CN210022254U - 用于碳化硅半导体的研磨进料装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，传送带安装座上安装有贯穿安装架的传送带，传送带安装座上设有驱动传送带运动的传送带驱动电机，安装座上端安装有电源箱，安装架上安装有与电源箱电连接的主动辊驱动电机，主动辊驱动电机上安装有主动辊，安装架上安装有从动辊安装座，从动辊安装座转动安装有从动辊，从动辊与主动辊之间传动连接有研磨带，传送带安装座上且位于安装架内安装有研磨辊安装座，研磨辊安装座上且位于主动辊的两侧安装有一对相对于主动辊中心线对称的第一转轴，第一转轴外周均安装有研磨辊，研磨辊位于传送带的上方，且研磨辊与研磨带接触布置。本实用新型能够有效提高碳化硅半导体研磨进料的效率和质量。

Description

用于碳化硅半导体的研磨进料装置

技术领域

本实用新型涉及碳化硅加工的技术领域，具体设计一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置。

背景技术

碳化硅的硬度很大，莫氏硬度为9.5级，仅次于世界上最硬的金刚石(10级)，具有优良的导热性能，是一种半导体，高温时能抗氧化。在对半导体进行加工时需要在加工之前对碳化硅进行研磨操作，初步研磨后在进入加工设备中进行加工可以提高加工的效率，现有技术中对碳化硅半导体的研磨进行处理的效率低，质量差，无法满足实际使用时的需求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足而提供一种能够提高碳化硅半导体研磨效率和质量的进料装置。

解决上述技术问题，本实用新型采取如下技术方案：

一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，包括安装座，安装座上端安装有安装架，安装架上安装有传送带安装座，传送带安装座上安装有贯穿安装架的传送带，传送带安装座上设有驱动传送带运动的传送带驱动电机，安装座上端安装有电源箱，安装架上安装有与电源箱电连接的主动辊驱动电机，主动辊驱动电机靠近安装架的一侧安装有主动辊，安装架上安装有从动辊安装座，从动辊安装座转动安装有从动辊，从动辊与主动辊之间传动连接有研磨带，传送带安装座上且位于安装架内安装有研磨辊安装座，研磨辊安装座上且位于主动辊的两侧安装有一对相对于主动辊中心线对称的第一转轴，第一转轴外周均安装有研磨辊，研磨辊位于传送带的上方，且研磨辊与研磨带接触布置，安装架内顶部安装有导向板，导向板与传送带上端面接触布置。

本实用新型实施例安装架内且位于研磨带内安装有液压泵，液压泵靠近安装架的一侧安装有推板，推板由液压泵驱动其沿竖直方向运动，推板的上端安装有液压杆，液压杆远离推板的一端安装在从动辊安装座上，安装架上设有供从动辊安装座滑动的滑轨。

本实用新型实施例导向板包括第一活塞、活塞轴、安装板和导向底板，第一活塞安装在安装架的顶端，活塞轴安装在第一活塞远离安装架的一端，安装板安装在活塞轴远离第一活塞的一端，导向底板安装在安装板远离活塞轴的一端。

本实用新型实施例第一活塞和安装板之间设有弹簧，弹簧套接在活塞轴的外周。

本实用新型实施例导向底板底端安装有第二转轴，第二转轴上安装有导向轮，导向轮与传送带接触布置。

本实用新型实施例研磨辊的外周设多个研磨凸起。

本实用新型的有益效果为：碳化硅半导体块放入到传送带上，由传送带驱动电机驱动传送带转动，由传送带带动碳化硅半导体块进入到安装架内，由主动辊驱动电机带动主动辊转动，由主动辊带动研磨带转动，研磨带带动从动辊转动，由研磨带与研磨辊配合实现对碳化硅半导体块进行研磨，研磨好的碳化硅半导体块再由传送带输出，由此实现对碳化硅半导体块研磨好再进行进料，由此提高了碳化硅半导体进料加工的加工效率，另外导向板可实现将碳化硅半导体块有序排列在传送带上，使得碳化硅半导体块有序进入到研磨带和主动辊之间，由此提高了碳化硅半导体研磨的效率。

本实用新型的其他特点和优点将会在下面的具体实施方式、附图中详细的揭露。

附图说明

图1是本实用新型所述用于碳化硅半导体的研磨进料装置实施例1的结构示意图；

图2是本实用新型所述用于碳化硅半导体的研磨进料装置实施例2中导向板的结构示意图；

图3是本实用新型所述用于碳化硅半导体的研磨进料装置实施例3中研磨辊的结构示意图。

图中各附图标记为：

1、安装座；2、安装架；3、传送带；4、传送带驱动电机；5、电源箱；6、液压杆；7、从动辊安装座；8、从动辊；9、研磨带；10、开关；11、液压泵；12、推板；13、导向板；1301、第一活塞；1302、活塞轴；1303、弹簧；1304、安装板；1305、导向底板；1306、第二转轴；1307、导向轮；14、第一转轴；15、研磨辊安装座；16、研磨辊；17、主动辊；18、主动辊驱动电机。

具体实施方式

下面结合本实用新型实施例的附图对本实用新型实施例的技术方案进行解释和说明，但下述实施例仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

在下文描述中，出现诸如术语“内”、“外”、“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或者位置关系仅是为了方便描述实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1

参照图1，本实用新型实施例提出的一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，包括安装座，安装座1上端安装有安装架2，安装架2上安装有传送带安装座19，传送带安装座19上安装有贯穿安装架2的传送带3，传送带安装座19上设有驱动传送带3运动的传送带驱动电机4，安装座1上端安装有电源箱5，安装架2上安装有与电源箱5电连接的主动辊驱动电机18，主动辊驱动电机18靠近安装架2的一侧安装有主动辊17，安装架2上安装有从动辊安装座7，从动辊安装座7转动安装有从动辊8，从动辊8与主动辊17之间传动连接有研磨带9，传送带安装座19上且位于安装架2内安装有研磨辊安装座15，研磨辊安装座15上且位于主动辊17的两侧安装有一对相对于主动辊17中心线对称的第一转轴14，第一转轴14外周均安装有研磨辊16，研磨辊16位于传送带3的上方，且研磨辊16与研磨带9接触布置，安装架2内顶部安装有导向板13，导向板13与传送带3上端面接触布置。

工作原理：碳化硅半导体块放入到传送带3上，由传送带驱动电机4驱动传送带3转动，由传送带3带动碳化硅半导体块进入到安装架2内，由主动辊驱动电机18带动主动辊17转动，由主动辊17带动研磨带9转动，研磨带9带动从动辊8转动，由研磨带9与研磨辊16配合实现对碳化硅半导体块进行研磨，研磨好的碳化硅半导体块再由传送带3输出，由此实现对碳化硅半导体块研磨好再进行进料，由此提高了碳化硅半导体进料加工的加工效率，另外导向板13可实现将碳化硅半导体块有序排列在传送带3上，使得碳化硅半导体块有序进入到研磨带9和主动辊17之间，由此提高了碳化硅半导体研磨的效率。

在本实施例中，安装架2内且位于研磨带9内安装有液压泵11，液压泵11靠近安装架2的一侧安装有推板12，推板12由液压泵11驱动其沿竖直方向运动，推板12的上端安装有液压杆6，液压杆6远离推板12的一端安装在从动辊安装座7上，安装架2上设有供从动辊安装座7滑动的滑轨。由液压泵11驱动推板12沿竖直方向运动，推板12带动液压杆6带动从动辊安装座7沿滑轨在竖直方向运动，由此增大了从动辊8和主动辊17之间的间距，由此提高了研磨带9的张力，增大了研磨带9对研磨辊16的挤压力，增大了碳化硅半导体块研磨的效率和质量。

实施例2：

参照图2，本实施例与实施例1的区别之处在于，导向板13包括第一活塞1301、活塞轴1302、安装板1304和导向底板1305，第一活塞1301安装在安装架2的顶端，活塞轴1302安装在第一活塞1301远离安装架2的一端，安装板1304安装在活塞轴1302远离第一活塞1301的一端，导向底板1305安装在安装板1304远离活塞轴1302的一端。由第一活塞1301、活塞轴1302和弹簧1303配合的伸缩性，实现导向底板1305在对碳化硅半导体进行导向时具有伸缩性，有效避免导向底板1305与传送带3之间卡料，提高了碳化硅半导体块研磨的效率和质量。

在本实施例中，第一活塞1301和安装板1304之间设有弹簧1303，弹簧1303套接在活塞轴1302的外周。由套接在活塞轴1302外周的弹簧1303伸缩性，实现导向底板1305在对碳化硅半导体进行导向时具有伸缩性，有效避免导向底板1305与传送带3之间卡料，提高了碳化硅半导体块研磨的效率和质量。

在本实施例中，导向底板1305底端安装有第二转轴1306，第二转轴1306上安装有导向轮1307，导向轮1307与传送带3接触布置。通过在导向底板1305底端安装第二转轴1306，并在第二转轴1306的外周安装导向轮1307，提高了碳化硅半导体块传输时的效率，进一步提高了碳化硅半导体研磨的效率和质量。

实施例3：

参照图3，本实施例与实施例1的区别之处在于，研磨辊16的外周设多个研磨凸起1601。通过在研磨辊16的外周设多个研磨凸起1601，有效提高了对碳化硅半导体研磨的效率和质量。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此即限制本实用新型的专利保护范围，凡是运用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于，包括安装座，安装座(1)上端安装有安装架(2)，安装架(2)上安装有传送带安装座(19)，传送带安装座(19)上安装有贯穿安装架(2)的传送带(3)，传送带安装座(19)上设有驱动传送带(3)运动的传送带驱动电机(4)，安装座(1)上端安装有电源箱(5)，安装架(2)上安装有与电源箱(5)电连接的主动辊驱动电机(18)，主动辊驱动电机(18)靠近安装架(2)的一侧安装有主动辊(17)，安装架(2)上安装有从动辊安装座(7)，从动辊安装座(7)转动安装有从动辊(8)，从动辊(8)与主动辊(17)之间传动连接有研磨带(9)，传送带安装座(19)上且位于安装架(2)内安装有研磨辊安装座(15)，研磨辊安装座(15)上且位于主动辊(17)的两侧安装有一对相对于主动辊(17)中心线对称的第一转轴(14)，第一转轴(14)外周均安装有研磨辊(16)，研磨辊(16)位于传送带(3)的上方，且研磨辊(16)与研磨带(9)接触布置，安装架(2)内顶部安装有导向板(13)，导向板(13)与传送带(3)上端面接触布置。

2.如权利要求1所述的用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于，安装架(2)内且位于研磨带(9)内安装有液压泵(11)，液压泵(11)靠近安装架(2)的一侧安装有推板(12)，推板(12)由液压泵(11)驱动其沿竖直方向运动，推板(12)的上端安装有液压杆(6)，液压杆(6)远离推板(12)的一端安装在从动辊安装座(7)上，安装架(2)上设有供从动辊安装座(7)滑动的滑轨。

3.如权利要求1所述的用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于，导向板(13)包括第一活塞(1301)、活塞轴(1302)、安装板(1304)和导向底板(1305)，第一活塞(1301)安装在安装架(2)的顶端，活塞轴(1302)安装在第一活塞(1301)远离安装架(2)的一端，安装板(1304)安装在活塞轴(1302)远离第一活塞(1301)的一端，导向底板(1305)安装在安装板(1304)远离活塞轴(1302)的一端。

4.如权利要求3所述的用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于，第一活塞(1301)和安装板(1304)之间设有弹簧(1303)，弹簧(1303)套接在活塞轴(1302)的外周。

5.如权利要求3所述的用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于，导向底板(1305)底端安装有第二转轴(1306)，第二转轴(1306)上安装有导向轮(1307)，导向轮(1307)与传送带(3)接触布置。

6.如权利要求1所述的用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于，研磨辊(16)的外周设多个研磨凸起(1601)。

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