CN209930536U - 用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器 - Google Patents
用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提供了一种包括包括外壳、内壳、盘管和加热线圈的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，所述内壳安装于外壳中，两者之间填充有保温棉；所述盘管的螺旋管部位于所述内壳中，两根入液管位于所述外壳的外部，所述加热线圈的加热丝位于所述内壳中，电连接部位于所述外壳的外部，盘管延长了化学品被加热的路径以及加热器的同时加热量，提高了加热器的加热速度；所述外壳、内壳、盘管均由316等级的不锈钢制成，所述盘管的内管壁涂布有PFA涂层。本实用新型中的外壳、内壳和盘管均由316等级的不锈钢焊接制成，盘管内壁涂布PFA涂层，导热性能佳，能实现化学品的快速加热，保证了化学品的洁净度。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，特别是指用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器。
背景技术
半导体湿法工艺过程中化学品因特殊的工艺要求，这些化学品需要快速加速并保持洁净度。当前化学品加热是把电炉丝加热器直接放置在化学品中加热，或者是通过加热水，利用管路循环在化学品中间接加热，主要存在以下缺陷：1、直接投放加热器，加热器容易老化和损坏；2、加热器表面洁净度达不到要求，会给化学品造成污染，影响晶圆的良率或者直接报废；3、用水或者其他介质通过管路间接加热，消耗能耗大，湿度控制精度差，影响芯片生产良率或者直接报废。
实用新型内容
本实用新型的目的在于针对现有技术的上述不足和缺陷，提供一种用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，以解决上述问题。
为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：
用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，包括外壳、内壳、盘管和加热线圈；所述内壳安装于外壳中，两者之间填充有保温棉；所述盘管的螺旋管部位于所述内壳中，两根入液管位于所述外壳的外部；所述加热线圈的加热丝位于所述内壳中，电连接部位于所述外壳的外部；所述外壳、内壳、盘管均由316等级的不锈钢制成，所述盘管的内管壁涂布有PFA涂层。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述外壳包括壳体和壳盖，所述加热线圈的电连接端固定于所述壳盖中。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述内壳中设置有用于支撑所述盘管的支撑柱。
进一步的是，所述支撑柱的两端均设置有螺牙孔，支撑柱的一端抵接在所述内壳底部并以螺栓固定，另一端抵接在所述壳盖上并以螺栓固定。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述内壳的底部设置有螺柱，所述外壳的底部对应所述螺柱处设置有通孔，以一螺栓锁进螺柱中将所述内壳与外壳固连。
在本实用新型的一个优选实施例中，所述盘管的两根入液管均安装于所述壳盖中。
进一步的是，所述壳盖对应入液管处设置有密封环，所述入液管从所述密封环中穿过。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.本实用新型中的外壳、内壳和盘管均由316等级的不锈钢焊接制成，密封性能良好，导热性能佳，能实现化学品的快速加热；
2.本实用新型在盘管内壁涂布PFA涂层，保证了化学品的洁净度；
3.本实用新型在内壳与外壳之间填充保温棉，可防止加热温度透出伤人，减少热量损失，提高了加热速率；
4.本实用新型中的盘管延长了化学品被加热的路径以及加热器的同时加热量，不仅提高了加热器的加热速度，还实现了化学品供应量满足制程需求的目的。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1是实施例中公开的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器的立体图；
图2是实施例中公开的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器的剖视图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
图1和2中所示的化学品在线加热器，用于半导体湿法工艺中，包括外壳10、内壳20、盘管30和加热线圈40；内壳安装于外壳中，两者之间填充有保温棉50；盘管的螺旋管部位于内壳中，两根入液管31位于外壳的外部；加热线圈的加热丝位于内壳中，电连接部位于外壳的外部；外壳、内壳、盘管均由316等级的不锈钢制成，密封性能良好，导热性能佳，能实现化学品的快速加热；盘管的内管壁涂布有PFA涂层，保证了化学品的洁净度。
外壳包括壳体11和壳盖12，加热线圈的电连接端固定于壳盖中，将壳盖向上升起打开，即可将加热线圈从内壳中取出，便于加热线圈的更换。
内壳中设置有用于支撑盘管的支撑柱50，支撑柱的两端均设置有螺牙孔，支撑柱的一端抵接在内壳底部并以螺栓61固定，另一端抵接在壳盖上并以螺栓62固定。将壳盖上的螺栓卸除后，可直接向壳盖向上升起打开，支撑柱可作为内壳的把手，便于内壳在外壳中的安装。
内壳的底部设置有螺柱13，外壳的底部对应螺柱处设置有通孔，以一螺栓63锁进螺柱中将内壳与外壳固连，将此螺栓卸除后，即解除了内壳与外壳的固定。
盘管的两根入液管均安装于壳盖中，壳盖对应入液管处设置有密封环，入液管从密封环中穿过，将壳盖向上升起打开时，入液管从密封环中退出。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (7)
1.用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，包括外壳、内壳、盘管和加热线圈；所述内壳安装于外壳中，两者之间填充有保温棉；所述盘管的螺旋管部位于所述内壳中，两根入液管位于所述外壳的外部；所述加热线圈的加热丝位于所述内壳中，电连接部位于所述外壳的外部；所述外壳、内壳、盘管均由316等级的不锈钢制成，所述盘管的内管壁涂布有PFA涂层。
2.根据权利要求1所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述外壳包括壳体和壳盖，所述加热线圈的电连接端固定于所述壳盖中。
3.根据权利要求2所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述内壳中设置有用于支撑所述盘管的支撑柱。
4.根据权利要求3所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述支撑柱的两端均设置有螺牙孔，支撑柱的一端抵接在所述内壳底部并以螺栓固定，另一端抵接在所述壳盖上并以螺栓固定。
5.根据权利要求1所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述内壳的底部设置有螺柱，所述外壳的底部对应所述螺柱处设置有通孔，以一螺栓锁进螺柱中将所述内壳与外壳固连。
6.根据权利要求2所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述盘管的两根入液管均安装于所述壳盖中。
7.根据权利要求6所述的用于半导体湿法工艺中的化学品在线加热器，其特征在于，所述壳盖对应入液管处设置有密封环，所述入液管从所述密封环中穿过。
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