CN209764008U - 五维支撑调整座以及光学元件夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种五维支撑调整座以及光学元件夹持装置。本实用新型的五维支撑调整座包括：底座体；支撑架，设置在底座体上，能够沿Z轴的方向移动；以及依次设置在支撑架内的第一移动板、第二移动板和调整板，其中，支撑架具有底板、与Z轴的方向相垂直的端板、以及两个与X轴的方向相垂直的侧板，第一移动板设置在端板的内表面上，能够沿X轴的方向移动，第二移动板设置在第一移动板上，能够沿Y轴的方向移动，调整板设置在第二移动板上用于安装光学元件夹持机构，能够分别绕X轴和Y轴相对于第二移动板转动，五维支撑调整座还包括支撑架紧定件、第一移动板紧定件以及第二移动板紧定件。

Description

五维支撑调整座以及光学元件夹持装置

技术领域

本实用新型属于激光干涉检测设备技术领域，具体涉及一种五维支撑调整座以及包含该五维支撑调整座的光学元件夹持装置。

背景技术

随着光学元件的加工精度越来越高，激光干涉检测仪器的要求也越来也高。调整座作为激光干涉检测仪器的重要部分，其主要功能是实现光学元器件和其他被测件等在空间内一个或多个自由度的高精度调整及定位，因此调整座的精度、分辨力以及稳定性是影响被测光学元件测量精度的重要因素，因此研究调整架对光学元器件的加工及检测有着重大意义。

现有的五维调整座虽然能够实现光学元件五个自由度的调整及定位，但存在着机械间隙、摩擦磨损和容易出现爬行现象等缺点，使其不能满足高精度精密测量的要求。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种五维支撑调整座以及包含该五维支撑调整座的光学元件夹持装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

<结构一>

本实用新型提供了一种五维支撑调整座，用于对光学元件夹持机构进行支撑并对该光学元件夹持机构进行三维直线移动调整以及二维倾斜调整，其特征在于，包括：底座体；支撑架，设置在底座体上，能够沿Z轴的方向移动；以及依次设置在支撑架内的第一移动板、第二移动板和调整板，其中，支撑架具有底板、与该底板的一个端部相连接并且与Z轴的方向相垂直的端板、以及两个分别与底板的两个侧部相连接并且与X轴的方向相垂直的侧板，第一移动板设置在端板的内表面上，能够沿X轴的方向移动，第二移动板设置在第一移动板上，能够沿Y轴的方向移动，调整板设置在第二移动板上用于安装光学元件夹持机构，能够分别绕X轴和Y轴相对于第二移动板转动，五维支撑调整座还包括支撑架紧定件、第一移动板紧定件以及第二移动板紧定件，支撑架紧定件沿Y轴的方向布置并设置在底座体的一个侧部，底板上设有与该支撑架紧定件的形状相匹配并且沿Z轴的方向延伸的紧定凹槽，支撑架紧定件的一端伸入紧定凹槽而与该紧定凹槽的底壁相触接，从而消除支撑架和底座体在Y轴的方向上的间隙震动，第一移动板紧定件沿Z轴的方向布置并设置端板上，第一移动板紧定件的一端与第一移动板的侧壁相触接，从而消除第一移动板和端板在Z轴的方向上的间隙震动，第二移动板紧定件具有分别位于第二移动板的两个侧部的两个弹性紧定件，弹性紧定件的两端分别与第二移动板和第一移动板的侧部相连接，从而消除第二移动板和第一移动板在Z轴的方向上的间隙震动。

本实用新型提供的五维支撑调整座，还可以具有这样的特征：还包括：倾斜调整单元，用于将调整板安装在第二移动板并对调整板进行倾斜调整，其中，倾斜调整单元包含支撑组件以及第一调整组件和第二调整组件，支撑组件设置在调整板的一个角部区域，并且与第二移动板相连接，第一调整组件和第二调整组件分别设置在调整板上互为对角的两个角部区域，并且与第二移动板相连接，第一调整组件的中心和支撑组件的中心的连线沿Y轴的方向，第二调整组件的中心和支撑组件的中心的连线沿X轴的方向。

本实用新型提供的五维支撑调整座，还可以具有这样的特征：其中，支撑组件含有作为支撑轴承的滚动轴承、支撑轴以及支撑弹簧，支撑轴承嵌设在调整板上，支撑轴的一端与第二移动板相连接，另一端与支撑轴承的内圈相连接，支撑弹簧套设在支撑轴位于调整板和第二移动板之间的部分的外部。

本实用新型提供的五维支撑调整座，还可以具有这样的特征：其中，第一调整组件以及第二调整组件都含有作为调整轴承的滚动轴承、调整轴、推力轴承、调整旋钮以及调整弹簧，调整轴承嵌设在调整板上，调整轴的一端与第二移动板相连接，另一端依次穿过对应的调整轴承的内圈和推力轴承并安装有调整旋钮，调整弹簧套设在调整轴位于调整板和第二移动板之间的部分的外部。

本实用新型提供的五维支撑调整座，还可以具有这样的特征：还包括：用于将支撑架安装在底座上的支撑架安装件、用于将第一移动板安装在支撑架上的第一移动板安装件、以及用于将第二移动板安装在第一移动板上的第二移动板安装件，其中，支撑架安装件、第一移动板安装件以及第二移动板安装件均为滑轨滑块结构。

本实用新型提供的五维支撑调整座，还可以具有这样的特征：还包括：用于驱动支撑架沿Z轴的方向移动的支撑架驱动件、用于驱动第一移动板沿X轴的方向移动的第一移动板驱动件、以及用于驱动第二移动板沿Y轴的方向移动的第二移动板驱动件，其中，支撑架驱动件、第一移动板驱动件以及第二移动板驱动件均为测微头，作为支撑架驱动件的测微头设置在底座体的另一个侧部，该测微头的测杆的自由端与支撑架相连接，作为第一移动板驱动件的测微头设置在一个侧板上，该测微头的测杆的自由端与第一移动板的侧部相连接，作为第二移动板驱动件的测微头设置在第二移动板的顶部，该测微头的测杆的自由端与第一移动板的顶部相连接。

本实用新型提供的五维支撑调整座，还可以具有这样的特征：还包括：与第一移动板驱动件对向设置的复位件，其中，复位件具有压缩弹簧、丝母以及丝杆，第一移动板的侧部设有与压缩弹簧的形状相匹配的弹簧安装孔，压缩弹簧安装在弹簧安装孔内，丝母设置在另一个侧板上，丝杆的一端插设在丝母内，另一端伸入弹簧安装孔内并与压缩弹簧相触接。

<结构二>

本实用新型还提供了一种光学元件夹持装置，其特征在于，包括：<结构一>的五维支撑调整座；以及光学元件夹持机构，安装在调整板远离第二移动板的端面上，用于对光学元件进行夹持固定。

本实用新型提供的光学元件夹持装置，还可以具有这样的特征：其中，光学元件夹持机构包含固定环、可转动地嵌合在该固定环内的旋转环以及用于对光学元件进行夹持的夹持部，夹持部含有三个沿固定环的周向均匀布置的夹持臂，夹持臂的一端设有转轴安装孔和长条状的沿长度方向延伸的导向槽，另一端作为夹持端用于夹持光学元件，旋转环的端面设有分别与三个夹持臂相对应的转轴，固定环的端面设有分别与三个夹持臂相对应的导向销，夹持臂通过转轴安装孔与对应的转轴相配合而可转动地安装在旋转环上的同时，对应的导向销活动设置在导向槽内，使得夹持端朝向或远离旋转环的中心移动，从而夹持或松开光学元件。

本实用新型提供的光学元件夹持装置，还可以具有这样的特征：其中，光学元件夹持机构还包含用于驱动旋转环相对于固定环转动的旋转驱动件，旋转驱动件具有丝母轴、旋转丝杆以及旋转旋钮，旋转环的侧部设有与旋转丝杆的形状相匹配并且沿周向延伸的旋转丝杆安装槽，该旋转丝杆安装槽的两侧壁均设有与丝母轴的形状相匹配的丝母轴安装孔，丝母轴的两端分别活动插设在两个丝母轴安装孔内，丝母轴的中间部位设有沿径向布置且与旋转丝杆相匹配的丝杆安装孔，固定环的侧部上设有与旋转丝杆的形状相匹配的丝杆通孔，旋转丝杆的一端插设在丝杆安装孔内，另一端穿过丝杆通孔并安装有旋转旋钮。

实用新型作用与效果

根据本实用新型所涉及的五维支撑调整座以及包含该五维支撑调整座的光学元件夹持装置，因为底座体、设置在底座体上的支撑架以及依次设置在支撑架内的第一移动板、第二移动板和调整板，支撑架和底座体之间设有能够消除支撑架和底座体在Y轴的方向上的间隙振动的支撑架紧定件，第一移动板和支撑架之间设有能够消除第一移动板和支撑架在Z轴的方向上的间隙振动的第一移动板紧定件，第二移动板和第一移动板之间设有能够消除第二移动板和第一移动板在Z轴的方向的间隙震动的第二移动板紧定件，所以，本实用新型通过紧定件使得各部件之间能够紧密接触，消除部件之间的间隙震动，从而达到更高的分辨力和稳定性，能够更好地满足高精度精密测量的要求；而且，结构紧凑，占用空间小。

附图说明

图1是本实用新型的实施例中光学元件夹持装置的立体结构示意图；

图2是本实用新型的实施例中光学元件夹持装置的分解安装示意图；

图3是本实用新型的实施例中五维支撑调整座的分解安装示意图；

图4是本实用新型的实施例中光学元件夹持机构的分解安装示意图；

图5是本实用新型的实施例中光学元件夹持机构在三个夹持臂处于闭合状态时的结构示意图；以及

图6是本实用新型的实施例中光学元件夹持机构在三个夹持臂处于张开状态时的结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。

图1是本实用新型的实施例中光学元件夹持装置的立体结构示意图；图2是本实用新型的实施例中光学元件夹持装置的分解安装示意图。

如图1和图2所示，本实施例中的光学元件夹持装置100用于对待检测的光学元件进行夹持固定，包括五维支撑调整座10以及光学元件夹持机构30。

图3是本实用新型的实施例中五维支撑调整座的分解安装示意图。

如图1至图3所示，五维支撑调整座10用于对光学元件夹持机构30进行支撑，并对该光学元件夹持机构30进行三维直线移动调整以及二维倾斜调整。在本实施例中，预先设定检测光束的方向为Z轴的方向，垂直于该Z轴的水平方向和竖向方向分别为X轴的方向、Y轴的方向。

五维支撑调整座10包括底座体11、支撑架12、支撑架安装件13、支撑架驱动件14、第一移动板18、第一移动板安装件16、第一移动板驱动件17、第二移动板15、第二移动板安装件19、第二移动板驱动件20、调整板21以及倾斜调整单元22。

如图1至图3所示，底座体11为由金属型材制成的四方形框架，两个侧部分别设有滑轨安装槽111。

如图1至图3所示，支撑架12设置在底座体11上并且能够沿Z轴的方向移动，具有底板121、一个端板122以及两个侧板123。底板121通过支撑架安装件13安装在底座体11上；端板122与底板121的一个端部相连接并且与Z轴的方向相垂直，端板122的中间部位设有用于供检测光束穿过的支撑架通孔122a；两个侧板123分别设置在底板121的两个侧部并且与X轴的方向相垂直，本实施例中，侧部123的形状为下宽上窄的梯形。

如图3所示，支撑架安装件13为滑轨滑块结构，用于将支撑架12安装在底座体11上。支撑架安装件13具有两根支撑架滑轨131以及与该两根支撑架滑轨131分别相匹配的两个支撑架滑块(图中未示出)。两根支撑架滑轨131分别安装在两个滑轨安装槽111内；两个支撑架滑块分别设置在底板121底部的两个侧部上，支撑架12通过两个支撑架滑块对应设置在两根支撑架滑轨131上而可滑动地安装在底座体11上。

如图3所示，支撑架驱动件14用于驱动支撑架12在底座体11上沿Z轴的方向移动，具有微侧头安装座141、支撑架微侧头142以及连接块143。微侧头安装座141设置在底座体11的一个侧部上，支撑架微侧头142设置在微侧头安装座141上，连接块143设置在一个侧板123远离端板122的一端的底部，支撑架微侧头142的测杆的自由端与连接块143相连接。

在本实施例中，底座体11的另一个侧部上设有支撑架紧定件23，该支撑紧定件23为紧定螺钉，该紧定螺钉沿Y轴的方向布置。支撑架12的底板121的侧部设有与该紧定螺钉的形状相匹配并且沿Z轴的方向延伸的紧定凹槽121a，紧定螺钉的头端伸入紧定凹槽121a而与该紧定凹槽121a的底壁相触接，从而限定支撑架12在底座体11上沿Z轴的方向的移动，并且消除设置在支撑架12上的支撑架滑块和设置在底座体11上的支撑架滑轨131在Y轴的方向上的间隙震动。

如图1至图3所示，第一移动板18、第二移动板15以及调整板21依次设置在支撑架12内。

如图1至图3所示，第一移动板18通过第一移动板安装件16设置在端板122的内表面上并且能够沿X轴的方向移动，第一移动板18的中间部位设有供检测光束穿过的第一移动板穿孔18a。

如图3所示，第一移动板安装件16为滑轨滑块结构，用于将第一移动板18安装在端板122上。第一移动板安装件16具有两根第一移动板滑轨161以及与该两根第一移动板滑轨161分别相匹配的两个第一移动板滑块(图中未示出)。两根第一移动板滑轨161分别安装在端板122内表面的上、下部；两个第一移动板滑块分别设置在第一安装板15朝向端板122的端面上，第一移动板18通过两个第一移动板滑块对应设置在两个第一移动板滑轨161上而可滑动地安装在端板122的内表面上。

如图3所示，第一移动板驱动件17用于驱动第一移动板18相对于端板122沿X轴的方向移动。第一移动板驱动件17为测微头，该测微头设置在一个侧板123上，其测杆的自由端与对应的第一移动板18的侧部相连接。

在本实施例中，端板122上设有第一移动板紧定件24，该第一移动板紧定件24为紧定螺钉，该紧定螺钉沿Z轴的方向布置，其头端与第一移动板18朝向端板122的侧壁相触接，从而限定第一移动板相对于端板122沿X轴的方向的移动，并且消除设置在第一移动板18的第一移动板滑块和设置在端板122上的第一移动板滑轨161在Z轴的方向上的间隙震动。

在本实施例中，另一个侧板123与第一移动板驱动件17相对应的部位设有复位件25，该复位件25具有丝母251、丝杆252以及压缩弹簧(图中未示出)。丝母251设置在侧板123上；第一移动板18的侧部设有与压缩弹簧的形状相匹配的弹簧安装孔(图中未示出)，压缩弹簧安装在该弹簧安装孔内；丝杆252的一端插设在丝母251内，另一端伸入弹簧安装孔内并与压缩弹簧相触接。复位件25与第一移动板驱动件17对向设置并相互配合，使得第一移动板18在移动时不容易产生跳动，从而提高了第一移动板18的移动稳定性和精度。

如图1至图3所示，第二移动板15通过第二移动板安装件19设置在第一移动板18远离端板122的端面上并且能够沿Y轴的方向移动，第二移动板15的中间部位设有用于供检测光束穿过的第二移动板通孔15a。

如图3所示，第二移动板安装件19为滑轨滑块结构，用于将第二移动板15安装在第一移动板18上。第二移动板安装件19具有两根第二移动板滑轨191以及与该两根第二移动板滑轨191分别相匹配的两个第二移动板滑块(图中未示出)。两根第二移动板滑轨191分别安装在第一移动板18远离端板122的端面的左、右两侧部；两个第二移动板滑块分别设置在第二安装板15的朝向第一移动板18的端面上，第二移动板15通过两个第二移动板滑块对应设置在两根第二移动板滑轨191上而可滑动地安装在第一移动板18上。

如图3所示，第二移动板驱动件20用于驱动第二移动板15相对于第一移动板18沿Y轴的方向移动。第二移动板驱动件20为测微头，该测微头通过固定块20a设置在第二移动板15顶部的中间位置，测微头的测杆的头端与第一移动板18的顶部相连接。

在本实施例中，第二移动板15与第一移动板18之间设有第二移动板紧定件(图中未示出)，该第二移动板紧定件具有分别位于第二移动板15的两个侧部的两个弹性紧定件。弹性紧定件为弹簧，该弹簧的两端分别与第二移动板15和第一移动板18相对应的侧部相连接，从而限定第二移动板15相对于第一移动板18在Y轴的方向的移动，并且消除设置在第二移动板上的第二移动板滑块和设置在第一移动板18上的第二移动板滑轨19在Z轴的方向上的间隙震动。

如图1至图3所示，调整板21用于安装光学元件夹持机构30，通过倾斜调整单元22设置在第二移动板15远离第一移动板18的端面上，并且能够相对于第二移动板分别绕X轴和Y轴转动而进行二维倾斜。调整板21的中间部位设有供检测光束穿过的调整板通孔21a。

如图3所示，倾斜调整单元22用于将调整板21安装在第二移动板15，并对调整板18进行二维倾斜调整。倾斜调整单元22包含支撑组件221以及第一调整组件222和第二调整组件223。在本实施例中，第一调整组件222的中心和支撑组件221的中心的连线沿Y轴的方向，第二调整组件223的中心和支撑组件221的中心的连线沿X轴的方向。

支撑组件221设置在调整板21的一个角部区域并且与第二移动板15相连接，用于将调整板21活动安装在第二移动板15上。支撑组件221含有支撑轴承221a、支撑轴221b以及支撑弹簧(图中未示出)。支撑轴承221a为滚动轴承，该滚动轴承嵌设在调整板21的一个角部区域；支撑轴221b的一端与第二移动板15上对应的角部区域相连接，另一端与作为支撑轴承221a的滚动轴承的内圈相连接；支撑弹簧套设在支撑轴221b位于调整板21和第二移动板15之间的部分的外部。

第一调整组件222和第二调整组件223分别设置在调整板21上互为对角的两个角部区域，并且与第二移动板15相连接，使得调整板21以支撑轴承221a为旋转圆点并分别绕X轴和Y轴进行旋转，从而实现调整架21相对于第二移动板15的二维倾斜调整。

第一调整组件222含有第一调整轴承222a、第一调整轴222b、第一推力轴承222c、第一调整旋钮222d以及第一调整弹簧(图中未示出)。第一调整轴承222a为滚动轴承，该滚动轴承嵌设在调整板21的角部区域；第一调整轴222b的一端与第二移动板15上对应的角部区域相连接，另一端依次穿过对应的第一调整轴承222a的内圈和推力轴承222c并安装有调整旋钮222d；第一调整弹簧套设在第一调整轴222b位于调整板21和第二移动板15之间的部分的外部。

第二调整组件223含有第二调整轴承223a、第二调整轴223b、第二推力轴承223c、第二调整旋钮223d以及第二调整弹簧(图中未示出)。第二调整轴承223a为滚动轴承，该滚动轴承嵌设在调整板21的角部区域；第二调整轴223b的一端与第二移动板15上对应的角部区域相连接，另一端依次穿过对应的第二调整轴承223a的内圈和推力轴承223c并安装有调整旋钮223d；第二调整弹簧套设在第二调整轴223b位于调整板21和第二移动板15之间的部分的外部。

图4是本实用新型的实施例中光学元件夹持机构的分解安装示意图；图5是本实用新型的实施例中光学元件夹持机构在三个夹持臂处于闭合状态时的结构示意图；图6是本实用新型的实施例中光学元件夹持机构在三个夹持臂处于张开状态时的结构示意图。

如图1、图2以及图4至图6所示，光学元件夹持机构30安装在调整板21远离第二移动板15的端面上，用于对光学元件进行夹持固定。光学元件夹持机构30包含固定环31、旋转环32、旋转环驱动件33以及夹持部34。

固定环31为圆环形，内侧壁上设有环状的旋转导向凹槽311，侧部设有丝杆通孔312。

旋转环32为与固定环31的形状相匹配的圆环形，可转动地嵌合在固定环31的内部。旋转环32的内侧壁上设有多个沿旋转环32的周向均匀间隔布置并且与旋转导向凹槽311相匹配的旋转导向条321，旋转环32通过旋转导向条321设置在旋转导向凹槽311内而可转动地安装在固定环31的内部。旋转环12的侧部设有沿其周向延伸的旋转丝杆安装槽322，该旋转丝杆安装槽322的两侧壁均设有丝母轴安装孔323。

旋转驱动件33用于驱动旋转环32相对于固定环31转动，具有丝母轴331、旋转丝杆332、旋钮座333以及旋转旋钮334。丝母轴331的两端分别活动插设在两个丝母轴安装孔323内，并且丝母轴331的中间部位设有沿其径向布置且与旋转丝杆332相匹配的丝杆安装孔(图中未示出)；旋钮座333设置在固定环31的侧部位于丝杆通孔312的位置处，设有与丝杆通孔312相对应的旋钮座通孔333a；旋转丝杆332的一端位于旋转丝杆安装槽322内并且插设在丝母轴331的丝杆安装孔内，另一端依次穿过丝杆通孔312和旋钮座333的旋钮座通孔333a而伸出旋钮座333的外部，并安装有旋转旋钮334。通过转动旋转旋钮334驱动旋转丝杆332转动，进而通过丝母轴331带动旋转环32在固定环31内进行转动。

夹持部34用于对光学元件进行夹持，含有三个夹持臂341、三个转轴342、三个导向销343以及三个夹持轮344。

三个夹持臂341沿固定环31和旋转环32的周向均匀设置；支撑臂341的一端安装在旋转环32上，该端设有转轴安装孔341a以及长条状的沿其长度方向延伸的导向槽341a；支撑臂341的另一端作为夹持端，用于对光学元件进行夹持。

三个转轴342分别与三个夹持臂341相对应，并且设置在旋转环32的端面上。夹持臂341通过对应的转轴342插入转轴安装孔341a内而可转动地安装在旋转环32上。在本实施例中，转轴342的外部还套设有铜套。

三个导向销343分别与三个夹持臂341相对应，并且设置在固定环31的端面上。夹持臂341通过转轴342和转轴341a相配合而安装在旋转环32上，同时对应的导向销343活动插设夹持臂341上的导向槽341b内，使得在旋转环32进行转动时，夹持臂341在导向销343的导向作用下绕转轴342进行转动，进而使得夹持臂341的夹持端朝向固定环31和旋转环32的中心移动从而对光学元件进行夹持，或者使得夹持臂341的夹持端远离固定环31和旋转环32的中心移动从而松开光学元件。

三个夹持轮344分别安装在三个夹持臂341的夹持端上，用于对光学元件进行夹持。夹持轮344具有与光学元件的形状相匹配的形状，并且通过夹持轮安装螺栓344a安装在夹持臂341的夹持端上。

实施例作用与效果

根据本实施例所涉及的五维支撑调整座以及包含该五维支撑调整座的光学元件夹持装置，因为底座体、设置在底座体上的支撑架以及依次设置在支撑架内的第一移动板、第二移动板和调整板，支撑架和底座体之间设有能够消除支撑架和底座体在Y轴的方向上的间隙振动的支撑架紧定件，第一移动板和支撑架之间设有能够消除第一移动板和支撑架在Z轴的方向上的间隙振动的第一移动板紧定件，第二移动板和第一移动板之间设有能够消除第二移动板和第一移动板在Z轴的方向的间隙震动的第二移动板紧定件，所以，本实施例通过紧定件使得各部件之间能够紧密接触，消除部件之间的间隙震动，从而达到更高的分辨力和稳定性，能够更好地满足高精度精密测量的要求；而且，结构紧凑，占用空间小。

另外，因为倾斜调整单元包含设置在调整板一个角部区域的支撑组件以及分别设置在调整板上互为对角的两个角部区域的第一调整组件和第二调整组件，第一调整组件的中心和支撑组件的中心的连线沿Y轴的方向，第二调整组件的中心和支撑组件的中心的连线沿X轴的方向，使得调整板能够分别绕X轴和Y轴进行转动而倾斜，从而实现对调整板进行二维倾斜调整，结构简单，调节方便。

此外，因为光学元件夹持机构具有固定环、可转动地嵌合在该固定环内的旋转环以及夹持臂，夹持部含有三个沿固定环的周向均匀布置的夹持臂，夹持臂的一端设有转轴安装孔和长条状的沿长度方向延伸的导向槽，另一端作为夹持端用于夹持光学元件，旋转环的端面设有分别与三个夹持臂相对应的转轴，固定环的端面设有分别与三个夹持臂相对应的导向销，夹持臂通过转轴安装孔与对应的转轴相配合而可转动地安装在旋转环上的同时，对应的导向销活动设置在导向槽内，使得夹持端朝向或远离旋转环的中心移动，从而夹持或松开光学元件，所以，通过旋转环在固定环内进行转动就能够实现对光学元件的夹持或松开，而且，结构简单，操作方便，精准度高。

上述实施方式为本实用新型的优选案例，并不用来限制本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种五维支撑调整座，用于对光学元件夹持机构进行支撑并对该光学元件夹持机构进行三维直线移动调整以及二维倾斜调整，其特征在于，包括：

底座体；

支撑架，设置在所述底座体上，能够沿Z轴的方向移动；以及

依次设置在所述支撑架内的第一移动板、第二移动板和调整板，

其中，所述支撑架具有底板、与该底板的一个端部相连接并且与所述Z轴的方向相垂直的端板、以及两个分别与所述底板的两个侧部相连接并且与X轴的方向相垂直的侧板，

所述第一移动板设置在所述端板的内表面上，能够沿所述X轴的方向移动，

所述第二移动板设置在所述第一移动板上，能够沿Y轴的方向移动，

所述调整板设置在所述第二移动板上用于安装所述光学元件夹持机构，能够分别绕所述X轴和所述Y轴相对于所述第二移动板转动，

所述五维支撑调整座还包括支撑架紧定件、第一移动板紧定件以及第二移动板紧定件，

所述支撑架紧定件沿所述Y轴的方向布置并设置在所述底座体的一个侧部，所述底板上设有与该支撑架紧定件的形状相匹配并且沿所述Z轴的方向延伸的紧定凹槽，所述支撑架紧定件的一端伸入所述紧定凹槽而与该紧定凹槽的底壁相触接，从而消除所述支撑架和所述底座体在所述Y轴的方向上的间隙震动，

所述第一移动板紧定件沿所述Z轴的方向布置并设置所述端板上，所述第一移动板紧定件的一端与所述第一移动板的侧壁相触接，从而消除所述第一移动板和端板在所述Z轴的方向上的间隙震动，

所述第二移动板紧定件具有分别位于所述第二移动板的两个侧部的两个弹性紧定件，所述弹性紧定件的两端分别与所述第二移动板和所述第一移动板的侧部相连接，从而消除所述第二移动板和所述第一移动板在所述Z轴的方向上的间隙震动。

2.根据权利要求1所述的五维支撑调整座，其特征在于，还包括：

倾斜调整单元，用于将所述调整板安装在所述第二移动板并对所述调整板进行倾斜调整，

其中，所述倾斜调整单元包含支撑组件以及第一调整组件和第二调整组件，

所述支撑组件设置在所述调整板的一个角部区域，并且与所述第二移动板相连接，

所述第一调整组件和所述第二调整组件分别设置在所述调整板上互为对角的两个角部区域，并且与所述第二移动板相连接，

所述第一调整组件的中心和所述支撑组件的中心的连线沿所述Y轴的方向，

所述第二调整组件的中心和所述支撑组件的中心的连线沿所述X轴的方向。

3.根据权利要求2所述的五维支撑调整座，其特征在于：

其中，所述支撑组件含有作为支撑轴承的滚动轴承、支撑轴以及支撑弹簧，

所述支撑轴承嵌设在所述调整板上，

所述支撑轴的一端与所述第二移动板相连接，另一端与所述支撑轴承的内圈相连接，

所述支撑弹簧套设在所述支撑轴位于所述调整板和所述第二移动板之间的部分的外部。

4.根据权利要求2所述的五维支撑调整座，其特征在于：

其中，所述第一调整组件以及所述第二调整组件都含有作为调整轴承的滚动轴承、调整轴、推力轴承、调整旋钮以及调整弹簧，

所述调整轴承嵌设在所述调整板上，

所述调整轴的一端与所述第二移动板相连接，另一端依次穿过对应的所述调整轴承的内圈和所述推力轴承并安装有调整旋钮，

所述调整弹簧套设在所述调整轴位于所述调整板和所述第二移动板之间的部分的外部。

5.根据权利要求1所述的五维支撑调整座，其特征在于，还包括：

用于将所述支撑架安装在所述底座上的支撑架安装件、用于将所述第一移动板安装在所述支撑架上的第一移动板安装件、以及用于将所述第二移动板安装在所述第一移动板上的第二移动板安装件，

其中，所述支撑架安装件、所述第一移动板安装件以及所述第二移动板安装件均为滑轨滑块结构。

6.根据权利要求1所述的五维支撑调整座，其特征在于，还包括：

用于驱动所述支撑架沿所述Z轴的方向移动的支撑架驱动件、用于驱动所述第一移动板沿所述X轴的方向移动的第一移动板驱动件、以及用于驱动所述第二移动板沿所述Y轴的方向移动的第二移动板驱动件，

其中，所述支撑架驱动件、所述第一移动板驱动件以及所述第二移动板驱动件均为测微头，

作为所述支撑架驱动件的所述测微头设置在所述底座体的另一个侧部，该测微头的测杆的自由端与所述支撑架相连接，

作为所述第一移动板驱动件的所述测微头设置在一个所述侧板上，该测微头的测杆的自由端与所述第一移动板的侧部相连接，

作为所述第二移动板驱动件的所述测微头设置在所述第二移动板的顶部，该测微头的测杆的自由端与所述第一移动板的顶部相连接。

7.根据权利要求6所述的五维支撑调整座，其特征在于，还包括：

与所述第一移动板驱动件对向设置的复位件，

其中，所述复位件具有压缩弹簧、丝母以及丝杆，

所述第一移动板的侧部设有与所述压缩弹簧的形状相匹配的弹簧安装孔，所述压缩弹簧安装在所述弹簧安装孔内，

所述丝母设置在另一个所述侧板上，

所述丝杆的一端插设在所述丝母内，另一端伸入所述弹簧安装孔内并与所述压缩弹簧相触接。

8.一种光学元件夹持装置，其特征在于，包括：

权利要求1-7中任意一项所述的五维支撑调整座；以及

光学元件夹持机构，安装在所述调整板远离所述第二移动板的端面上，用于对光学元件进行夹持固定。

9.根据权利要求8所述的光学元件夹持装置，其特征在于：

其中，所述光学元件夹持机构包含固定环、可转动地嵌合在该固定环内的旋转环以及用于对所述光学元件进行夹持的夹持部，

所述夹持部含有三个沿所述固定环的周向均匀布置的夹持臂，

所述夹持臂的一端设有转轴安装孔和长条状的沿长度方向延伸的导向槽，另一端作为夹持端用于夹持所述光学元件，

所述旋转环的端面设有分别与三个所述夹持臂相对应的转轴，

所述固定环的端面设有分别与三个所述夹持臂相对应的导向销，

所述夹持臂通过所述转轴安装孔与对应的所述转轴相配合而可转动地安装在所述旋转环上的同时，对应的所述导向销活动设置在所述导向槽内，使得所述夹持端朝向或远离所述旋转环的中心移动，从而夹持或松开所述光学元件。

10.根据权利要求9所述的光学元件夹持装置，其特征在于：

其中，所述光学元件夹持机构还包含用于驱动所述旋转环相对于所述固定环转动的旋转驱动件，

所述旋转驱动件具有丝母轴、旋转丝杆以及旋转旋钮，

所述旋转环的侧部设有与所述旋转丝杆的形状相匹配并且沿周向延伸的旋转丝杆安装槽，该旋转丝杆安装槽的两侧壁均设有与所述丝母轴的形状相匹配的丝母轴安装孔，

所述丝母轴的两端分别活动插设在两个所述丝母轴安装孔内，

所述丝母轴的中间部位设有沿径向布置且与所述旋转丝杆相匹配的丝杆安装孔，

所述固定环的侧部上设有与所述旋转丝杆的形状相匹配的丝杆通孔，

所述旋转丝杆的一端插设在所述丝杆安装孔内，另一端穿过所述丝杆通孔并安装有所述旋转旋钮。