CN209880555U - 全自动扩散装卸片机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动扩散装卸片机。该装卸片机包括机台、三轴机械手、吸盘组、硅片升降台、花篮、花篮直线驱动机构、石英舟、石英舟直线驱动机构、超声清洗池、吹气机构和推动气缸，所述机台上固定有三轴机械手、花篮直线驱动机构、石英舟直线驱动机构、推动气缸、超声清洗池，三轴机械手的移动端固定有吸盘组，花篮直线驱动机构的滑座上固定有定位板，定位板上设有花篮。本实用新型通过三轴机械手带动吸盘组，将硅片升降台上的硅片抓取，并放置到石英舟内，再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构，将硅片在加工前进行除污，保证加工效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是全自动扩散装卸片机。
背景技术
硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气和POCL3等气体，在高温下分解后在硅片表面形成P-N结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道，扩散时，首先将硅片放在石英舟上，然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。但是现有的装卸硅片的工作效率较低，且容易沾染污物，影响加工效果。
实用新型内容
为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种全自动扩散装卸片机。通过三轴机械手带动吸盘组，将硅片升降台上的硅片抓取，并放置到石英舟内，再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构，将硅片在加工前进行除污，保证加工效果。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种全自动扩散装卸片机，包括机台、三轴机械手、吸盘组、硅片升降台、花篮、花篮直线驱动机构、石英舟、石英舟直线驱动机构、超声清洗池、吹气机构和推动气缸，所述机台上固定有三轴机械手、花篮直线驱动机构、石英舟直线驱动机构、推动气缸、超声清洗池，三轴机械手的移动端固定有吸盘组，花篮直线驱动机构的滑座上固定有定位板，定位板上设有花篮，定位板滑配连接在机台上，石英舟直线驱动机构的滑座上固定有石英舟，石英舟滑配连接在机台上，推动气缸的活塞杆端固定在吹气机构上，吹气机构滑配连接在机台上，机台底下设有硅片升降台，机台上开设有用于穿过硅片升降台的穿槽。
具体地，所述三轴机械手由X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组组成，X轴直线模组的缸体固定在机台上，Y轴直线模组的缸体固定在X轴直线模组的滑座上，Z轴直线模组的缸体固定在Y轴直线模组的滑座上，Z轴直线模组的滑座上固定有吸盘组。
具体地，所述吸盘组是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成，吸盘组上的所有吸板之间的间距相同，吸板上开设有吸孔，吸孔与吸板内腔相连通，吸板内腔与气泵相连通。
具体地，所述硅片升降台是由升降气缸、平板和入料花篮组成，入料花篮通过插销连接在平板上，平板固定在升降气缸的活塞杆端。
具体地，所述花篮直线驱动机构和石英舟直线驱动机构均为直线模组。
具体地，所述吹气机构由框体、气嘴和腔室组成，框体顶板上固定有腔室，腔室与气嘴固定并连通，腔室与气泵相连通，气嘴位于框体内，框体固定在推动气缸的活塞杆上，框体滑配连接在机台上。
本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种全自动扩散装卸片机。通过三轴机械手带动吸盘组，将硅片升降台上的硅片抓取，并放置到石英舟内，再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构，将硅片在加工前进行除污，保证加工效果。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的吸盘组的结构示意图；
图3是本实用新型的硅片升降台的结构示意图；
图4是本实用新型的吹气机构的结构示意图；
图中1.机台，2.三轴机械手，3.吸盘组,4.硅片升降台，5.花篮，6.花篮直线驱动机构，7.石英舟，8.石英舟直线驱动机构，9.超声清洗池，10.吹气机构，11.推动气缸，41.升降气缸，42.平板，43.入料花篮，101.框体，102.气嘴，103.腔室。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
图1是本实用新型的结构示意图，图2是本实用新型的吸盘组的结构示意图，图3是本实用新型的硅片升降台的结构示意图，图4是本实用新型的吹气机构的结构示意图。
一种全自动扩散装卸片机，包括机台1、三轴机械手2、吸盘组3、硅片升降台4、花篮5、花篮直线驱动机构6、石英舟7、石英舟直线驱动机构8、超声清洗池9、吹气机构10和推动气缸11，所述机台1上固定有三轴机械手2、花篮直线驱动机构6、石英舟直线驱动机构8、推动气缸11、超声清洗池9，三轴机械手2的移动端固定有吸盘组3，花篮直线驱动机构6的滑座上固定有定位板，定位板上设有花篮5，定位板滑配连接在机台1上，石英舟直线驱动机构8的滑座上固定有石英舟7，石英舟7滑配连接在机台1上，推动气缸11的活塞杆端固定在吹气机构10上，吹气机构10滑配连接在机台1上，机台1底下设有硅片升降台4，机台1上开设有用于穿过硅片升降台4的穿槽。所述三轴机械手2由X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组组成，X轴直线模组的缸体固定在机台1上，Y轴直线模组的缸体固定在X轴直线模组的滑座上，Z轴直线模组的缸体固定在Y轴直线模组的滑座上，Z轴直线模组的滑座上固定有吸盘组3。所述吸盘组3是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成，吸盘组3上的所有吸板之间的间距相同，吸板上开设有吸孔，吸孔与吸板内腔相连通，吸板内腔与气泵相连通。所述硅片升降台4是由升降气缸41、平板42和入料花篮43组成，入料花篮43通过插销连接在平板42上，平板42固定在升降气缸41的活塞杆端。所述花篮直线驱动机构6和石英舟直线驱动机构8均为直线模组。所述吹气机构10由框体101、气嘴102和腔室103组成，框体101顶板上固定有腔室103，腔室103与气嘴102固定并连通，腔室103与气泵相连通，气嘴102位于框体101内，框体101固定在推动气缸11的活塞杆上，框体101滑配连接在机台1上。
如附图2所示，所有吸板均连接气泵，气泵启动使得吸板上的吸孔产生负压，从而吸住硅片。所有吸板之间间距相同，因此吸盘组3可以同时抓取按照一定间距摆放在花篮5、入料火蓝43或是石英舟7内的数个硅片。或是将数个硅片同时放入其中。
如附图3所示，升降气缸41的活塞杆可以驱使平板42及入料花篮43进行上下移动，入料花篮43可以穿过机台1上的穿槽。
如附图4所示，气泵产生的气流通过腔室103，经由气嘴102朝下喷出。
直线模组为电机驱动滚珠丝杠旋转，旋转的滚珠丝杠驱使与之螺纹连接的滚珠螺母进行直线移动，与滚珠螺母外圈固定的滑座就与其同步移动。
三轴机械手2可以驱使吸盘组3进行前后左右上下这三个轴向移动。
首先升降气缸41驱使装满未经加工的硅片的入料花篮43往上移动并穿过机台1的穿槽。然后三轴机械手2驱使吸盘组3吸住入料花篮43内的所有硅片并放入到超声清洗池9内进行清洗。被取完硅片的入料花篮43重新下降复位。
当硅片清洗完毕之后，将硅片提离水面，此时推动气缸11推动吹气机构10往超声清洗池9的方向滑动，直到气嘴102位于硅片的正上方。气嘴102朝硅片吹气，将硅片上的液体吹除后吹气机构10回退复位。吸盘组3将清理干净的硅片放入到石英舟7内。接着石英舟直线驱动机构8驱使石英舟7移动至扩散加工工位进行加工。
加工完毕之后石英舟7复位，吸盘组3再将加工好的硅片取出。此时花篮直线驱动机构6驱使花篮5往前移动，然后吸盘组3将硅片放置到花篮5内。最后拔出插销将装载完毕的花篮5取走即可。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (6)
1.一种全自动扩散装卸片机，其特征是，包括机台(1)、三轴机械手(2)、吸盘组(3)、硅片升降台(4)、花篮(5)、花篮直线驱动机构(6)、石英舟(7)、石英舟直线驱动机构(8)、超声清洗池(9)、吹气机构(10)和推动气缸(11)，所述机台(1)上固定有三轴机械手(2)、花篮直线驱动机构(6)、石英舟直线驱动机构(8)、推动气缸(11)、超声清洗池(9)，三轴机械手(2)的移动端固定有吸盘组(3)，花篮直线驱动机构(6)的滑座上固定有定位板，定位板上设有花篮(5)，定位板滑配连接在机台(1)上，石英舟直线驱动机构(8)的滑座上固定有石英舟(7)，石英舟(7)滑配连接在机台(1)上，推动气缸(11)的活塞杆端固定在吹气机构(10)上，吹气机构(10)滑配连接在机台(1)上，机台(1)底下设有硅片升降台(4)，机台(1)上开设有用于穿过硅片升降台(4)的穿槽。
2.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机，其特征在于：所述三轴机械手(2)由X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组组成，X轴直线模组的缸体固定在机台(1)上，Y轴直线模组的缸体固定在X轴直线模组的滑座上，Z轴直线模组的缸体固定在Y轴直线模组的滑座上，Z轴直线模组的滑座上固定有吸盘组(3)。
3.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机，其特征在于：所述吸盘组(3)是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成，吸盘组(3)上的所有吸板之间的间距相同，吸板上开设有吸孔，吸孔与吸板内腔相连通，吸板内腔与气泵相连通。
4.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机，其特征在于：所述硅片升降台(4)是由升降气缸(41)、平板(42)和入料花篮(43)组成，入料花篮(43)通过插销连接在平板(42)上，平板(42)固定在升降气缸(41)的活塞杆端。
5.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机，其特征在于：所述花篮直线驱动机构(6)和石英舟直线驱动机构(8)均为直线模组。
6.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机，其特征在于：所述吹气机构(10)由框体(101)、气嘴(102)和腔室(103)组成，框体(101)顶板上固定有腔室(103)，腔室(103)与气嘴(102)固定并连通，腔室(103)与气泵相连通，气嘴(102)位于框体(101)内，框体(101)固定在推动气缸(11)的活塞杆上，框体(101)滑配连接在机台(1)上。
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