CN210065977U - 一种安全的单晶炉炉底板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种安全的单晶炉炉底板，其安装在单晶炉底座支架上，其上安装主炉室，单晶炉炉底板包括炉底本体、供坩埚杆通过的坩埚杆孔、抽气孔、电极孔、炉内热场安装面、水封板、炉底水冷槽环路、进水口和出水口，炉内热场安装面位于炉底本体上部，为整板无焊缝加工而成，其位于单晶炉炉腔真空室内部，水封板和炉底本体下部焊接，位于单晶炉炉腔真空室外部，炉底水冷槽环路位于炉底本体和水封板之间，进水口位于坩埚杆孔侧壁，出水口位于单晶炉炉底板边缘处。本实用新型采用焊缝在真空室外部的设计，防止漏水对人员和设备产生不安全隐患；坩埚杆孔、电极孔和抽气孔的内壁均采用双面焊接结构，加强了真空室内部焊缝的安全性。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种安全的单晶炉炉底板。
背景技术
单晶炉炉底板安装在单晶炉底座支架上，其上安装主炉室，是单晶炉真空室的基础部件，在炉底部件上根据热场的种类和规格开有安装加热电极和抽空管道以及供坩埚杆通过所需要的开孔，以及真空检测所用的检测孔。传统的单晶炉炉底板焊缝在真空室内部，在拉制单晶的过程中，真空室处于负压高温的环境下，若炉底板的焊缝出现泄漏，会出现冷却水急速泄漏进真空室并迅速气化膨胀，发生事故，对人员和设备都会造成严重威胁。
实用新型内容
本实用新型是为了解决现有技术存在的问题，提供了一种安全的单晶炉炉底板。
本实用新型的技术方案是：
一种安全的单晶炉炉底板，包括炉底本体、供坩埚杆通过的坩埚杆孔、抽气孔、电极孔，坩埚杆孔、抽气孔和电极孔位于单晶炉炉底板上，还包括炉内热场安装面、水封板、炉底水冷槽环路、进水口和出水口，炉内热场安装面与炉底本体上部连接，炉内热场安装面为整板无焊缝加工而成，位于单晶炉炉腔真空室内部，水封板和炉底本体下部焊接，位于单晶炉炉腔真空室外部，炉底水冷槽环路位于炉底本体和水封板之间，进水口位于坩埚杆孔侧壁，出水口位于单晶炉炉底板边缘处。
进一步地，坩埚杆孔、抽气孔、电极孔的内壁均采用双面焊接结构。
本实用新型具有如下有益效果：1、采用焊缝在真空室外部的设计，防止漏水对人员和设备产生不安全隐患；2、坩埚杆孔、电极孔和抽气孔的内壁均采用双面焊接结构，加强了真空室内部焊缝的安全性。
附图说明
图1是安全炉底的剖视图；
图2是图1的俯视图；
图3是图1立体侧视图；
图4是图1立体仰视图；
图中：1-坩埚杆孔；2-炉底水冷槽环路；3-炉底本体；4-炉内热场安装面；5-水封板；6-抽气孔；7-电极孔；8-进水口；9-出水口。
具体实施方式
如图1-3，一种安全的单晶炉炉底板，其安装在单晶炉底座支架上，包括炉底本体3、供坩埚杆通过的坩埚杆孔1、抽气孔6、电极孔7，坩埚杆孔1、抽气孔6和电极孔7位于单晶炉炉底板上，还包括炉内热场安装面4、水封板5、炉底水冷槽环路2、进水口8和出水口9，炉内热场安装面4与炉底本体3上部连接，炉内热场安装面4为整板无焊缝加工而成，其位于单晶炉炉腔真空室内部，水封板5和炉底本体3下部焊接，其位于单晶炉炉腔真空室外部，炉底水冷槽环路2位于炉底本体3和水封板5之间，进水口8位于坩埚杆孔1侧壁，出水口9位于单晶炉炉底板边缘处。
坩埚杆孔1、抽气孔6、电极孔7的内壁均采用双面焊接结构。
当冷却水从坩埚杆孔1侧壁的进水口8进入，通过炉底水冷槽环路2，经炉底水冷槽环路2充分冷却炉底本体3，最后从炉底板边缘处的出水口9排出。该单晶炉炉底板的上部为炉内热场安装面4，为整板无焊缝加工而成，其在炉腔真空室内部。单晶炉炉底板下部由水封板5与炉底本体3下部焊接而成，位于真空室外部，如若焊缝出现缺陷产生漏水也只会向外泄露，不会对真空室内部造成破坏。
虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本实用新型的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本实用新型的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本实用新型的保护范围。
Claims (2)
1.一种安全的单晶炉炉底板，包括炉底本体(3)、供坩埚杆通过的坩埚杆孔(1)、抽气孔(6)、电极孔(7)，所述坩埚杆孔(1)、所述抽气孔(6)和所述电极孔(7)位于单晶炉炉底板上，其特征在于，还包括炉内热场安装面(4)、水封板(5)、炉底水冷槽环路(2)、进水口(8)和出水口(9)，所述炉内热场安装面(4)与所述炉底本体(3)上部连接，所述炉内热场安装面(4)为整板无焊缝加工而成，位于单晶炉炉腔真空室内部，所述水封板(5)和所述炉底本体(3)下部焊接，位于单晶炉炉腔真空室外部，所述炉底水冷槽环路位于炉底本体(3)和水封板(5)之间，所述进水口(8)位于所述坩埚杆孔(1)侧壁，所述出水口(9)位于单晶炉炉底板边缘处。
2.根据权利要求1所述的一种安全的单晶炉炉底板，其特征在于，所述坩埚杆孔(1)、抽气孔(6)、电极孔(7)的内壁均采用双面焊接结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920484429.0U CN210065977U (zh) | 2019-04-10 | 2019-04-10 | 一种安全的单晶炉炉底板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920484429.0U CN210065977U (zh) | 2019-04-10 | 2019-04-10 | 一种安全的单晶炉炉底板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210065977U true CN210065977U (zh) | 2020-02-14 |
Family
ID=69436632
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201920484429.0U Active CN210065977U (zh) | 2019-04-10 | 2019-04-10 | 一种安全的单晶炉炉底板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210065977U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113446852A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-09-28 | 中国科学院力学研究所 | 一种应用于电弧熔炼炉的真空高效一体铜坩埚 |
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2019
- 2019-04-10 CN CN201920484429.0U patent/CN210065977U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113446852A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-09-28 | 中国科学院力学研究所 | 一种应用于电弧熔炼炉的真空高效一体铜坩埚 |
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Legal Events
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