CN202186741U - 一种硅片输送中的吸盘结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片输送中的吸盘结构，所述吸盘结构包括吸盘固定板，吸盘固定板固定连接在升降机构上，在所述吸盘固定板上固定设置有三只吸盘脚，在所述吸盘脚上设有高度调节杆，在所述吸盘脚的底部设有吸盘，所述吸盘通过吸盘脚的中空通道与吸气管相连接。该硅片输送吸盘结构，由于三只脚设置，并且具有对脚的高度调整，由此，能够方便地使硅片与吸盘调节在同一水平面上，使之在吸合移动过程中稳定地吸住硅片，保证了硅片在移动过程中的安全性。将该硅片装片输送吸盘结构用于硅片的自动装片设备上，将既安全又快速的完成硅片的自动装片。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工设备，具体涉及一种硅片输送中的吸盘结构。
背景技术
目前的硅片装片都要通过人工装入篮具内，这样既容易对硅晶片造成人为污染，又增加工人的劳动强度，无法提高工作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种工作效率高、不需人工操作，对硅片位置转移方便且安全的硅片装片输送吸盘结构。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种硅片输送中的吸盘结构，所述吸盘结构包括吸盘固定板，其特征在于，吸盘固定板固定连接在升降机构上，在所述吸盘固定板上固定设置有三只吸盘脚，在所述吸盘脚上设有高度调节杆，在所述吸盘脚的底部设有吸盘，所述吸盘通过吸盘脚的中空通道与吸气管相连接。
其中，所述升降机构为气动升降机构，或为螺旋升降机构；所述气动升降机构包括气缸与活塞相配合的升降部件；所述螺旋升降机构包括丝杠与螺母相配合的升降部件。
本实用新型的优点和有益效果在于：该硅片输送吸盘结构，由于三只脚设置，并且具有对脚的高度调整，由此，能够方便地使硅片与吸盘调节在同一水平面上，使之在吸合移动过程中稳定地吸住硅片，保证了硅片在移动过程中的安全性。将该硅片装片输送吸盘结构用于硅片的自动装片设备上，将既安全又快速的完成硅片的自动装片。
附图说明
图1是本实用新型实施例1结构示意图。
图中：1、升降气缸；2、吸气管；3、吸盘固定板；4、吸盘；5、硅片；6、吸盘脚；7、高度调节杆。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
实施例：
如图1所示，本实施例描述的一种硅片输送吸盘结构，它包括吸盘固定板3，其特征是吸盘固定板3固定连接在升降气缸1上，在吸盘固定板3上固定设置有三只吸盘脚6，吸盘脚6上设有高度调节杆7，在吸盘脚6的底部设有吸盘4，吸盘4通过吸盘脚6的中空通道与吸气管2相连接。使用时，通过升降气缸1带动吸盘固定板3的升降，从而带动吸盘4的升降，当吸盘4接触到硅片5时，吸气管2中开通负压，三只吸盘同时吸住硅片5，然后提升升降气缸1，将硅片5移动到所需要的地方，再释放负压，松开硅片5，达到自动位置转移的目的。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (2)
1.一种硅片输送中的吸盘结构，所述吸盘结构包括吸盘固定板，其特征在于，吸盘固定板固定连接在升降机构上，在所述吸盘固定板上固定设置有三只吸盘脚，在所述吸盘脚上设有高度调节杆，在所述吸盘脚的底部设有吸盘，所述吸盘通过吸盘脚的中空通道与吸气管相连接。
2.如权利要求1所述的硅片输送中的吸盘结构，其特征在于，所述升降机构为气动升降机构，或为螺旋升降机构；所述气动升降机构包括气缸与活塞相配合的升降部件；所述螺旋升降机构包括丝杠与螺母相配合的升降部件。
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| CN 201120261292 CN202186741U (zh) | 2011-07-22 | 2011-07-22 | 一种硅片输送中的吸盘结构 |
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| CN 201120261292 CN202186741U (zh) | 2011-07-22 | 2011-07-22 | 一种硅片输送中的吸盘结构 |
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| CN202186741U true CN202186741U (zh) | 2012-04-11 |
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| CN (1) | CN202186741U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103420162A (zh) * | 2013-08-23 | 2013-12-04 | 昆山升东物资有限公司 | 一种高压吸气机装置 |
| CN105619434A (zh) * | 2016-03-28 | 2016-06-01 | 苏州倍特罗智能科技有限公司 | 一种三浮动吸盘结构 |
| CN108750677A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-11-06 | 苏州迈为科技股份有限公司 | 一种大型薄片的吸附装置及传送系统 |
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2011
- 2011-07-22 CN CN 201120261292 patent/CN202186741U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120411 Termination date: 20120722 |