CN209831729U - 一种衬底片切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种衬底片切割装置，涉及半导体制备设备技术领域，包括方形的载物台及切割刀；所述载物台上设有对称固定在衬底片切割线两侧的一对固定伸缩装置；所述固定伸缩装置卡合在衬底片的两侧；所述切割刀沿衬底片切割线方向设置；所述载物台上设有角度可调的切割臂，所述切割刀连接在所述切割臂上；切割刀的刀尖正对衬底片切割线的一端；还包括设在切割刀对向的定位尖角；所述定位尖角中心线正压在切割线的另一端。还包括设在衬底片被切割一侧的挡板；所述挡板与所述固定伸缩装置平行，挡板设在衬底片正上方。该衬底片切割装置结构简单合理，可以有效的减少碎屑的产生；而且方便规定任意大小的衬底片。

Description

一种衬底片切割装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制备设备技术领域，特别地，涉及到一种衬底片切割装置。

背景技术

目前光学芯片制造实验中，需要将整片的衬底片切割成具有一定大小和形状的碎片。

现有切割衬底片的主要方法是采用刀锯片、砂轮片、金刚石线、激光、高压水刀等切割方式进行单片直线切割；上述的加工方法在切割时作用力直接作用在衬底片的表面上，没有任何辅助工具加入其中，切割过程中的冲击力容易造成衬底片的崩角、破裂，衬底片裂开的方向也难以控制，导致边缘不齐，影响后面的工艺；而且切割时产生的碎屑容易崩溅到衬底片的表面，难以去掉，降低成品芯片的质量；此外不同尺寸的衬底片需要定制不同规格的切割装置，对于实验室等对尺寸多样性要求较高的场合，这些切割装置都给实际操作带来很大不便。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述技术问题，提供了一种衬底片切割装置。该装置结构简单合理，可以有效的减少碎屑的产生；而且方便规定任意大小的衬底片。

本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：

一种衬底片切割装置，包括方形的载物台及切割刀；所述载物台上设有对称固定在衬底片切割线两侧的一对固定伸缩装置；所述固定伸缩装置卡合在衬底片的两侧；

所述切割刀沿衬底片切割线方向设置；所述载物台上设有角度可调的切割臂，所述切割刀连接在所述切割臂上；切割刀的刀尖正对衬底片切割线的一端；还包括设在切割刀对向的定位尖角；所述定位尖角中心线正压在切割线的另一端。

进一步，所述固定伸缩装置包括沿衬底片径向依次设在载物台上的固定块、伸缩杆和卡块；所述卡块与衬底片的竖向周边卡合。

进一步，所述固定块固定在所述载物台上；所述伸缩杆包括螺纹连接的内杆和外管；所述外管包括内螺纹，所述内杆包括与外管匹配的外螺纹；内杆的长度大于外管；所述卡块连接在内杆的端部。

进一步，所述切割刀与衬底片上端面的夹角为α，α＞30°。

进一步，所述挡板包括设在衬底片两侧的竖直连接部和设在两个连接部之间的遮挡部；所述连接部可拆卸的连接在载物台的台面上；所述遮挡部悬空的设在衬底片的上方。

更进一步，所述载物台上设有连接孔；所述连接部与所述连接孔插接。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

本实用新型的衬底片切割装置通过设置固定伸缩装置可以适应方形或圆形不同尺寸衬底片的切割；设置角度可调的切割臂，可以有效的减少碎屑的产生；设置位于衬底片切割线上的定位尖角可以防止切割时产生崩角、破裂及切割偏移；在衬底片上方设置挡板，能够使切割时产生的碎屑被挡板挡回，不至于崩溅到衬底片的表面。

总之，本实用新型的衬底片切割装置结构简单合理，非常适用于实验室等对衬底片尺寸多样性和质量要求高的场合。

附图说明：

图1是本实用新型优选实施例中衬底片切割装置的俯视图；

图2是图1的正视图；

图3是图1的后视图；

图4是图1的右视图；

图5是本实用新型优选实施例中挡板的示意图。

其中：1、载物台；2、切割刀；21、切割臂；3、衬底片；4、衬底片切割线；5、固定伸缩装置；51、固定块；52、伸缩杆；521、内杆；522、外管；53、卡块；6、定位尖角；61、手持部；62、定位部；7、挡板；71、连接部；72、遮挡部。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的实用新型内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：

如图1至图5所示，本实用新型公开了一种衬底片切割装置，包括方形的载物台1及切割刀2；所述载物台1上设有对称固定在衬底片切割线4两侧的一对固定伸缩装置5；所述固定伸缩装置5包括沿衬底片3径向依次设在载物台1上的固定块51、伸缩杆52和卡块53；所述卡块53与衬底片3的竖向周边卡合，从而固定伸缩装置5将衬底片3的相对两侧进行定位。

优选的，所述固定块51固定在所述载物台1上；所述伸缩杆52包括螺纹连接的内杆521和外管522；所述外管522包括内螺纹，所述内杆521包括与外管522匹配的外螺纹；内杆521的长度大于外管522；内杆521的端部连接有所述卡块53；内杆521与外管522可通过螺纹旋转调整伸出长度，从而卡块53将衬底片3卡合；这样通过调节伸缩杆52的长度就可以适应方形或圆形不同尺寸衬底片3的切割。

所述切割刀2沿衬底片切割线4方向设置；所述载物台1上设有角度可调的切割臂21，所述切割刀2连接在所述切割臂21上；切割刀2的刀尖正对衬底片切割线4的一端；所述切割刀2刀尖所在轴线与衬底片3上端面的夹角为α，优选的，α＞30°，更优选的，α＝40°，该角度可以有效的减少碎屑的产生。

为了平衡衬底片3在切割过程中的受力，该切割装置还包括设在切割刀2对向的定位尖角6；所述定位尖角6中心线正压在切割线的另一端；优选的，所述定位尖角6包括手持部61和定位部62；所述定位部62可以为V形或倒V形；当定位部62为V形，所述定位尖角6可以采用V形镊子代替。在切割时，手持定位尖角6按压衬底片切割线4的一端，另一端按压切割刀2，则衬底片3会按照预定的切割线裂开，不会产生偏移；而且由于定位尖角6和切割刀2与衬底片3接触处应力集中，因而不会产生崩角和破裂。

为了使切割过程中产生的碎屑尽可能少的污染衬底片3，该切割装置还包括设在衬底片3被切割一侧的挡板7；所述挡板7与所述固定伸缩装置5平行；挡板7包括设在衬底片3两侧的竖直连接部71和设在两个连接部71之间的遮挡部72；所述连接部71可拆卸的连接在载物台1的台面上；为了防止遮挡部72接触衬底片3，遮挡部72悬空的设在衬底片3的上方，这样在切割时产生的碎屑可以被挡板7挡回，不至于崩溅到衬底片3的表面。优选的，所述载物台1上设有连接孔；所述连接部71与所述连接孔插接，这种可拆卸连接的方式便于对衬底片3装卸。

工作原理：

将衬底片3置于载物台1上，调整固定伸缩装置5使卡块53卡紧衬底片3的两侧，安装挡板7，调整切割刀2的角度，使切割刀2和定位尖角6都位于衬底片切割线4的两端，然后手动按压切割刀2，待衬底片3裂开后，取下切割刀2，松开衬底片3的固定伸缩装置5即可。如果继续将衬底片3切成更小的单元，可以重复上面的步骤。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (7)

1.一种衬底片切割装置，包括方形的载物台及切割刀；其特征在于：所述载物台上设有对称固定在衬底片切割线两侧的一对固定伸缩装置；所述固定伸缩装置卡合在衬底片的两侧；

所述切割刀沿衬底片切割线方向设置；所述载物台上设有角度可调的切割臂，所述切割刀连接在所述切割臂上；切割刀的刀尖正对衬底片切割线的一端；还包括设在切割刀对向的定位尖角；所述定位尖角中心线正压在切割线的另一端。

2.如权利要求1所述的衬底片切割装置，其特征在于：所述固定伸缩装置包括沿衬底片径向依次设在载物台上的固定块、伸缩杆和卡块；所述卡块与衬底片的竖向周边卡合。

3.如权利要求2所述的衬底片切割装置，其特征在于：所述固定块固定在所述载物台上；所述伸缩杆包括螺纹连接的内杆和外管；所述外管包括内螺纹，所述内杆包括与外管匹配的外螺纹；内杆的长度大于外管；所述卡块连接在内杆的端部。

4.如权利要求1所述的衬底片切割装置，其特征在于：所述切割刀与衬底片上端面的夹角为α，α＞30°。

5.如权利要求1至4任一项所述的衬底片切割装置，其特征在于：还包括设在衬底片被切割一侧的挡板；所述挡板与所述固定伸缩装置平行，挡板设在衬底片正上方。

6.如权利要求5所述的衬底片切割装置，其特征在于：所述挡板包括设在衬底片两侧的竖直连接部和设在两个连接部之间的遮挡部；所述连接部可拆卸的连接在载物台的台面上；所述遮挡部悬空的设在衬底片的上方。

7.如权利要求6所述的衬底片切割装置，其特征在于：所述载物台上设有连接孔；所述连接部与所述连接孔插接。