CN209578079U - 一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具。本实用新型所述的用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，包括一底座和一无缝钢管，所述无缝钢管固定在所述底座上，所述无缝钢管的内壁设置一抛光层，在所述抛光层的上还设置一氮化硼涂料层。本实用新型的一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，由左右开模改为无缝钢管，避免了铸锭时裂纹的产生，虽然在脱模时需要将无缝钢管铣开，无缝钢管是一次性的，但是与原来相比，因为避免了靶材裂纹，使得投入原料大大减少，还提高了成材率避免浪费原料，且生产周期大大减少，提高了效率。

Description

一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具

技术领域

本实用新型涉及靶材铸锭模具，特别是涉及一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具。

背景技术

铝通过掺杂少量铜形成铝铜合金，用于制作出铝铜磁控溅射靶材，该合金主要用于TP电极导线镀膜，能使TP导线电阻率大大降低，导电性能大大提升。而随着科学技术的发展，对于触摸屏电极的工艺，由于触控尺寸不断加大，对电极线路导电性要求越来越高。铝铜合金有望成为TP电极下一代主流工艺。

申请人在靶材生产过程中，在进行浇注铸锭过程中，所使用的模具为左右开模，如图1所示，所述模具由左右两个半圆筒型模具拼装制成，两模具在轴向边缘通过螺栓连接。该模具在进行铸锭时，会使得出模的成品产生裂纹，因为依据铝铜材料的性能，流动性和韧性不好，有热裂倾向，在收缩时，如果模具有缺陷，会在缺陷处形成应力，当应力较大时，会在该处形成裂纹。而现有技术使用的模具为左右开模式，在接合处会有1-2MM的裂缝，当料在充型时会在此处形成极大的收缩应力，导致裂纹的产生。而裂纹的产生对后续加工影响很大。

出模成品有裂纹的地方不能在进行加工使用，这样就导致在进行铸锭时必须加大投入料，使得铸锭出模的产品外径更大才有利于后期加工。依据铝铜订单尺寸为OD154/151*ID125*1550，根据材料的性能，判断会产生裂纹，申请人加大了加工佘量，如图1所示，将模具内径设定为180MM，铸锭长度为650MM，铸锭完成后发现有很多裂纹，导致投入7炉料，才出1根成品，且生产周期也要增加7天。这样一来就导致生产成本大大增加，成材率也大大降低，且加工效率也不高。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的在于，提供一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具。以有效解决现有技术中的不足。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，包括一底座和一无缝钢管，所述无缝钢管固定在所述底座上，所述无缝钢管的内壁设置一抛光层，在所述抛光层的上还设置一氮化硼涂料层。

进一步地，所述无缝钢管的内径为164-166mm，长度为900-915mm。

进一步地，所述无缝钢管的外壁对称固定设置有吊把。

进一步地，所述无缝钢管的外壁上沿轴向方向对称设置两条切割标注线。

进一步地，所述无缝钢管的外壁沿轴向方向对称设置两条切割凹槽。

与现有技术相比，本实用新型用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，具有以下优点：

1、本实用新型的用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，将左右开模改为无缝钢管，可以使得模具的内径由原来的180mm减少至164-166mm，铸锭长度由原来的650mm能增加到915mm，因为没有裂纹产生，只需要投入2炉料就可以做成1根成品，原材料减少了3倍以上，大大减少了原材料的投入。

2、还能提高成材率，节省成本。采用左右开模式时，计算原材料成本，7炉原料，每炉50公斤，高纯铝每公斤40元，则做一根成品需要原料50*7*40＝14000元，而改为无缝钢管后，只需，2*55*40＝4400，通过计算每根成品可以节省原料将近10000元，按每年200根算，可节约200多万元。

3、提高效率，减少生产周期。因为铸锭时有裂纹的产生，导致后期加工时生产周期要增长，需要12天/根，而改为无缝钢管后，每根只需5天，大大减少了生产周期。

为了更好地理解和实施，下面结合附图详细说明本发明。

附图说明

图1为现有技术中左右开模式模具结构示意图；

图2为本实用新型模具结构示意图；

图3为本实用新型无缝钢管外壁设有切割标注线的结构示意图；

图4为本实用新型无缝钢管外壁设有切割凹槽的结构示意图。

图中：1、底座；2、无缝钢管；3、吊把；4、切割标注线；5、切割凹槽。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型作进一步详细描述

如图2所示，图2为本实用新型模具结构示意图，一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，包括一底座1和一无缝钢管2，所述无缝钢管2通过焊接固定在所述底座1上，所述无缝钢管2的内壁先通过抛光机进行了抛光处理形成了一抛光层，抛光处理可以将模具内部的金属氧化物去掉并将模具内部的凹凸处磨平，抛光后，再对无缝钢管内壁喷涂氮化硼涂料形成一氮化硼涂料层，氮化硼涂料层可以起到润滑作用，容易脱模。

与现有技术中的左右开模式模具相比，本实用新型将所述无缝钢管2的内径由180mm减至164-166mm，而模具长度由原来的650mm增加到900-915mm，因为没有裂纹的产生使得投入料由原来的7炉减少到2炉即可生产出一根成品，大大降低了成本。另外后续的加工也更加快。

优选的，所述无缝钢管2的外壁对称固定设置有吊把3，吊把3与无缝钢管2可通过焊接方式固定，吊把3的设置可以方便对模具进行吊挂以及后续加工处理。

本实用新型的使用过程为：将液态铜铝合金缓慢浇注到无缝钢管2中进行铸锭，等待模具冷却至室温，先将模具的底座1和吊把3锯掉，然后再通过铣床将模具铣开两半，取出靶材。先锯掉的底座1和吊把3可以重复利用。

为了切割准确方便，所述无缝钢管的外壁上沿轴向方向对称设置两条切割标注线4，或者在所述无缝钢管的外壁沿轴向方向对称设置两条切割凹槽5，如图3和图4所示，图3为本实用新型无缝钢管外壁设有切割标注线的结构示意图，图4为本实用新型无缝钢管外壁设有切割凹槽的结构示意图。沿着切割线或者切割凹槽将无缝钢管铣开为两半，然后将靶材脱模取出。

本实用新型的一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，由左右开模改为无缝钢管，避免了铸锭时裂纹的产生，虽然在脱模时需要将无缝钢管铣开，无缝钢管是一次性的，但是与原来相比，因为避免了靶材裂纹，使得投入原料大大减少，还提高了成材率，避免浪费原料，且生产周期大大减少，提高了效率，通过计算每根成品可以节省原料将近10000元。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，其特征在于：包括一底座和一无缝钢管，所述无缝钢管固定在所述底座上，所述无缝钢管的内壁设置一抛光层，在所述抛光层的上还设置一氮化硼涂料层。

2.根据权利要求1所述的一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，其特征在于：所述无缝钢管的内径为164-166mm，长度为900-915mm。

3.根据权利要求1所述的一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，其特征在于：所述无缝钢管的外壁对称固定设置有吊把。

4.根据权利要求1所述的一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，其特征在于：所述无缝钢管的外壁上沿轴向方向对称设置两条切割标注线。

5.根据权利要求1所述的一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，其特征在于：所述无缝钢管的外壁沿轴向方向对称设置两条切割凹槽。

6.根据权利要求1所述的一种用于生产铝铜磁控溅射靶材的模具，其特征在于：所述无缝钢管与底座通过焊接方式固定连接。