CN210209952U - 一种单电机驱动的粗抛光机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单电机驱动的粗抛光机，包括抛光机壳、布置在抛光机壳正下方的抛光底座以及用于连接抛光机壳和抛光底座的支架，抛光底座的内部开设有上端开口的空腔，空腔中心转动安装有抛光垫；抛光机壳的底部安装有内部设有内腔的支撑箱，支撑箱的内部周向布置有多个可上下滑动的支杆，多个支杆的上端通过连接盘连接；支杆的下端转动安装有底杆，底杆的下端贯穿支撑箱并安装有晶圆载体。本实用新型抛光垫在转动的过程中，晶圆载体也同时转动，抛光效果良好；本实用新型在中心轴转动的过程中带动底杆同时转动，单个电机即可同时带动抛光垫和晶圆载体转动。
Description
技术领域
本实用新型属于抛光机技术领域，具体涉及一种单电机驱动的粗抛光机。
背景技术
科学技术的发展不断推动着半导体的发展，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆在生产过程中，需要对其进行抛光。
普通抛光机，若想同时对多个晶圆进行抛光需要多个电机带动，生产成本高，且需要安装多个控制器控制，工件不易安装，安装效率低，为此，急需一种能够解决上述问题的晶圆用抛光机。
实用新型内容
针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种单电机驱动的粗抛光机，可实现单个电机驱动的抛光机。
为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种单电机驱动的粗抛光机，包括抛光机壳、布置在抛光机壳正下方的抛光底座以及用于连接抛光机壳和抛光底座的支架，所述抛光底座的内部开设有上端开口的空腔，所述空腔中心转动安装有抛光垫，所述抛光垫的中部安装有中心轴，中心轴的上端连接至抛光机壳，所述抛光机壳中安装有用于驱动中心轴转动的电机；
所述抛光机壳的底部安装有内部设有内腔的支撑箱，所述支撑箱的内部周向布置有多个可上下滑动的支杆，多个所述支杆的上端通过连接盘连接；所述支杆的下端转动安装有底杆，所述底杆的下端贯穿支撑箱并安装有晶圆载体，所述晶圆载体的底面抵紧在抛光垫上，所述晶圆载体的底面内部安装有固定工装，所述支撑箱的内腔底部安装有用于驱动底杆转动的驱动装置。
优选地，所述底杆的上端安装有外齿轮，所述支杆的下端延伸至外齿轮的内部并安装有轴承。
优选地，所述驱动装置包括固定套接在中心轴外部的内齿轮，所述内齿轮的外部周向啮合有多个连接齿轮，所述连接齿轮与对应外齿轮一一啮合。
优选地，所述连接齿轮的厚度大于外齿轮厚度。
优选地，所述抛光机壳的底部竖直安装有油缸，所述油缸输出端安装在连接盘上。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：
(1)、本实用新型抛光垫在转动的过程中，晶圆载体也同时转动，抛光效果良好；
(2)、本实用新型通过驱动装置将中心轴与底杆连接，可实现在中心轴转动的过程中带动底杆同时转动，单个电机即可同时带动抛光垫和晶圆载体转动。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的内部剖视图；
图3为本实用新型图2中A-A处剖视图；
图4为本实用新型固定工装结构示意图。
附图标记说明：
1、抛光机壳，2、支撑箱，3、底杆，4、晶圆载体，5、抛光垫，6、抛光底座，7、支架，8、油缸，9、连接盘，10、支杆，11、连接齿轮，12、轴承，13、外齿轮，14、中心轴，15、固定工装，16、内齿轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1至图4所示，一种单电机驱动的粗抛光机，包括抛光机壳1、布置在抛光机壳1正下方的抛光底座6以及用于连接抛光机壳1和抛光底座6的支架7，所述抛光底座6的内部开设有上端开口的空腔，所述空腔中心转动安装有抛光垫5，抛光垫5布置在空腔中，可实现抛光后的粉尘不会掉落至外部，所述抛光垫5的中部安装有中心轴14，中心轴14的上端连接至抛光机壳1，所述抛光机壳1中安装有用于驱动中心轴14转动的电机，电机可通过中心轴14带动抛光垫5转动；
所述抛光机壳1的底部安装有内部设有内腔的支撑箱2，所述支撑箱2的内部周向布置有多个可上下滑动的支杆10，多个所述支杆10的上端通过连接盘9连接，所述抛光机壳1的底部竖直安装有油缸8，所述油缸8输出端安装在连接盘9上，油缸8的伸长与缩短可通过连接盘9同时带动多个支杆10上下滑动；所述支杆10的下端转动安装有底杆3，所述底杆3的上端安装有外齿轮13，所述支杆10的下端延伸至外齿轮13的内部并安装有轴承12，所述底杆3的下端贯穿支撑箱2并安装有晶圆载体4，所述晶圆载体4的底面抵紧在抛光垫5上，晶圆载体4和抛光垫5相对转动，可实现抛光效果更好，所述晶圆载体4的底面内部安装有固定工装15，晶圆可安装在固定工装15内，每个固定工装15的内部可周向安装有多个晶圆，所述支撑箱2的内腔底部安装有用于驱动底杆3转动的驱动装置，所述驱动装置包括固定套接在中心轴14外部的内齿轮16，所述内齿轮16的外部周向啮合有多个连接齿轮11，所述连接齿轮11与对应外齿轮13一一啮合，电机带动中心轴14转动的同时，可通过连接齿轮11和外齿轮13带动底杆3转动，所述连接齿轮11的厚度大于外齿轮13厚度，可保证外齿轮13在上下滑动的同时，不会与连接齿轮11脱离啮合。
使用时，油缸8带动连接盘9向上滑动，连接盘9同时带动多个支杆10向上滑动，支杆10带动外齿轮13、底杆3和晶圆载体4向上移动，连接齿轮11的厚度较厚，可实现连接齿轮11与外齿轮13不会脱离啮合，令晶圆载体4与抛光垫5分离后将装有晶圆的固定工装15安装在晶圆载体4的内部，安装完成后，油缸8输出杆伸长，带动晶圆载体4和晶圆紧贴抛光垫5的上表面，启动电机，电机带动中心轴14转动，中心轴14带动抛光垫5转动，中心轴14带动内齿轮16转动，内齿轮16通过连接齿轮11带动外齿轮13转动，外齿轮13的内部设有轴承12，即可实现外齿轮13不会带动支杆10转动，同时，外齿轮13带动底杆3转动，底杆3带动晶圆载体4转动，晶圆载体4带动固定工装15转动，令晶圆与抛光垫5发生相对移动，即可实现抛光垫5对晶圆抛光，本装置通过单个电机启动，成本较低。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (5)
1.一种单电机驱动的粗抛光机，包括抛光机壳(1)、布置在抛光机壳(1)正下方的抛光底座(6)以及用于连接抛光机壳(1)和抛光底座(6)的支架(7)，其特征在于：所述抛光底座(6)的内部开设有上端开口的空腔，所述空腔中心转动安装有抛光垫(5)，所述抛光垫(5)的中部安装有中心轴(14)，中心轴(14)的上端连接至抛光机壳(1)，所述抛光机壳(1)中安装有用于驱动中心轴(14)转动的电机；
所述抛光机壳(1)的底部安装有内部设有内腔的支撑箱(2)，所述支撑箱(2)的内部周向布置有多个可上下滑动的支杆(10)，多个所述支杆(10)的上端通过连接盘(9)连接；所述支杆(10)的下端转动安装有底杆(3)，所述底杆(3)的下端贯穿支撑箱(2)并安装有晶圆载体(4)，所述晶圆载体(4)的底面抵紧在抛光垫(5)上，所述晶圆载体(4)的底面内部安装有固定工装(15)，所述支撑箱(2)的内腔底部安装有用于驱动底杆(3)转动的驱动装置。
2.根据权利要求1所述的一种单电机驱动的粗抛光机，其特征在于，所述底杆(3)的上端安装有外齿轮(13)，所述支杆(10)的下端延伸至外齿轮(13)的内部并安装有轴承(12)。
3.根据权利要求2所述的一种单电机驱动的粗抛光机，其特征在于，所述驱动装置包括固定套接在中心轴(14)外部的内齿轮(16)，所述内齿轮(16)的外部周向啮合有多个连接齿轮(11)，所述连接齿轮(11)与对应外齿轮(13)一一啮合。
4.根据权利要求3所述的一种单电机驱动的粗抛光机，其特征在于，所述连接齿轮(11)的厚度大于外齿轮(13)厚度。
5.根据权利要求4所述的一种单电机驱动的粗抛光机，其特征在于，所述抛光机壳(1)的底部竖直安装有油缸(8)，所述油缸(8)输出端安装在连接盘(9)上。
Priority Applications (1)
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| CN201921225985.2U CN210209952U (zh) | 2019-07-31 | 2019-07-31 | 一种单电机驱动的粗抛光机 |
Applications Claiming Priority (1)
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Family
ID=69919792
Family Applications (1)
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| CN201921225985.2U Active CN210209952U (zh) | 2019-07-31 | 2019-07-31 | 一种单电机驱动的粗抛光机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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2019
- 2019-07-31 CN CN201921225985.2U patent/CN210209952U/zh active Active
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Denomination of utility model: A single motor driven rough polishing machine Effective date of registration: 20220824 Granted publication date: 20200331 Pledgee: Postal Savings Bank of China Limited Fengxian sub branch Pledgor: Xuzhou Weiju Electronic Materials Co.,Ltd. Registration number: Y2022320000471 |