12及位于内部中心的隔离管13，隔离管13的外周与上端盖部1的边缘存在一环形区域，该环形区域被隔离管13的正对流体入口11一侧的外壁的切面分为区域一100和区域二101，区域一100位于切面与流体入口11之间，区域二101位于切面与流体出口12之间，区域二101内设有一上游排气口14。

更具体地，如图8所示，流体出口12起始于隔离管13的外壁，轴向延伸并突出于上端盖部1，上游排气口14设在流体出口12附近且位于流体出口12的投影以外的区域。并且，上游排气口14靠近上端盖部1的边缘，即上游排气口14的中心位于隔离管13的外周与上端盖部1的边缘间的环形区域的中心线的外侧。上游排气口14设在流体出口12附近指的是上游排气口14的中心与上端盖部1的中心的连线与流体出口12的轴线间的夹角接近0°，且为避免洁净滤从上游排气口14冲出，将上游排气口14设在流体出口12的投影以外的区域。上游排气口14设在流体出口12的投影以外的区域具体指在上端盖部1的仰视图中，流体出口12的外周与上游排气口14相离。

该上端盖部1还包括下游排气口15，下游排气口15位于上端盖部1的上方，并与隔离管13的内部流道连通。

隔离管13通过其侧壁的一个通孔16与流体出口12连通。

同样地，该第二种上端盖部1与实施例一提供的筒体2，下端盖部3和滤芯4形成对应的固定连接，最终形成完整的过滤器。显而易见地，该过滤器能够实现快速上游排气和下游排气。

如附图9-10所示，本实用新型提供第三种上端盖部1，其包括位于两端的流体入口11，流体出口12及位于内部中心的隔离管13。此外，该上端盖部1同时具有如实施例一和实施例二所述的上游排气口14。

隔离管13通过其侧壁的一个通孔16与流体出口12连通。

同样地，该第三种上端盖部1与实施例一提供的筒体2，下端盖部3和滤芯4形成对应的固定连接，最终形成完整的过滤器。显而易见地，该过滤器能够实现快速上游排气和下游排气。

以上已详细描述了本实用新型的较佳实施例，但应理解，在阅读了本实用新型的上述讲授内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改。这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

Claims

1.一种过滤器，包括：外壳和滤芯，外壳包括上端盖部，筒体和下端盖部，所述的上端盖部和下端盖部分别位于于筒体的上端和下端，所述的上端盖部包括位于两端的流体入口和流体出口及位于内部中心的隔离管，所述的滤芯和隔离管的端部固定，进而所述的滤芯的中心流道与隔离管的内部流道连通；其特征在于，所述的隔离管的外周与上端盖部的边缘存在一环形区域，所述的环形区域被隔离管的正对流体入口一侧的外壁的切面分为区域一和区域二，所述的区域一位于切面与流体入口之间，所述的区域二位于切面与流体出口之间，所述的区域二内设有一上游排气口。

2.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，从所述的流体入口的起始位置处的内壁作隔离管的外壁的两条切线，所述的两条切线与隔离管的外壁的两个交点为两个切点，所述的上游排气口设在通过两个切点的上端盖部的垂面与流体出口之间。

3.根据权利要求2所述的过滤器，其特征在于，所述的上游排气口靠近上端盖部的边缘设置。

4.根据权利要求2所述的过滤器，其特征在于，所述的流体出口起始于所述的隔离管的外壁，轴向延伸并突出于所述的上端盖部，所述的上游排气口设在流体出口附近且位于流体出口的投影以外的区域。

5.根据权利要求3或4所述的过滤器，其特征在于，所述的上游排气口的数目为多个。

6.根据权利要求2或3或4所述的过滤器，其特征在于，所述的上端盖部还包括一下游排气口，所述的下游排气口位于所述的上端盖部的上方，并与所述的隔离管的内部流道连通。

7.根据权利要求6所述的过滤器，其特征在于，所述的隔离管通过其侧壁的一个通孔与流体出口连通，以便排出洁净滤液。

8.根据权利要求7所述的过滤器，其特征在于，所述的滤芯的上端通过焊接固定于隔离管。

9.根据权利要求8所述的过滤器，其特征在于，所述的滤芯的上端具有接口，所述的接口焊接固定于隔离管，进而使得滤芯的中心流道与隔离管的内部流道连通，所述的滤芯的下端封闭。

10.根据权利要求9所述的过滤器，其特征在于，所述的下端盖部与筒体为一体式结构，或者，所述的下端盖部通过焊接固定于筒体的下端。