CN209880555U - 全自动扩散装卸片机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片加工设备领域,尤其是全自动扩散装卸片机。该装卸片机包括机台、三轴机械手、吸盘组、硅片升降台、花篮、花篮直线驱动机构、石英舟、石英舟直线驱动机构、超声清洗池、吹气机构和推动气缸,所述机台上固定有三轴机械手、花篮直线驱动机构、石英舟直线驱动机构、推动气缸、超声清洗池,三轴机械手的移动端固定有吸盘组,花篮直线驱动机构的滑座上固定有定位板,定位板上设有花篮。本实用新型通过三轴机械手带动吸盘组,将硅片升降台上的硅片抓取,并放置到石英舟内,再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构,将硅片在加工前进行除污,保证加工效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工设备领域,尤其是全自动扩散装卸片机。
背景技术
硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中,通以氮气和POCL3等气体,在高温下分解后在硅片表面形成P-N结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道,扩散时,首先将硅片放在石英舟上,然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。但是现有的装卸硅片的工作效率较低,且容易沾染污物,影响加工效果。
实用新型内容
为了解决背景技术中描述的技术问题,本实用新型提供了一种全自动扩散装卸片机。通过三轴机械手带动吸盘组,将硅片升降台上的硅片抓取,并放置到石英舟内,再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构,将硅片在加工前进行除污,保证加工效果。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种全自动扩散装卸片机,包括机台、三轴机械手、吸盘组、硅片升降台、花篮、花篮直线驱动机构、石英舟、石英舟直线驱动机构、超声清洗池、吹气机构和推动气缸,所述机台上固定有三轴机械手、花篮直线驱动机构、石英舟直线驱动机构、推动气缸、超声清洗池,三轴机械手的移动端固定有吸盘组,花篮直线驱动机构的滑座上固定有定位板,定位板上设有花篮,定位板滑配连接在机台上,石英舟直线驱动机构的滑座上固定有石英舟,石英舟滑配连接在机台上,推动气缸的活塞杆端固定在吹气机构上,吹气机构滑配连接在机台上,机台底下设有硅片升降台,机台上开设有用于穿过硅片升降台的穿槽。
具体地,所述三轴机械手由X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组组成,X轴直线模组的缸体固定在机台上,Y轴直线模组的缸体固定在X轴直线模组的滑座上,Z轴直线模组的缸体固定在Y轴直线模组的滑座上,Z轴直线模组的滑座上固定有吸盘组。
具体地,所述吸盘组是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成,吸盘组上的所有吸板之间的间距相同,吸板上开设有吸孔,吸孔与吸板内腔相连通,吸板内腔与气泵相连通。
具体地,所述硅片升降台是由升降气缸、平板和入料花篮组成,入料花篮通过插销连接在平板上,平板固定在升降气缸的活塞杆端。
具体地,所述花篮直线驱动机构和石英舟直线驱动机构均为直线模组。
具体地,所述吹气机构由框体、气嘴和腔室组成,框体顶板上固定有腔室,腔室与气嘴固定并连通,腔室与气泵相连通,气嘴位于框体内,框体固定在推动气缸的活塞杆上,框体滑配连接在机台上。
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供了一种全自动扩散装卸片机。通过三轴机械手带动吸盘组,将硅片升降台上的硅片抓取,并放置到石英舟内,再驱动石英舟移动至加工工位进行扩散加工。再将石英舟内的硅片抓取至花篮内下料。通过超声清洗池和吹气机构,将硅片在加工前进行除污,保证加工效果。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型的吸盘组的结构示意图;
图3是本实用新型的硅片升降台的结构示意图;
图4是本实用新型的吹气机构的结构示意图;
图中1.机台,2.三轴机械手,3.吸盘组,4.硅片升降台,5.花篮,6.花篮直线驱动机构,7.石英舟,8.石英舟直线驱动机构,9.超声清洗池,10.吹气机构,11.推动气缸,41.升降气缸,42.平板,43.入料花篮,101.框体,102.气嘴,103.腔室。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
图1是本实用新型的结构示意图,图2是本实用新型的吸盘组的结构示意图,图3是本实用新型的硅片升降台的结构示意图,图4是本实用新型的吹气机构的结构示意图。
一种全自动扩散装卸片机,包括机台1、三轴机械手2、吸盘组3、硅片升降台4、花篮5、花篮直线驱动机构6、石英舟7、石英舟直线驱动机构8、超声清洗池9、吹气机构10和推动气缸11,所述机台1上固定有三轴机械手2、花篮直线驱动机构6、石英舟直线驱动机构8、推动气缸11、超声清洗池9,三轴机械手2的移动端固定有吸盘组3,花篮直线驱动机构6的滑座上固定有定位板,定位板上设有花篮5,定位板滑配连接在机台1上,石英舟直线驱动机构8的滑座上固定有石英舟7,石英舟7滑配连接在机台1上,推动气缸11的活塞杆端固定在吹气机构10上,吹气机构10滑配连接在机台1上,机台1底下设有硅片升降台4,机台1上开设有用于穿过硅片升降台4的穿槽。所述三轴机械手2由X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组组成,X轴直线模组的缸体固定在机台1上,Y轴直线模组的缸体固定在X轴直线模组的滑座上,Z轴直线模组的缸体固定在Y轴直线模组的滑座上,Z轴直线模组的滑座上固定有吸盘组3。所述吸盘组3是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成,吸盘组3上的所有吸板之间的间距相同,吸板上开设有吸孔,吸孔与吸板内腔相连通,吸板内腔与气泵相连通。所述硅片升降台4是由升降气缸41、平板42和入料花篮43组成,入料花篮43通过插销连接在平板42上,平板42固定在升降气缸41的活塞杆端。所述花篮直线驱动机构6和石英舟直线驱动机构8均为直线模组。所述吹气机构10由框体101、气嘴102和腔室103组成,框体101顶板上固定有腔室103,腔室103与气嘴102固定并连通,腔室103与气泵相连通,气嘴102位于框体101内,框体101固定在推动气缸11的活塞杆上,框体101滑配连接在机台1上。
如附图2所示,所有吸板均连接气泵,气泵启动使得吸板上的吸孔产生负压,从而吸住硅片。所有吸板之间间距相同,因此吸盘组3可以同时抓取按照一定间距摆放在花篮5、入料火蓝43或是石英舟7内的数个硅片。或是将数个硅片同时放入其中。
如附图3所示,升降气缸41的活塞杆可以驱使平板42及入料花篮43进行上下移动,入料花篮43可以穿过机台1上的穿槽。
如附图4所示,气泵产生的气流通过腔室103,经由气嘴102朝下喷出。
直线模组为电机驱动滚珠丝杠旋转,旋转的滚珠丝杠驱使与之螺纹连接的滚珠螺母进行直线移动,与滚珠螺母外圈固定的滑座就与其同步移动。
三轴机械手2可以驱使吸盘组3进行前后左右上下这三个轴向移动。
首先升降气缸41驱使装满未经加工的硅片的入料花篮43往上移动并穿过机台1的穿槽。然后三轴机械手2驱使吸盘组3吸住入料花篮43内的所有硅片并放入到超声清洗池9内进行清洗。被取完硅片的入料花篮43重新下降复位。
当硅片清洗完毕之后,将硅片提离水面,此时推动气缸11推动吹气机构10往超声清洗池9的方向滑动,直到气嘴102位于硅片的正上方。气嘴102朝硅片吹气,将硅片上的液体吹除后吹气机构10回退复位。吸盘组3将清理干净的硅片放入到石英舟7内。接着石英舟直线驱动机构8驱使石英舟7移动至扩散加工工位进行加工。
加工完毕之后石英舟7复位,吸盘组3再将加工好的硅片取出。此时花篮直线驱动机构6驱使花篮5往前移动,然后吸盘组3将硅片放置到花篮5内。最后拔出插销将装载完毕的花篮5取走即可。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (6)
1.一种全自动扩散装卸片机,其特征是,包括机台(1)、三轴机械手(2)、吸盘组(3)、硅片升降台(4)、花篮(5)、花篮直线驱动机构(6)、石英舟(7)、石英舟直线驱动机构(8)、超声清洗池(9)、吹气机构(10)和推动气缸(11),所述机台(1)上固定有三轴机械手(2)、花篮直线驱动机构(6)、石英舟直线驱动机构(8)、推动气缸(11)、超声清洗池(9),三轴机械手(2)的移动端固定有吸盘组(3),花篮直线驱动机构(6)的滑座上固定有定位板,定位板上设有花篮(5),定位板滑配连接在机台(1)上,石英舟直线驱动机构(8)的滑座上固定有石英舟(7),石英舟(7)滑配连接在机台(1)上,推动气缸(11)的活塞杆端固定在吹气机构(10)上,吹气机构(10)滑配连接在机台(1)上,机台(1)底下设有硅片升降台(4),机台(1)上开设有用于穿过硅片升降台(4)的穿槽。
2.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机,其特征在于:所述三轴机械手(2)由X轴直线模组、Y轴直线模组和Z轴直线模组组成,X轴直线模组的缸体固定在机台(1)上,Y轴直线模组的缸体固定在X轴直线模组的滑座上,Z轴直线模组的缸体固定在Y轴直线模组的滑座上,Z轴直线模组的滑座上固定有吸盘组(3)。
3.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机,其特征在于:所述吸盘组(3)是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成,吸盘组(3)上的所有吸板之间的间距相同,吸板上开设有吸孔,吸孔与吸板内腔相连通,吸板内腔与气泵相连通。
4.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机,其特征在于:所述硅片升降台(4)是由升降气缸(41)、平板(42)和入料花篮(43)组成,入料花篮(43)通过插销连接在平板(42)上,平板(42)固定在升降气缸(41)的活塞杆端。
5.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机,其特征在于:所述花篮直线驱动机构(6)和石英舟直线驱动机构(8)均为直线模组。
6.根据权利要求1所述的全自动扩散装卸片机,其特征在于:所述吹气机构(10)由框体(101)、气嘴(102)和腔室(103)组成,框体(101)顶板上固定有腔室(103),腔室(103)与气嘴(102)固定并连通,腔室(103)与气泵相连通,气嘴(102)位于框体(101)内,框体(101)固定在推动气缸(11)的活塞杆上,框体(101)滑配连接在机台(1)上。
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