CN209680611U - 一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，包括第一掩膜板、第二掩膜板、盖板和放置晶圆的底座，所述底座内分别均匀间隔设置有多个第一条形凹槽和多个第二条形凹槽，在所述第一条形凹槽和第二条形凹槽间预留有凹槽间隔，所述凹槽间隔的宽度大于所述多个第一条形凹槽间的间隔且大于所述多个第二条形凹槽间的间隔，所述第二掩膜板与所述第一条形凹槽和第二条形凹槽分别粘接，所述第一掩膜板和第二掩膜板上分别贯穿设置有与所述多个晶片对应的多个通孔。本实用新型能够避免晶片在挑选过程中产生位移，同时对晶片进行精准定位并提供可靠的支撑保护结构，以及能够大大减少在手动摘除不合格晶片的过程中破坏晶圆的可能性。
Description
技术领域
本实用新型属于晶片挑选治具技术领域，尤其是涉及一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具。
背景技术
近年来，石英晶体产品在全球每年的销售量以15％左右的速度进行增长。随着信息产业的高速发展，石英晶体振荡器因其体积小、重量轻、可靠性高以及频率稳定度高的特点，广泛应用于各种智能设备中，例如：通信设备、工业设备、游戏设备和家用设备等。在石英晶体的生产过程中，经常需要对外观不良的晶片进行摘除。其中，一片33mm*25.1mm的晶圆上往往包含数百颗晶片。
现有技术中，在外观挑选环节需要借助显微镜观察并手动摘除外观不良的晶片，但是，晶圆的厚度极薄，厚度约为20-80微米，轻微外力即可导致晶圆破损，因此在手动摘除时极易损坏晶圆，给实际生产活动带来严重损失。另外，在晶片的挑选过程中往往会产生一定的位移，从而难以实现对晶片的精准定位。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，能够避免晶片在挑选过程中产生位移，同时对晶片进行精准定位并提供可靠的支撑保护结构，以及能够大大减少在手动摘除不合格晶片的过程中破坏晶圆的可能性。
本实用新型实施例提供了一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，包括第一掩膜板、第二掩膜板、盖板和用于放置晶圆的底座，所述盖板的底面与所述第一掩膜板粘接并盖合在所述底座上，所述底座内设置有多个第一条形凹槽和多个第二条形凹槽，其中，所述多个第一条形凹槽间均匀间隔设置，所述多个第二条形凹槽间均匀间隔设置，在所述第一条形凹槽和第二条形凹槽间预留有凹槽间隔，其中，所述凹槽间隔的宽度大于所述多个第一条形凹槽间的间隔且大于所述多个第二条形凹槽间的间隔，所述底座的边缘与所述凹槽间隔的两端对应的位置分别设置有第一边框凹槽和第二边框凹槽，所述第二掩膜板与所述第一条形凹槽和第二条形凹槽分别粘接，所述晶圆上承载有多个晶片，所述第一掩膜板和第二掩膜板上分别贯穿设置有与所述多个晶片对应的多个通孔，所述多个通孔用于突显裸露所述多个晶片。
进一步地，所述底座内的四周边缘上部还设置有用于定位所述晶圆的卡槽，所述晶圆通过所述卡槽放置于所述底座内。
进一步地，所述第一掩膜板通过厌氧胶与所述盖板的底面粘接。
进一步地，所述第二掩膜板通过厌氧胶与所述第一条形凹槽、第二条形凹槽和第三条形凹槽分别粘接。
进一步地，所述第一掩膜板和第二掩膜板的相对两侧均设置有分别与所述第一边框凹槽对应的第一凹槽和与所述第二边框凹槽对应的第二凹槽。
进一步地，所述通孔为矩形通孔，且所述多个通孔呈矩形排布。
进一步地，所述通孔采用腐蚀加工工艺制成。
进一步地，所述晶片挑选治具为金属材料，且采用阳极氧化工艺制成。
进一步地，所述晶片挑选治具的封装尺寸包括1.6mm*1.2mm，2.0mm*1.6mm和3.2mm*2.5mm。
综上所述，本实用新型将所述盖板的底面与所述第一掩膜板粘接并盖合在所述底座上，所述底座内设置有多个第一条形凹槽和多个第二条形凹槽。其中，所述多个第一条形凹槽间均匀间隔设置，所述多个第二条形凹槽间均匀间隔设置，在所述第一条形凹槽和第二条形凹槽间预留有凹槽间隔，其中，所述凹槽间隔的宽度大于所述多个第一条形凹槽间的间隔且大于所述多个第二条形凹槽间的间隔，所述底座的边缘与所述凹槽间隔的两端对应的位置分别设置有第一边框凹槽和第二边框凹槽，所述第二掩膜板与所述第一条形凹槽和第二条形凹槽分别粘接。所述晶圆上承载有多个晶片，所述第一掩膜板和第二掩膜板上分别贯穿设置有与所述多个晶片对应的多个通孔，所述多个通孔用于突显裸露所述多个晶片。如此，能够避免晶片在挑选过程中产生位移，同时对晶片进行精准定位并提供可靠的支撑保护结构，以及能够大大减少在手动摘除不合格晶片的过程中破坏晶圆的可能性。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应该看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本实用新型实施例提供的一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具中底座的立体结构示意图。
图2是本实用新型实施例提供的一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具中底座的平面结构示意图。
图3是本实用新型实施例提供的一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具中盖板的结构示意图。
图4是本实用新型实施例提供的一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具中第一掩膜板的结构示意图。
图5是本实用新型实施例提供的一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具中第二掩膜板的结构示意图。
图标：
第一掩膜板100；第二掩膜板200；盖板300；底座400；第一条形凹槽101；
第二条形凹槽102；第一边框凹槽103；第二边框凹槽104；通孔105；
卡槽106；第一凹槽107；第二凹槽108。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本实用新型的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
如图1-图5所示，本实用新型实施例提供的一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具可以包括第一掩膜板100、第二掩膜板200、盖板300和用于放置晶圆的底座400。其中，所述盖板300的底面与所述第一掩膜板100粘接并盖合在所述底座400上，以将所述第一掩膜板100固定于所述盖板300。所述底座400用于放置晶圆，所述晶圆上承载有多个晶片。另外，所述晶片挑选治具的封装尺寸可以为1.6mm*1.2mm，2.0mm*1.6mm和3.2mm*2.5mm。优选地，所述第一掩膜板100通过厌氧胶与所述盖板300的底面粘接。
本实施例中，所述底座400内设置有多个第一条形凹槽101和多个第二条形凹槽102。其中，所述多个第一条形凹槽101间均匀间隔设置，所述多个第二条形凹槽102间均匀间隔设置，在所述第一条形凹槽101和第二条形凹槽102间预留有凹槽间隔。
具体地，所述凹槽间隔的宽度大于所述多个第一条形凹槽101间的间隔且大于所述多个第二条形凹槽102间的间隔。所述底座400的边缘与所述凹槽间隔的两端对应的位置分别设置有第一边框凹槽103和第二边框凹槽104。所述第二掩膜板200与所述第一条形凹槽101和第二条形凹槽102分别粘接，以对所述第二掩膜板200进行固定。优选地，所述第二掩膜板200通过厌氧胶与所述第一条形凹槽101、第二条形凹槽102和第三条形凹槽分别粘接。
实施时，将所述晶片挑选治具置于显微镜下，用针头摘除不合格的晶片。如此，能够为所述晶圆提供可靠的支撑保护结构，便于晶片在显微镜下移动和观察；以及能够大大减少在手动摘除不合格晶片的过程中破坏晶圆的可能性。
为了突显裸露所述多个晶片，所述第一掩膜板100上贯穿设置有与所述多个晶片对应的多个通孔105，所述第二掩膜板200上也贯穿设置有与所述多个晶片对应的多个通孔105。其中，所述通孔105可以为矩形通孔105，且所述多个通孔105呈矩形排布。实施时，所述通孔105优选采用腐蚀加工工艺制成。
进一步地，所述底座400的四周边缘上部还设置有用于定位所述晶圆的卡槽106，所述晶圆通过所述卡槽106放置于所述底座400内，以防止在挑选所述晶片的过程中使得所述晶圆发生位移，从而能够对晶片进行精准定位。
所述第一掩膜板100和第二掩膜板200的相对两侧均设置有分别与所述第一边框凹槽103对应的第一凹槽107和与所述第二边框凹槽104对应的第二凹槽108。所述第一边框凹槽103、第一凹槽107、第二边框凹槽104和第二凹槽108的相互配合能够便于夹取所述晶圆的边缘，方便操作。
优选地，所述晶片挑选治具主要采用金属材料制造而成，从而具备强度大和可重复利用的特点。所述晶片挑选治具也采用阳极氧化工艺制成，以防止对所述多个晶片造成二次损伤等。
综上所述，本实用新型将所述盖板300的底面与所述第一掩膜板100粘接并盖合在所述底座400上，所述底座400内设置有多个第一条形凹槽101和多个第二条形凹槽102。其中，所述多个第一条形凹槽101间均匀间隔设置，所述多个第二条形凹槽102间均匀间隔设置，在所述第一条形凹槽101和第二条形凹槽102间预留有凹槽间隔，其中，所述凹槽间隔的宽度大于所述多个第一条形凹槽101间的间隔且大于所述多个第二条形凹槽102间的间隔，所述底座400的边缘与所述凹槽间隔的两端对应的位置分别设置有第一边框凹槽103和第二边框凹槽104，所述第二掩膜板200与所述第一条形凹槽101和第二条形凹槽102分别粘接。所述晶圆上承载有多个晶片，所述第一掩膜板100和第二掩膜板200上分别贯穿设置有与所述多个晶片对应的多个通孔105，所述多个通孔105用于突显裸露所述多个晶片。如此，能够避免晶片在挑选过程中产生位移，同时对晶片进行精准定位并提供可靠的支撑保护结构，以及能够大大减少在手动摘除不合格晶片的过程中破坏晶圆的可能性。
以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，其特征在于，包括第一掩膜板、第二掩膜板、盖板和用于放置晶圆的底座，所述盖板的底面与所述第一掩膜板粘接并盖合在所述底座上，所述底座内设置有多个第一条形凹槽和多个第二条形凹槽，其中，所述多个第一条形凹槽间均匀间隔设置，所述多个第二条形凹槽间均匀间隔设置，在所述第一条形凹槽和第二条形凹槽间预留有凹槽间隔，其中，所述凹槽间隔的宽度大于所述多个第一条形凹槽间的间隔且大于所述多个第二条形凹槽间的间隔，所述底座的边缘与所述凹槽间隔的两端对应的位置分别设置有第一边框凹槽和第二边框凹槽，所述第二掩膜板与所述第一条形凹槽和第二条形凹槽分别粘接，所述晶圆上承载有多个晶片，所述第一掩膜板和第二掩膜板上分别贯穿设置有与所述多个晶片对应的多个通孔，所述多个通孔用于突显裸露所述多个晶片。
2.根据权利要求1所述的适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，其特征在于，所述底座内的四周边缘上部还设置有用于定位所述晶圆的卡槽，所述晶圆通过所述卡槽放置于所述底座内。
3.根据权利要求1所述的适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，其特征在于，所述第一掩膜板通过厌氧胶与所述盖板的底面粘接。
4.根据权利要求1所述的适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，其特征在于，所述第二掩膜板通过厌氧胶与所述第一条形凹槽、第二条形凹槽和第三条形凹槽分别粘接。
5.根据权利要求1所述的适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，其特征在于，所述第一掩膜板和第二掩膜板的相对两侧均设置有分别与所述第一边框凹槽对应的第一凹槽和与所述第二边框凹槽对应的第二凹槽。
6.根据权利要求1所述的适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，其特征在于，所述通孔为矩形通孔，且所述多个通孔呈矩形排布。
7.根据权利要求1所述的适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，其特征在于，所述通孔采用腐蚀加工工艺制成。
8.根据权利要求1所述的适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，其特征在于，所述晶片挑选治具为金属材料，且采用阳极氧化工艺制成。
9.根据权利要求1-8任一项所述的适用于1612、2016和3225封装尺寸的晶片挑选治具，其特征在于，所述晶片挑选治具的封装尺寸包括1.6mm*1.2mm，2.0mm*1.6mm和3.2mm*2.5mm。
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