CN210065920U - 一种新型生长室腔门自动调整装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种新型生长室腔门自动调整装置，包括送料夹持机构、连接板、真空波纹管、腔门以及SiC送料杆，所述送料夹持机构内对称安装两组SiC送料杆，所述连接板设置在送料夹持机构左侧，且连接板左侧安装腔门，两组所述SiC送料杆均依次穿过连接板和腔门并延伸至腔门左侧，所述SiC送料杆上套设真空波纹管，所述连接板右端面上侧中部位置安装直线轴承导向套，所述直线轴承导向套内安插圆柱体，所述圆柱体左端固定球头，所述腔门右端面安装球座，所述球头镶嵌在球座内，所述球座右端面安装压板，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：实现腔门角度的调整。

Description

一种新型生长室腔门自动调整装置

技术领域

本实用新型是一种新型生长室腔门自动调整装置，属于半导体材料领域。

背景技术

低压气相沉淀系统、PECVD系统用于集成电路、分立器件、MEMS器件等不同尺寸晶圆的LPCVD、PECVD等工艺。目前，国内外厂家生产的同类产品中，生长室腔门设计多种多样，但机构基本相同，工作方式都是通过送料夹持机构机械压紧的方式，生长室腔门在与生长腔密封时往往出现密封不好的问题，不能很好的实现系统抽真空的要求，而且安装调整复杂困难，大大增加了设备安装维护成本，降低了产品的生产效率。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种新型生长室腔门自动调整装置，以解决上述背景技术中提出生长室腔门通过送料夹持机构机械压紧的方式，生长室腔门在与生长腔密封时往往出现密封不好的问题，不能很好的实现系统抽真空的要求，而且安装调整复杂困难，大大增加了设备安装维护成本，降低了产品生产效率的问题，本实用新型实现自动调整腔门角度，能够非常好地解决腔门密封的问题，安装简便。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种新型生长室腔门自动调整装置，包括送料夹持机构、连接板、真空波纹管、腔门以及SiC送料杆，所述送料夹持机构内对称安装两组SiC送料杆，所述连接板设置在送料夹持机构左侧，且连接板左侧安装腔门，两组所述SiC送料杆均依次穿过连接板和腔门并延伸至腔门左侧，所述SiC送料杆上套设真空波纹管，所述真空波纹管右端安装在连接板左端面，且真空波纹管左端安装在腔门右端面，所述连接板右端面上侧中部位置安装直线轴承导向套，所述直线轴承导向套内安插圆柱体，所述圆柱体左端固定球头，所述腔门右端面安装球座，所述球头镶嵌在球座内，所述球座右端面安装压板，所述压板右端面四个棱角处均安装内六角螺栓，所述内六角螺栓依次穿过压板和球座与腔门固定连接。

进一步地，所述送料夹持机构包括底座和压块，所述SiC送料杆右端安装在底座与压块之间，所述压块通过螺栓与底座固定连接。

进一步地，所述连接板右端面上侧开设通孔，所述直线轴承导向套安插在通孔内，且直线轴承导向套通过螺栓与连接板固定连接。

进一步地，所述腔门右端面均匀开设四组螺纹盲孔，所述压板右端面四个棱角处均开设圆孔一，所述球座右端面四个棱角处均开设圆孔二，所述内六角螺栓依次穿过圆孔一和圆孔二并啮合在螺纹盲孔内。

进一步地，所述球头与圆柱体为一体成型结构。

进一步地，所述真空波纹管右端固定方形框一，且真空波纹管左端固定方形框二，所述方形框一通过螺栓与连接板固定连接，所述方形框二通过螺栓与腔门固定连接。

本实用新型的有益效果：本实用新型在送料夹持机构机械式压紧的过程中，球头在球座和压板之间转动，达到腔门角度的自动调整，能够非常好地解决腔门密封的问题，而且安装非常简便，用户在维护设备时，腔门清理安装也大大提高了效率，大大降低了维护成本，提高了产品的生产效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种新型生长室腔门自动调整装置的俯视图；

图2为本实用新型一种新型生长室腔门自动调整装置的右视图；

图3为本实用新型一种新型生长室腔门自动调整装置中圆柱体、球头、球座的装配示意图；

图中：1-送料夹持机构、2-连接板、3-真空波纹管、4-腔门、5-SiC送料杆、6-球座、7-压板、8-圆柱体、9-直线轴承导向套、10-球头、11-内六角螺栓。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：一种新型生长室腔门自动调整装置，包括送料夹持机构1、连接板2、真空波纹管3、腔门4以及SiC送料杆5，送料夹持机构1内对称安装两组SiC送料杆5，连接板2设置在送料夹持机构1左侧，且连接板2左侧安装腔门4，两组SiC送料杆5均依次穿过连接板2和腔门4并延伸至腔门4左侧，SiC送料杆5上套设真空波纹管3，真空波纹管3右端安装在连接板2左端面，且真空波纹管3左端安装在腔门4右端面，连接板2右端面上侧中部位置安装直线轴承导向套9，直线轴承导向套9内安插圆柱体8，圆柱体8左端固定球头10，腔门4右端面安装球座6，球头10镶嵌在球座6内，球座6右端面安装压板7，压板7右端面四个棱角处均安装内六角螺栓11，内六角螺栓11依次穿过压板7和球座6与腔门4固定连接，低压气相沉淀或PECVD系统都是需要真空工艺腔体的，当送料夹持机构1将产品送入真空工艺腔后，腔门4与工艺腔体的密封靠送料夹持机构1机械式压紧，在送料夹持机构1机械式压紧的过程中，球头10在球座6和压板7之间转动，进而腔门4自动调整一定的角度，能够保证腔门4与真空工艺腔完全贴合，通过送料夹持机构1完全压紧密封，大大提高了设备的可靠性和产品的合格率，而由于真空波纹管3的可变形的特性，腔门4在安装时会出现偏斜的现象，圆柱体8与直线轴承导向套9相互配合很好地解决这个问题，大大降低了真空腔门4安装的难度，大大降低了安装维护成本，提高了设备的生产效率。

作为本实用新型的一个实施例：送料夹持机构1包括底座和压块，SiC送料杆5右端安装在底座与压块之间，压块通过螺栓与底座固定连接，将底座与外接驱动设备相连接，进而外接驱动设备驱动底座运动，底座与压块共同作用带动SiC送料杆5移动。

作为本实用新型的一个实施例：连接板2右端面上侧开设通孔，直线轴承导向套9安插在通孔内，且直线轴承导向套9通过螺栓与连接板2固定连接，通孔的设计为直线轴承导向套9提供安装空间。

作为本实用新型的一个实施例：腔门4右端面均匀开设四组螺纹盲孔，压板7右端面四个棱角处均开设圆孔一，球座6右端面四个棱角处均开设圆孔二，内六角螺栓11依次穿过圆孔一和圆孔二并啮合在螺纹盲孔内，将内六角螺栓11穿过圆孔一和圆孔二拧入螺纹盲孔内后，实现球座6、压板7以及腔门4的相互固定连接，同时将球头10限制在球座6与压板7之间。

作为本实用新型的一个实施例：球头10与圆柱体8为一体成型结构，一体成型结构提高机械强度。

作为本实用新型的一个实施例：真空波纹管3右端固定方形框一，且真空波纹管3左端固定方形框二，方形框一通过螺栓与连接板2固定连接，方形框二通过螺栓与腔门4固定连接，方形框一和方形框二的设计便于真空波纹管3的安装。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (6)

1.一种新型生长室腔门自动调整装置，包括送料夹持机构、连接板、真空波纹管、腔门以及SiC送料杆，其特征在于：所述送料夹持机构内对称安装两组SiC送料杆，所述连接板设置在送料夹持机构左侧，且连接板左侧安装腔门，两组所述SiC送料杆均依次穿过连接板和腔门并延伸至腔门左侧，所述SiC送料杆上套设真空波纹管，所述真空波纹管右端安装在连接板左端面，且真空波纹管左端安装在腔门右端面，所述连接板右端面上侧中部位置安装直线轴承导向套，所述直线轴承导向套内安插圆柱体，所述圆柱体左端固定球头，所述腔门右端面安装球座，所述球头镶嵌在球座内，所述球座右端面安装压板，所述压板右端面四个棱角处均安装内六角螺栓，所述内六角螺栓依次穿过压板和球座与腔门固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型生长室腔门自动调整装置，其特征在于：所述送料夹持机构包括底座和压块，所述SiC送料杆右端安装在底座与压块之间，所述压块通过螺栓与底座固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种新型生长室腔门自动调整装置，其特征在于：所述连接板右端面上侧开设通孔，所述直线轴承导向套安插在通孔内，且直线轴承导向套通过螺栓与连接板固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种新型生长室腔门自动调整装置，其特征在于：所述腔门右端面均匀开设四组螺纹盲孔，所述压板右端面四个棱角处均开设圆孔一，所述球座右端面四个棱角处均开设圆孔二，所述内六角螺栓依次穿过圆孔一和圆孔二并啮合在螺纹盲孔内。

5.根据权利要求1所述的一种新型生长室腔门自动调整装置，其特征在于：所述球头与圆柱体为一体成型结构。

6.根据权利要求1所述的一种新型生长室腔门自动调整装置，其特征在于：所述真空波纹管右端固定方形框一，且真空波纹管左端固定方形框二，所述方形框一通过螺栓与连接板固定连接，所述方形框二通过螺栓与腔门固定连接。

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