CN210222484U - 一种旋转显定影装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种旋转显定影装置，涉及半导体晶圆加工领域，针对现有的晶圆不能与显影液或定影液充分接触的问题，现提出如下方案，其包括驱动电机，所述驱动电机顶部设有联轴器，所述联轴器与驱动电机传动连接，所述联轴器顶部设有平面轴承，所述平面轴承顶部设有旋转托盘，所述旋转托盘顶部表面设有溶液缸体。通过设有驱动电机和溶液缸体，在溶液缸体内装显影液或定影液，将晶圆插入载片盒，驱动电机工作转动，依次带动联轴器、平面轴承、旋转托盘和溶液缸体转动，从而带动溶液缸体内部的显影液或定影液移动，增加显影液或定影液与晶圆的接触机会和接触压力，使晶圆与显影液或定影液充分接触，从而提高了显定影效果。

Description

一种旋转显定影装置

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆加工领域，尤其涉及一种旋转显定影装置。

背景技术

目前台面半导体芯片的光刻工序中，在曝光后的显影工序一般把晶圆放入载片盒，人工或机械方式操作载片盒，使载片盒带动晶圆上下或前后扰动的显影，使用显影液或定影液清洗漂洗去除晶圆上的未曝光的光刻胶区域。由于载片盒的需要固定晶圆的结构设计限制，晶圆在上下或前后扰动过程中，晶圆边缘无数次碰撞，在显定影工序及后工序造成晶圆碎片及隐裂。另外，在载片盒与晶圆接触部分，仅仅上下或前后扰动，显影液或定影液不能充分清洗漂洗，使得晶圆上固定位置的外观缺陷、良率低，因此，发明一种旋转显定影装置很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种旋转显定影装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种旋转显定影装置，包括驱动电机，所述驱动电机顶部设有联轴器，所述联轴器与驱动电机传动连接，所述联轴器顶部设有平面轴承，所述平面轴承顶部设有旋转托盘，所述旋转托盘顶部表面设有溶液缸体，所述溶液缸体顶部设有载片盒挂架，所述载片盒挂架与溶液缸体之间设有载片盒，所述载片盒挂架顶部设有移动座。

优选的，所述平面轴承与联轴器螺纹连接，所述平面轴承外侧设有稳定板，所述稳定板外侧设有定位螺栓，所述定位螺栓贯穿稳定板与旋转托盘螺纹连接。

优选的，所述旋转托盘底部表面设有卡接槽，所述卡接槽与平面轴承顶部表面卡接，所述旋转托盘两侧固定设有侧板，所述侧板内侧设有推板，所述侧板与推板之间均匀设有电动推杆。

优选的，所述溶液缸体顶部一端设有转动杆，所述转动杆与溶液缸体铰接，所述转动杆外侧固定设有顶盖。

优选的，所述载片盒挂架与载片盒之间设有连接杆，所述载片盒内部均匀设有插孔，所述插孔内部插接有晶圆。

优选的，所述移动座与载片盒挂架之间均匀设有液压升降杆，所述移动座部外侧连接有驱动机构。

本实用新型的有益效果为：通过设有驱动电机和溶液缸体，在溶液缸体内装显影液或定影液，将晶圆插入载片盒，驱动电机工作转动，依次带动联轴器、平面轴承、旋转托盘和溶液缸体转动，从而带动溶液缸体内部的显影液或定影液移动，增加显影液或定影液与晶圆的的接触机会和接触压力，使晶圆与显影液或定影液充分接触，从而提高了显定影效果，避免了圆晶上固定位置外观缺陷、良率低的情况发生；

通过设有外设的载片盒挂架和顶盖，不仅方便载片盒悬挂，而且适合不同尺寸的载片盒，溶液缸体与包括驱动电机、联轴器、平面轴承、和旋转托盘组成的装置可以进行简单快速的分离，方便溶液缸体的清洁与更换溶液，在不使用时，取走载片盒挂架及其底部连接的载片盒，溶液缸体上加上顶盖，防止溶液挥发，节约使用，在本实用新型结构简单，成本低，显影定影充分，晶圆不易碎，应用广泛；

通过设有稳定板和侧板，安装时将旋转托盘卡在平面轴承顶部后，稳定板由外侧的定位螺栓与旋转托盘底部连接，使旋转托盘和平面轴承更加牢固的连接在一起，将溶液缸体放置在旋转托盘表面后，电动推杆推动推板由两侧将溶液缸体的位置进行限定，避免工作过程中溶液缸体由旋转托盘表面掉落的情况发生。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的旋转托盘结构示意图；

图中标号：1驱动电机、2联轴器、3平面轴承、31稳定板、4旋转托盘、41卡接槽、42侧板、43推板、44电动推杆、5溶液缸体、51转动杆、52顶盖、6载片盒挂架、61连接杆、7载片盒、8移动座、81液压升降杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-2所示的一种旋转显定影装置，包括驱动电机1，所述驱动电机1顶部设有联轴器2，所述联轴器2与驱动电机1传动连接，所述联轴器2顶部设有平面轴承3，所述平面轴承3顶部设有旋转托盘4，所述旋转托盘4顶部表面设有溶液缸体5，所述溶液缸体5顶部设有载片盒挂架6，所述载片盒挂架6与溶液缸体5之间设有载片盒7，所述载片盒挂架6顶部设有移动座8。

所述平面轴承3与联轴器2螺纹连接，所述平面轴承3外侧设有稳定板31，所述稳定板31外侧设有定位螺栓，所述定位螺栓贯穿稳定板31与旋转托盘4螺纹连接，稳定板31由外侧的定位螺栓与旋转托盘4底部连接，使旋转托盘4和平面轴承3更加牢固的连接在一起。

所述旋转托盘4底部表面设有卡接槽41，所述卡接槽41与平面轴承3顶部表面卡接，所述旋转托盘4两侧固定设有侧板42，所述侧板42内侧设有推板43，所述侧板42与推板43之间均匀设有电动推杆44，电动推杆44推动推板43由两侧将溶液缸体5的位置进行限定，避免工作过程中溶液缸体5由旋转托盘4表面掉落的情况发生。

所述溶液缸体5顶部一端设有转动杆51，所述转动杆51与溶液缸体5铰接，所述转动杆51外侧固定设有顶盖52，在不使用时，取走载片盒挂架6及其底部连接的载片盒7，溶液缸体5上加上顶盖52，防止溶液挥发，节约使用。

所述载片盒挂架6与载片盒7之间设有连接杆61，所述载片盒7内部均匀设有插孔，所述插孔内部插接有晶圆，将晶圆插入载片盒7内后放置在溶液缸体5内部与显影液或定影液接触。

所述移动座8与载片盒挂架6之间均匀设有液压升降杆81，所述移动座8顶部外侧连接有驱动机构，液压升降杆81可以推动载片盒挂架6升降移动，多个移动座8分别连接驱动机构，底部安装载片盒挂架6后可以实现生产线工作流程，进行大规模的圆晶加工工作。

工作原理：

参照说明书附图1：安装时将旋转托盘4卡在平面轴承3顶部后，稳定板31由外侧的定位螺栓与旋转托盘4底部连接，使旋转托盘4和平面轴承3更加牢固的连接在一起，将溶液缸体5放置在旋转托盘4表面后，电动推杆44推动推板43由两侧将溶液缸体5的位置进行限定；

参照说明书附图1和图2：在溶液缸体5内装显影液或定影液，将晶圆插入载片盒7，驱动电机1工作转动，依次带动联轴器2、平面轴承3、旋转托盘4和溶液缸体5转动，从而带动溶液缸体5内部的显影液或定影液移动，增加显影液或定影液与晶圆的的接触机会和接触压力，使晶圆与显影液或定影液充分接触，从而提高了显定影效果；

参照说明书附图1：在不使用时，取走载片盒挂架6及其底部连接的载片盒7，溶液缸体5上加上顶盖52，防止溶液挥发，节约使用。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种旋转显定影装置，包括驱动电机(1)，其特征在于，所述驱动电机(1)顶部设有联轴器(2)，所述联轴器(2)与驱动电机(1)传动连接，所述联轴器(2)顶部设有平面轴承(3)，所述平面轴承(3)顶部设有旋转托盘(4)，所述旋转托盘(4)顶部表面设有溶液缸体(5)，所述溶液缸体(5)顶部设有载片盒挂架(6)，所述载片盒挂架(6)与溶液缸体(5)之间设有载片盒(7)，所述载片盒挂架(6)顶部设有移动座(8)。

2.根据权利要求1所述的一种旋转显定影装置，其特征在于，所述平面轴承(3)与联轴器(2)螺纹连接，所述平面轴承(3)外侧设有稳定板(31)，所述稳定板(31)外侧设有定位螺栓，所述定位螺栓贯穿稳定板(31)与旋转托盘(4)螺纹连接。

3.根据权利要求1所述的一种旋转显定影装置，其特征在于，所述旋转托盘(4)底部表面设有卡接槽(41)，所述卡接槽(41)与平面轴承(3)顶部表面卡接，所述旋转托盘(4)两侧固定设有侧板(42)，所述侧板(42)内侧设有推板(43)，所述侧板(42)与推板(43)之间均匀设有电动推杆(44)。

4.根据权利要求1所述的一种旋转显定影装置，其特征在于，所述溶液缸体(5)顶部一端设有转动杆(51)，所述转动杆(51)与溶液缸体(5)铰接，所述转动杆(51)外侧固定设有顶盖(52)。

5.根据权利要求1所述的一种旋转显定影装置，其特征在于，所述载片盒挂架(6)与载片盒(7)之间设有连接杆(61)，所述载片盒(7)内部均匀设有插孔，所述插孔内部插接有晶圆。

6.根据权利要求1所述的一种旋转显定影装置，其特征在于，所述移动座(8)与载片盒挂架(6)之间均匀设有液压升降杆(81)，所述移动座(8)顶部外侧连接有驱动机构。

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