CN209868266U - 一种玻璃晶圆毛坯的加工装置 - Google Patents

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徐峥
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Abstract

本实用新型公开了一种玻璃晶圆毛坯的加工装置,包括第一支撑板,第一支撑板的顶端一侧固定有垂直设置的第二支撑板,第二支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第三支撑板,第三支撑板的底端侧壁转动连接有第一转动柱,第一转动柱的底端侧壁开设有第一凹槽,第一凹槽的两侧侧壁滑动连接有滑块,滑块之间固定有滑板,滑板的一侧侧壁沿其长度方向开设有齿条,第一凹槽的一侧侧壁转动连接有转轴,转轴位于滑板的一侧,转轴的一端延伸至第一凹槽外部固定有转板,且转板与转轴之间垂直设置。本实用新型能够对不同大小和厚度的晶圆进行固定,提高了便捷性,而且能够对不同大小的晶圆进行自动抛光处理,提高了实用性。

Description

一种玻璃晶圆毛坯的加工装置
技术领域
本实用新型涉及晶圆技术领域,尤其涉及一种玻璃晶圆毛坯的加工装置。
背景技术
现有的玻璃晶圆进行加工时,需要对原材料进行抛光处理,传统的抛光无法对不同厚度和大小的晶圆毛坯进行加工抛光,为此,我们提出了一种玻璃晶圆毛坯的加工装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种玻璃晶圆毛坯的加工装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种玻璃晶圆毛坯的加工装置,包括第一支撑板,所述第一支撑板的顶端一侧固定有垂直设置的第二支撑板,所述第二支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第三支撑板,第三支撑板的底端侧壁转动连接有第一转动柱,所述第一转动柱的底端侧壁开设有第一凹槽,第一凹槽的两侧侧壁滑动连接有滑块,滑块之间固定有滑板,滑板的一侧侧壁沿其长度方向开设有齿条,所述第一凹槽的一侧侧壁转动连接有转轴,转轴位于滑板的一侧,所述转轴的一端延伸至第一凹槽外部固定有转板,且转板与转轴之间垂直设置,所述转轴的外侧壁紧配合套接有齿轮,且齿轮与齿条之间啮合传动连接,所述滑板的底端延伸至第一凹槽外部固定有第二转动柱,所述第二转动柱的底端侧壁连接有第一海绵垫。
优选的,所述第一支撑板的顶端侧壁开设有第二凹槽,第二凹槽的底端侧壁固定有驱动电机,驱动电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有转盘。
优选的,所述第二转动柱的外侧壁固定有对称设置的第一连接板,第一连接板的底端侧壁固定有垂直设置的第二连接板,第二连接板的底端侧壁连接有第二海绵垫。
优选的,所述第一支撑板的一端固定有第一固定板,第一固定板的顶端侧壁滑动连接有第二固定板,第二固定板的顶端固定有抛光板。
优选的,所述转板的一侧侧壁开设有对称设置的通孔,通孔的内部滑动套装有固定杆,固定杆的一端延伸至通孔外部共同固定有拉板,且拉板与转板之间固定有复位弹簧,第一转动柱的外侧壁沿圆周方向开设有固定槽,且固定杆与固定槽卡接设置。
优选的,所述第二固定板的一侧侧壁固定有限位板,限位板的一侧侧壁连接有插销。
本实用新型有益效果是:
1:通过设置的第一支撑板、第二支撑板、第三支撑板、第一转动柱、第二转动柱、滑板、齿轮、齿条、转板以及固定杆、拉板、复位弹簧之间的配合,能够对不同大小和厚度的晶圆进行固定,提高了便捷性;
2:通过设置的第一固定板、第二固定板、限位板、驱动电机、转盘、抛光板以及插销之间的配合,能够对不同大小的晶圆进行自动抛光处理,提高了实用性;
本实用新型能够对不同大小和厚度的晶圆进行固定,提高了便捷性,而且能够对不同大小的晶圆进行自动抛光处理,提高了实用性。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种玻璃晶圆毛坯的加工装置的结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种玻璃晶圆毛坯的加工装置的A部分放大结构示意图;
图3为本实用新型提出的一种玻璃晶圆毛坯的加工装置的第一凹槽结构俯视图。
图中:1第一支撑板、2第二支撑板、3第三支撑板、4第一转动柱、5限位板、6抛光板、7第二固定板、8第一固定板、9第一凹槽、10滑板、11齿条、12转轴、13齿轮、14转板、15固定杆、16拉板、17复位弹簧、18第二转动柱、19第一海绵垫、20第一连接板、21第二连接板、22第二凹槽、23驱动电机、24转盘。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
参照图1-3,一种玻璃晶圆毛坯的加工装置,包括第一支撑板1,第一支撑板1的顶端一侧固定有垂直设置的第二支撑板2,第二支撑板2的顶端侧壁固定有垂直设置的第三支撑板3,第三支撑板3的底端侧壁转动连接有第一转动柱4,第一转动柱4的底端侧壁开设有第一凹槽9,第一凹槽9的两侧侧壁滑动连接有滑块,滑块之间固定有滑板10,滑板10的一侧侧壁沿其长度方向开设有齿条11,第一凹槽9的一侧侧壁转动连接有转轴12,转轴12位于滑板10的一侧,转轴12的一端延伸至第一凹槽9外部固定有转板14,且转板14与转轴12之间垂直设置,转轴12的外侧壁紧配合套接有齿轮13,且齿轮13与齿条11之间啮合传动连接,滑板10的底端延伸至第一凹槽9外部固定有第二转动柱18,第二转动柱18的底端侧壁连接有第一海绵垫19。
第一支撑板1的顶端侧壁开设有第二凹槽22,第二凹槽22的底端侧壁固定有驱动电机23,驱动电机23的输出轴延伸至第二凹槽22外部固定有转盘24,第二转动柱18的外侧壁固定有对称设置的第一连接板20,第一连接板20的底端侧壁固定有垂直设置的第二连接板21,第二连接板21的底端侧壁连接有第二海绵垫,第一支撑板1的一端固定有第一固定板8,第一固定板8的顶端侧壁滑动连接有第二固定板7,第二固定板7的顶端固定有抛光板6,转板14的一侧侧壁开设有对称设置的通孔,通孔的内部滑动套装有固定杆15,固定杆15的一端延伸至通孔外部共同固定有拉板16,且拉板16与转板14之间固定有复位弹簧17,第一转动柱4的外侧壁沿圆周方向开设有固定槽,且固定杆15与固定槽卡接设置,第二固定板7的一侧侧壁固定有限位板5,限位板5的一侧侧壁连接有插销。
工作原理:当对不同大小的晶圆毛坯进行抛光处理时,通过拉动拉板16,拉板16带动固定杆15移动,固定杆15与固定槽分离,转动转板14,转板14带动转轴12,转轴12带动齿轮13进行旋转,齿轮13与齿条11之间啮合传动带动滑板10移动,滑板10带动第二转动柱18进行移动,第二转动柱18带动第一连接板20,第一连接板20带动第二连接板21移动,均带动第一海绵垫19、第二海绵垫移动,使第二转动柱18与第二连接板21均抵住晶圆毛坯,松开拉板16,在复位弹簧17的弹力作用下,固定杆15与固定槽卡接设置,移动第二固定板7,第二固定板7带动抛光板27移动,使抛光板6抵住晶圆毛坯的外侧壁,然后插上插销,对抛光板6位置进行固定,最后启动驱动电机23,驱动电机23带动转盘24,转盘24带动晶圆毛坯进行旋转,进行抛光处理,该设计简单快捷,能够对不同大小和厚度的晶圆进行固定,提高了便捷性,而且能够对不同大小的晶圆进行自动抛光处理,提高了实用性。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种玻璃晶圆毛坯的加工装置,包括第一支撑板,其特征在于,所述第一支撑板的顶端一侧固定有垂直设置的第二支撑板,所述第二支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第三支撑板,第三支撑板的底端侧壁转动连接有第一转动柱,所述第一转动柱的底端侧壁开设有第一凹槽,第一凹槽的两侧侧壁滑动连接有滑块,滑块之间固定有滑板,滑板的一侧侧壁沿其长度方向开设有齿条,所述第一凹槽的一侧侧壁转动连接有转轴,转轴位于滑板的一侧,所述转轴的一端延伸至第一凹槽外部固定有转板,且转板与转轴之间垂直设置,所述转轴的外侧壁紧配合套接有齿轮,且齿轮与齿条之间啮合传动连接,所述滑板的底端延伸至第一凹槽外部固定有第二转动柱,所述第二转动柱的底端侧壁连接有第一海绵垫。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆毛坯的加工装置,其特征在于,所述第一支撑板的顶端侧壁开设有第二凹槽,第二凹槽的底端侧壁固定有驱动电机,驱动电机的输出轴延伸至第二凹槽外部固定有转盘。
3.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆毛坯的加工装置,其特征在于,所述第二转动柱的外侧壁固定有对称设置的第一连接板,第一连接板的底端侧壁固定有垂直设置的第二连接板,第二连接板的底端侧壁连接有第二海绵垫。
4.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆毛坯的加工装置,其特征在于,所述第一支撑板的一端固定有第一固定板,第一固定板的顶端侧壁滑动连接有第二固定板,第二固定板的顶端固定有抛光板。
5.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆毛坯的加工装置,其特征在于,所述转板的一侧侧壁开设有对称设置的通孔,通孔的内部滑动套装有固定杆,固定杆的一端延伸至通孔外部共同固定有拉板,且拉板与转板之间固定有复位弹簧,第一转动柱的外侧壁沿圆周方向开设有固定槽,且固定杆与固定槽卡接设置。
6.根据权利要求4所述的一种玻璃晶圆毛坯的加工装置,其特征在于,所述第二固定板的一侧侧壁固定有限位板,限位板的一侧侧壁连接有插销。
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