CN209624977U - 带有ffu单元的匀胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种匀胶机，尤其是一种带有FFU单元的匀胶机，属于匀胶机的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述带有FFU单元的匀胶机，包括机架以及位于所述机架上的匀胶腔室；在所述匀胶腔室的顶部设置能提供洁净空气的FFU单元，在匀胶腔室的下部设置用于将气体排出的排风口；在匀胶腔室内设置有多孔工作面板以及设置于所述多孔工作面板上的载液池，在所述载液池内设置用于支撑匀胶衬底的匀胶载盘，在多孔工作面板上设置能封闭载液池的盖板；FFU单元产生的洁净空气进入匀胶腔室内，透过多孔工作面板后能经排风口排出。本实用新型结构紧凑，能提供匀胶工艺中所需的无尘环境，使用方便，安全可靠。

Description

带有FFU单元的匀胶机

技术领域

本实用新型涉及一种匀胶机，尤其是一种带有FFU单元的匀胶机，属于匀胶机的技术领域。

背景技术

在MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）领域，匀胶是光刻工艺的基本步骤之一，即在衬底上滴入少量光刻胶，然后高速旋转衬底，使光刻胶均匀摊开，形成一层均匀的光刻胶薄膜。匀胶工艺对环境洁净度要去很高（通常要百级或千级），空气粉尘颗粒过多或颗粒过大都会对匀胶均匀性产生致命影响。然而百级或千级实验室建造成本太高，目前还有大部分实验室的环境洁净度都达不到要求。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种带有FFU单元的匀胶机，其结构紧凑，能提供匀胶工艺中所需的无尘环境，使用方便，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述带有FFU单元的匀胶机，包括机架以及位于所述机架上的匀胶腔室；在所述匀胶腔室的顶部设置能提供洁净空气的FFU单元，在匀胶腔室的下部设置用于将气体排出的排风口；

在匀胶腔室内设置有多孔工作面板以及设置于所述多孔工作面板上的载液池，在所述载液池内设置用于支撑匀胶衬底的匀胶载盘，在多孔工作面板上设置能封闭载液池的盖板；FFU单元产生的洁净空气进入匀胶腔室内，透过多孔工作面板后能经排风口排出。

多孔工作面板上设置若干允许洁净空气透过的面板孔，在多孔工作面板上设置能控制盖板位置状态的盖体控制机构，通过盖体控制机构能使得盖板压盖在载液池上，或使得盖板与载液池分离。

所述盖体控制机构包括设置于多孔工作面板上的驱动电机以及与所述驱动电机的电机轴连接的盖板连接轴，盖板连接轴的一端与驱动电机的电机轴连接，盖板连接轴的另一端与多孔工作面板上的轴座连接，盖板与盖板连接轴固定连接。

在所述多孔工作面板上还设置能摆动的滴胶手臂以及用于收集残胶的滴胶臂废液罐，滴胶手臂在多孔工作面板上摆动时，滴胶手臂的滴胶口能与匀胶载盘或滴胶臂废液罐对应。

在所述匀胶腔室的正面还设置能升降的匀胶腔室拉门。

在所述机架的底端设置若干均匀分布的支撑底座，在机架上还设置触摸屏。

本实用新型的优点：通过FFU单元能为匀胶腔室提供洁净的空气，通过排风口能实现将气体排出，从而能在匀胶腔室内得到匀胶工艺所需的无尘环境；通过滴胶臂废液罐能收滴胶手臂在闲置时产生的少量残胶，使用方便，安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的气体流动示意图。

图3为本实用新型盖板与载液池分离的示意图。

图4为本实用新型盖板压盖在载液池上的示意图。

附图标记说明：1-FFU单元、2-匀胶腔室、3-匀胶腔室拉门、4-启动按钮、5-急停按钮、6-机架、7-前门板、8-支撑底座、9-显示屏壳体、10-触摸屏、11-扭矩铰链、12-匀胶托盘、13-载液池、14-滴胶手臂、15-多孔工作面板、16-盖板、17-排风口、18-衬底、19-滴胶臂废液罐、20-盖体控制机构、21-驱动电机、22-轴座、23-面板孔以及24-盖板连接轴。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1、图2、图3和图4所示：为了能提供匀胶工艺中所需的无尘环境，本实用新型包括机架6以及位于所述机架6上的匀胶腔室2；在所述匀胶腔室2的顶部设置能提供洁净空气的FFU单元1，在匀胶腔室2的下部设置用于将气体排出的排风口17；

在匀胶腔室2内设置有多孔工作面板15以及设置于所述多孔工作面板15上的载液池13，在所述载液池13内设置用于支撑匀胶衬底18的匀胶载盘12，在多孔工作面板15上设置能封闭载液池13的盖板16；FFU单元1产生的洁净空气进入匀胶腔室2内，透过多孔工作面板15后能经排风口17排出。

具体地，机架6呈柜式，匀胶腔室2位于机架6的顶部，FFU单元1位于匀胶腔室2的顶部，排风口17位于匀胶腔室2的下部。FFU（Fan Filter Unit）单元1是一种自带动力的送风过滤装置，具有过滤功效的模块化的末端送风装置；风机过滤机组从顶部将空气吸入和并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%左右的网速均匀送出，作用为为匀胶工艺营造一个小型无尘环境，即利用FFU单元1能在匀胶腔室2内无尘的匀胶环境，由FFU单元1送入匀胶腔室2内的气体通过排风口17排出匀胶腔室2外，在整个匀胶过程中，FFU单元1处于持续工作状态，从而能有效确保匀胶工艺中的无尘环境。

为了能满足空气流动的需求，匀胶腔室2的底部设置多孔工作面板15，载液池13位于多孔工作面板15的中心区，匀胶载盘12位于载液池13内，通过匀胶载盘12能支撑衬底18，且匀胶载盘12能在载液池13内高速转动，即在衬底18上滴入光刻胶且衬底18跟随匀胶载盘12高速转动时，能实现匀胶的目的。为了避免衬底18从载液池13内飞出，利用盖板16能封闭载液池13，匀胶载盘12带动衬底18高速转动时，由于盖板16封闭载液池13，因此，通过载液池13能存储匀胶过程中产生的残胶。

具体实施时，在机架6内设置驱动匀胶载盘12转动的载盘电机，即通过载盘电机能驱动匀胶载盘12转动，具体驱动匀胶载盘12转动的方式均可以根据需要进行旋转，此处不再赘述。此外，在匀胶载盘12内还设置真空槽道，从而通过真空吸附的形式能将衬底18牢牢地固定在匀胶载盘12上，即确保衬底18能跟随匀胶载盘12同步转动。

进一步地，多孔工作面板15上设置若干允许洁净空气透过的面板孔23，在多孔工作面板15上设置能控制盖板16位置状态的盖体控制机构20，通过盖体控制机构20能使得盖板16压盖在载液池13上，或使得盖板16与载液池13分离。

本实用新型实施例中，面板孔23贯通多孔工作面板15，即FFU单元1产生的洁净空气能透过面板孔23。盖体控制机构20控制盖板16压盖在载液池13上时能实现对载液池13的密封，盖板16与载液池13分离时，能实现将衬底18置于匀胶载盘12上并可实现将光刻胶滴在衬底18上，或者将匀胶后的衬底18取出。

所述盖体控制机构20包括设置于多孔工作面板15上的驱动电机21以及与所述驱动电机21的电机轴连接的盖板连接轴24，盖板连接轴24的一端与驱动电机21的电机轴连接，盖板连接轴24的另一端与多孔工作面板15上的轴座22连接，盖板16与盖板连接轴24固定连接。

本实用新型实施例中，驱动电机21固定在多孔工作面板15上，盖板连接轴24与驱动电机21的电机轴适配连接，盖板16与盖板连接轴24固定连接，从而根据驱动电机21的转动方向，能实现将盖板16压盖在载液池13上或与载液池13分离。当然，盖体控制机构20还可以采用其他的形式，只要能实现盖板16与载液池13之间的配合需要即可，此处不再一一列举。

进一步地，在所述多孔工作面板15上还设置能摆动的滴胶手臂14以及用于收集残胶的滴胶臂废液罐19，滴胶手臂14在多孔工作面板15上摆动时，滴胶手臂14的滴胶口能与匀胶载盘12或滴胶臂废液罐19对应。

本实用新型实施例中，滴胶手臂13能在多孔工作面板15上摆动，滴胶手臂14的滴胶口与匀胶载盘12对应时，滴胶手臂14能在衬底18的中心区滴入光刻胶。滴胶手臂14的滴胶口与滴胶臂废液罐19对应时，通过滴胶臂废液罐19能收集滴胶手臂14在闲置状态产生的少量残胶。当然，为了能实现滴胶的操作，滴胶手臂14还需要与储胶罐连接，滴胶手臂14在多孔工作面板15上的摆动可以通过电机驱动，滴胶手臂14在多孔工作面板15上的具体摆动驱动形式可以根据需要进行选择，此处不再赘述。

在所述匀胶腔室2的正面还设置能升降的匀胶腔室拉门3。本实用新型实施例中，匀胶腔室拉门3位于匀胶腔室2的正面，匀胶腔室拉门3采用能升降的形式，匀胶腔室拉门3的升降可以采用气缸等驱动，当匀胶腔室拉门3打开时，能实现对衬底18的取放或在匀胶腔室2内其他所需的操作。当匀胶腔室拉门3关闭时，不会影响匀胶腔室2内的无尘状态。

进一步地，在所述机架6的底端设置若干均匀分布的支撑底座8，在机架6上还设置触摸屏10。

本实用新型实施例中，支撑底座8均匀分布在机架6的底端，利用支撑底座8能将整个机架6平稳地放置在所需的位置。机架6正面的下部设置可打开的前门板7，通过前门板7能打开机架6的内部。在前门板7的正上方设置前门固定板，在前门固定板上设置启动按钮4以及急停按钮5，启动按钮4可为设备电源开关，急停按钮5可对匀胶载盘12进行紧急制动。触摸屏10的触摸屏壳体9通过扭矩铰链11与机架6的顶部铰接。具体实施时，通过触摸屏10能实现对FFU单元1、驱动电机21、匀胶载盘12等工作状态集中控制，具体进行控制的过程为本技术领域人员所熟知，此处不再赘述。

具体工作时，开启FFU单元1，保持匀胶腔室2内部空气洁净，打开匀胶腔室拉门3及盖板16，将衬底18放在匀胶托盘12上并打开真空设备，以将衬底18吸附在匀胶托盘12上。滴胶手臂14旋转到衬底18中心位置，滴入所需量的光刻胶，然后自动滴胶手臂14旋转回到滴胶臂废液灌19上方，关闭盖板16及匀胶腔室拉门3，通过触摸显示屏（10）上进行自动匀胶的控制，直至完成所需的匀胶操作。

Claims (6)

1.一种带有FFU单元的匀胶机，包括机架（6）以及位于所述机架（6）上的匀胶腔室（2）；其特征是：在所述匀胶腔室（2）的顶部设置能提供洁净空气的FFU单元（1），在匀胶腔室（2）的下部设置用于将气体排出的排风口（17）；

在匀胶腔室（2）内设置有多孔工作面板（15）以及设置于所述多孔工作面板（15）上的载液池（13），在所述载液池（13）内设置用于支撑匀胶衬底的匀胶载盘（12），在多孔工作面板（15）上设置能封闭载液池（13）的盖板（16）；FFU单元（1）产生的洁净空气进入匀胶腔室（2）内，透过多孔工作面板（15）后能经排风口（17）排出。

2.根据权利要求1所述的带有FFU单元的匀胶机，其特征是：多孔工作面板（15）上设置若干允许洁净空气透过的面板孔（23），在多孔工作面板（15）上设置能控制盖板（16）位置状态的盖体控制机构（20），通过盖体控制机构（20）能使得盖板（16）压盖在载液池（13）上，或使得盖板（16）与载液池（13）分离。

3.根据权利要求2所述的带有FFU单元的匀胶机，其特征是：所述盖体控制机构（20）包括设置于多孔工作面板（15）上的驱动电机（21）以及与所述驱动电机（21）的电机轴连接的盖板连接轴（24），盖板连接轴（24）的一端与驱动电机（21）的电机轴连接，盖板连接轴（24）的另一端与多孔工作面板（15）上的轴座（22）连接，盖板（16）与盖板连接轴（24）固定连接。

4.根据权利要求1所述的带有FFU单元的匀胶机，其特征是：在所述多孔工作面板（15）上还设置能摆动的滴胶手臂（14）以及用于收集残胶的滴胶臂废液罐（19），滴胶手臂（14）在多孔工作面板（15）上摆动时，滴胶手臂（14）的滴胶口能与匀胶载盘（12）或滴胶臂废液罐（19）对应。

5.根据权利要求1所述的带有FFU单元的匀胶机，其特征是：在所述匀胶腔室（2）的正面还设置能升降的匀胶腔室拉门（3）。

6.根据权利要求1所述的带有FFU单元的匀胶机，其特征是：在所述机架（6）的底端设置若干均匀分布的支撑底座（8），在机架（6）上还设置触摸屏（10）。