CN209599036U - 一种硅片夹持机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片夹持机构，包括驱动箱、中心转杆和顶块，驱动箱内设有中心转杆，驱动箱通过转轴转动连接有中心转杆，中心转杆的一端穿过驱动箱转动连接有顶块，顶块的四个侧边分别焊接有一个滑杆，四个滑杆分别套接有一个滑套，滑套的上侧均焊接有夹板，滑套的下侧均焊接有圆杆，本实用新型通过设置驱动齿轮、从动齿轮、一号驱动杆和二号驱动杆，单次可驱动中心转杆转动恒定角度，可同时缩短四个夹板与顶块之间的距离，可从硅片四个侧边将硅片夹紧，固定效果极好，方便了硅片的加工流程，且驱动齿轮螺丝固定在伺服电机的输出端，更换不同啮齿长度的驱动齿轮可改变夹持尺寸。
Description
技术领域
本实用新型涉及夹持机构，特别涉及一种硅片夹持机构，属于硅片加工设备技术领域。
背景技术
硅片加工过程中，需要用到多种夹持模具，以方便硅片的打磨、倒角和抛光处理等流程，然而硅片夹持模具的制作成本较高，单个硅片夹持模具不具有多用性，给硅片的加工流程带来了不必要的麻烦。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷而提供，通过设置驱动齿轮、从动齿轮、一号驱动杆和二号驱动杆，解决了单个硅片夹持模具不具有多用性，给硅片的加工流程带来了不必要的麻烦的问题。
实现上述目的的技术方案是：
一种硅片夹持机构，包括驱动箱、中心转杆和顶块，所述驱动箱内设有中心转杆，所述驱动箱通过转轴转动连接有中心转杆，所述中心转杆的一端穿过驱动箱转动连接有顶块，所述顶块的四个侧边分别焊接有一个滑杆，四个所述滑杆分别套接有一个滑套，所述滑套的上侧均焊接有夹板，所述滑套的下侧均焊接有圆杆，所述驱动箱内部螺丝固定有伺服电机，所述伺服电机的输出端螺丝固定有驱动齿轮，所述中心转杆位于驱动箱内的部分套接有从动齿轮，所述中心转杆外侧且位于顶块和驱动箱之间套接有一号驱动杆和二号驱动杆，所述一号驱动杆的两端分别转动连接有一个一号连杆，所述二号驱动杆的两端分别转动连接有一个二号连杆，两个所述一号连杆分别与两个圆杆转动连接，两个所述二号连杆分别与另外两个圆杆转动连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述驱动齿轮与从动齿轮啮合连接，所述驱动齿轮为不完全齿轮。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述一号驱动杆和二号驱动杆位于不同平面，所述一号驱动杆和二号驱动杆相互垂直。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滑杆的横截面为矩形，所述滑杆与滑套滑动连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述驱动箱的一侧螺丝固定有PLC (可编程逻辑控制器)控制器，所述PLC控制器的一侧嵌设有控制面板，所述伺服电机与PLC控制器电性连接，所述PLC控制器为S7-200型号的PLC控制器。
本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置驱动齿轮、从动齿轮、一号驱动杆和二号驱动杆，单次可驱动中心转杆转动恒定角度，可同时缩短四个夹板与顶块之间的距离，可从硅片四个侧边将硅片夹紧，固定效果极好，方便了硅片的加工流程，且驱动齿轮螺丝固定在伺服电机的输出端，更换不同啮齿长度的驱动齿轮可改变夹持尺寸，适用广泛，避免了硅片加工过程中需要制备各种夹持模具的麻烦。
附图说明
图1是本实用新型的侧面剖视图；
图2是本实用新型的俯视图；
图3是图1沿A-A方向的剖视图；
图4是本实用新型顶块与滑杆的连接结构示意图；
图5是图1沿B-B方向的剖视图；
图6是本实用新型驱动齿轮和从动齿轮的连接示意图。
图中：1、驱动箱；2、中心转杆；3、顶块；4、滑杆；5、滑套；6、夹板； 7、圆杆；8、一号驱动杆；9、一号连杆；10、二号驱动杆；11、二号连杆； 12、伺服电机；13、驱动齿轮；14、从动齿轮；15、PLC控制器；16、控制面板。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1-6所示，本实用新型提供一种硅片夹持机构，包括驱动箱1、中心转杆2和顶块3，驱动箱1内设有中心转杆2，驱动箱1通过转轴转动连接有中心转杆2，中心转杆2的一端穿过驱动箱1转动连接有顶块3，顶块3的四个侧边分别焊接有一个滑杆4，四个滑杆4分别套接有一个滑套5，滑套5的上侧均焊接有夹板6，滑套5的下侧均焊接有圆杆7，驱动箱1的一侧螺丝固定有PLC控制器15，PLC控制器15的一侧嵌设有控制面板16，驱动箱1内部螺丝固定有伺服电机12，伺服电机12的输出端螺丝固定有驱动齿轮13，中心转杆2位于驱动箱1内的部分套接有从动齿轮14，中心转杆2外侧且位于顶块 3和驱动箱1之间套接有一号驱动杆8和二号驱动杆10，一号驱动杆8的两端分别转动连接有一个一号连杆9，二号驱动杆10的两端分别转动连接有一个二号连杆11，两个一号连杆9分别与两个圆杆7转动连接，两个二号连杆11分别与另外两个圆杆7转动连接。
驱动齿轮13与从动齿轮14啮合连接，驱动齿轮13为不完全齿轮，便于传动，且单次可驱动中心转杆2恒定角度，一号驱动杆8和二号驱动杆10位于不同平面，一号驱动杆8和二号驱动杆10相互垂直，使得两驱动机构均可正常运行，滑杆4的横截面为矩形，滑杆4与滑套5滑动连接，便于滑杆4水平移动，伺服电机12与PLC控制器15电性连接，PLC控制器15为S7-200型号的PLC控制器15，便于操控。
具体的，在使用时，操作控制面板16，PLC控制器15可命令伺服电机12 正转或反转，驱动齿轮13为不完全齿轮，单次转动可驱动从动齿轮14转动一定角度，从而可驱动中心转杆2转动恒定角度，一号驱动杆8和二号驱动杆10 均可随中心转杆2转动恒定角度，转动过程中，一号连杆9与一号驱动杆8之间夹角将会变小，二号驱动杆10与二号连杆11之间的夹角也会变小，此过程可拉动滑套5同时向顶块3移动，可同时缩短四个夹板6与顶块3之间的距离，硅片位于顶块3顶侧，四个夹板6可从硅片四个侧边将硅片夹紧，同理，伺服电机12单次反向转动，四个夹板6将会相互远离，此时取下硅片即可，驱动齿轮13螺丝固定在伺服电机12的输出端，更换不同啮齿长度的驱动齿轮13 即可控制夹板6的移动距离，从而可改变装置可夹持硅片的尺寸，本硅片夹持机构操作方便，可从硅片四个侧边将硅片夹紧，固定效果极好，方便了硅片的加工流程。
本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置驱动齿轮、从动齿轮、一号驱动杆和二号驱动杆，单次可驱动中心转杆转动恒定角度，可同时缩短四个夹板与顶块之间的距离，可从硅片四个侧边将硅片夹紧，固定效果极好，方便了硅片的加工流程，且驱动齿轮螺丝固定在伺服电机的输出端，更换不同啮齿长度的驱动齿轮可改变夹持尺寸，适用广泛，避免了硅片加工过程中需要制备各种夹持模具的麻烦。
以上实施例仅供说明本实用新型之用，而非对本实用新型的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由各权利要求所限定。
Claims (5)
1.一种硅片夹持机构，包括驱动箱(1)、中心转杆(2)和顶块(3)，其特征在于，所述驱动箱(1)内设有中心转杆(2)，所述驱动箱(1)通过转轴转动连接有中心转杆(2)，所述中心转杆(2)的一端穿过驱动箱(1)转动连接有顶块(3)，所述顶块(3)的四个侧边分别焊接有一个滑杆(4)，四个所述滑杆(4)分别套接有一个滑套(5)，所述滑套(5)的上侧均焊接有夹板(6)，所述滑套(5)的下侧均焊接有圆杆(7)，所述驱动箱(1)内部螺丝固定有伺服电机(12)，所述伺服电机(12)的输出端螺丝固定有驱动齿轮(13)，所述中心转杆(2)位于驱动箱(1)内的部分套接有从动齿轮(14)，所述中心转杆(2)外侧且位于顶块(3)和驱动箱(1)之间套接有一号驱动杆(8)和二号驱动杆(10)，所述一号驱动杆(8)的两端分别转动连接有一个一号连杆(9)，所述二号驱动杆(10)的两端分别转动连接有一个二号连杆(11)，两个所述一号连杆(9)分别与两个圆杆(7)转动连接，两个所述二号连杆(11)分别与另外两个圆杆(7)转动连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片夹持机构,其特征在于，所述驱动齿轮(13)与从动齿轮(14)啮合连接，所述驱动齿轮(13)为不完全齿轮。
3.根据权利要求1所述的一种硅片夹持机构,其特征在于，所述一号驱动杆(8)和二号驱动杆(10)位于不同平面，所述一号驱动杆(8)和二号驱动杆(10)相互垂直。
4.根据权利要求1所述的一种硅片夹持机构,其特征在于，所述滑杆(4)的横截面为矩形，所述滑杆(4)与滑套(5)滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种硅片夹持机构,其特征在于，所述驱动箱(1)的一侧螺丝固定有PLC控制器(15)，所述PLC控制器(15)的一侧嵌设有控制面板(16)，所述伺服电机(12)与PLC控制器(15)电性连接，所述PLC控制器(15)为S7-200型号的PLC控制器(15)。
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| CN201920145958.8U CN209599036U (zh) | 2019-01-28 | 2019-01-28 | 一种硅片夹持机构 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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| CN201920145958.8U Active CN209599036U (zh) | 2019-01-28 | 2019-01-28 | 一种硅片夹持机构 |
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| CN (1) | CN209599036U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112140163A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-12-29 | 谢金香 | 一种妇产科用益母草切割设备 |
| CN113977034A (zh) * | 2021-10-19 | 2022-01-28 | 沈阳航空航天大学 | 一种大型金属结构增材连接制造装置及方法 |
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2019
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Cited By (3)
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| CN112140163A (zh) * | 2020-08-27 | 2020-12-29 | 谢金香 | 一种妇产科用益母草切割设备 |
| CN112140163B (zh) * | 2020-08-27 | 2022-02-22 | 青岛市妇女儿童医院 | 一种妇产科用益母草切割设备 |
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