CN209906870U - 一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体内可拆卸设置有导热结构,所述导热结构包括若干呈圆周分布的导热片,相邻导热片之间连接有导热丝。本实用新型的坩埚通过内置的导热结构,在加热过程中,热量通过坩埚传导到导热结构上,通过导热结构,再将热量传导给材料,充分降低材料升温不均匀的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚。
背景技术
现有的坩埚在加热过程中,通过外部加热丝来加热,使材料由内部较贴近坩埚壁的地方升温较慢,材料加热不均匀;降温过程中同样是靠近坩埚壁的材料先降。
实用新型内容
为了解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:
一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,包括坩埚本体,所述坩埚本体内可拆卸设置有导热结构,所述导热结构包括若干呈圆周分布的导热片,相邻导热片之间连接有导热丝。
进一步的,所述导热结构包括4片呈圆周分布的导热片。
进一步的,各所述导热片的两端均与所述坩埚本体的内壁接触配合。
进一步的,所述导热片为弧形片。
进一步的,所述弧形片的两端之间通过导热丝连接。
进一步的,所述导热丝与相邻的导热片焊接连接。
进一步的,所述弧形片的两端与所述导热丝两端焊接连接。
进一步的,弧形的所述导热片两两相切呈环形分布。
与现有技术相比,本实用新型的有益技术效果:
1、在材料加热过程中,加热源产生的热量通过导热丝和导热片传导到材料内部,使材料受热均匀;
2、蒸发源产生的热量通过坩埚壁传导至导热片以及导热丝,由于四片导热片的缘故,将材料一分为五,同时加热;
3、于此同时,通过导热丝,可以将热量传导至每一部分材料内部,避免出现部分材料受热不均的现象。
4、导热片设计成弧形是为了增大材料与导热片的接触面积,利于导热片的热量传导至材料中。
附图说明
下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。
图1为本实用新型具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚的俯视结构示意图;
图2为导热结构的俯视结构示意图;
图3为导热片的结构示意图;
附图标记说明:1-坩埚本体;2-导热片;3-加热丝。
具体实施方式
实施例1
如图1至3所示,一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,包括坩埚本体1,所述坩埚本体1内可拆卸设置有导热结构,所述导热结构包括4个两两相切式呈圆周分布的导热片2,所述导热片2均为弧形片,相邻导热片2之间焊接连接有导热丝3,所述弧形片的两端之间通过导热丝2焊接连接。同时相邻导热片2之间也可以是焊接固定。各所述导热片2的两端均与所述坩埚本体1的内壁接触配合。
实施例2
导热片2为矩形片,四个矩形片构成长方体结构,该长方体结构的四个角边与所述坩埚本体1的内壁接触配合,相邻矩形片的中点之间连接有导热丝2,也可以是焊接连接。
以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述,并非对本实用新型的范围进行限定,在不脱离本实用新型设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。
Claims (8)
1.一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,包括坩埚本体,其特征在于:所述坩埚本体内可拆卸设置有导热结构,所述导热结构包括若干呈圆周分布的导热片,相邻导热片之间连接有导热丝。
2.根据权利要求1所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,其特征在于:所述导热结构包括4片呈圆周分布的导热片。
3.根据权利要求1所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,其特征在于:各所述导热片的两端均与所述坩埚本体的内壁接触配合。
4.根据权利要求1所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,其特征在于:所述导热片为弧形片。
5.根据权利要求4所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,其特征在于:所述弧形片的两端之间通过导热丝连接。
6.根据权利要求1所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,其特征在于:所述导热丝与相邻的导热片焊接连接。
7.根据权利要求5所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,其特征在于:所述弧形片的两端与所述导热丝两端焊接连接。
8.根据权利要求4所述的具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚,其特征在于:弧形的所述导热片两两相切呈环形分布。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201920748649.XU CN209906870U (zh) | 2019-05-23 | 2019-05-23 | 一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201920748649.XU CN209906870U (zh) | 2019-05-23 | 2019-05-23 | 一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚 |
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Family
ID=69049641
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201920748649.XU Active CN209906870U (zh) | 2019-05-23 | 2019-05-23 | 一种具有可拆卸导热结构的蒸镀坩埚 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN209906870U (zh) |
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- 2019-05-23 CN CN201920748649.XU patent/CN209906870U/zh active Active
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