CN209567998U - 基板切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例中的一种基板切割装置，包括：划片单元，包括划片头，其具有在基板上形成划线的划片轮；以及将基板移送至划片单元的移送单元。划片头包括：具有划片轮的划片模块，使划片模块向着垂直方向移动的垂直移动模块，以及测量划片模块的垂直振动的垂直振动检测模块。

Description

基板切割装置

技术领域

本实用新型涉及一种基板切割装置，用于切割基板。

背景技术

通常，用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等使用从单元玻璃面板(以下称为“单元基板”)，所述单元玻璃面板是通过将如玻璃等脆性母体玻璃面板(以下称为“基板”)切割成预定尺寸而获得。

将基板切割成单元基板的工序包括，沿着成为切割基板的基准的预定切割线，使用如钻石等材料制成的划片轮按压基板的同时，移动划片轮在基板上形成划线的划片工序。

在划片工序中，以基板的移送方向为基准，在基板的前侧端部和后侧端部被支撑的状态下，在基板的前侧端部和后侧端部之间的领域水平移动划片轮，则可以在基板上形成划线。同时，划片轮向着基板向垂直方向移动，从而使划片轮按压基板。

如上所述，为了在基板上形成划线，划片轮向水平方向及垂直方向移动，因外部的冲击、安装误差等多种原因，划片轮可能无法圆滑地进行移动，在这种情况下可能会出现划片轮不能移动到基板的准确位置的问题。

实用新型内容

本实用新型为了解决所述问题，本实用新型的目的在于提供一种基板切割装置，可以使划片单元的划片轮位于基板上的准确位置。

为了达到所述目的，本实用新型提供一种基板处理装置，包括：划片单元，包括划片头，其具有在基板上形成划线的划片轮；以及将基板移送至划片单元的移送单元。划片头包括：具有划片轮的划片模块，使划片模块向着垂直方向移动的垂直移动模块，以及测量划片模块的垂直振动的垂直振动检测模块。

本实用新型实施例中的基板处理装置还包括，以测量的垂直振动为基准，控制垂直移动模块的控制单元。

另外，为了达到所述目的，本实用新型实施例中的基板处理装置，包括：划片单元，包括划片头，其具有在基板上形成划线的划片轮；以及将基板移送至划片单元的移送单元。划片头包括：具有划片轮的划片模块，使划片模块向着水平垂直方向移动的水平移动模块，以及测量划片模块的水平振动的水平振动检测模块。

本实用新型实施例中的基板处理装置还包括，以测量的水平振动为基准，控制水平移动模块的控制单元。

水平移动模块包括：向水平方向延长的多个引导部件；连接于划片模块，并可移动地被支撑在多个引导部件的连接部件；以及水平移动连接部件的驱动部。

驱动部包括与连接部件相连接的轴，以及与轴相连接并使轴沿着水平方向前进或后退的马达。

驱动部包括与连接部件相连接的轴，以及与轴相连接，在气压或油压作用下运行并使轴沿着水平方向前进或后退的致动器。

实用新型效果

本实用新型实施例中的基板切割装置，测量通过垂直移动模块和水平移动模块移动的划片模块的垂直振动和水平振动，并根据测量的垂直振动和水平振动控制垂直移动模块和水平移动模块。故而可以更加准确地控制划片模块的垂直移动和水平移动，由此可以使划片轮位于基板上的准确位置。

本实用新型实施例中的基板切割装置，把持基板的后行端的夹具模块收纳于形成在支撑台的收纳部，可以在与支撑台的支持面同样的高度把持基板。所以，基板稳定地被支撑在支撑台上，并被夹具模块稳定地把持着。所以，基板可以被划片单元稳定地移送，使划片轮位于基板上的准确位置。

附图说明

图1和图2是概略表示本实用新型实施例中的基板切割装置的示意图。

图3和图4是概略表示本实用新型实施例中的基板切割装置的第一移送单元及连接模块的示意图。

图5和图6是概略表示本实用新型实施例中的基板切割装置的夹具模块的示意图。

图7是概略表示本实用新型实施例中的基板切割装置的划片单元具有的划片头的示意图。

图8是本实用新型实施例中的基板切割装置的划片单元具有的划片头的控制方块图。

图9至图12是依次表示本实用新型实施例中的基板切割装置的第一移送单元、划片单元以及第二移送单元的运行过程的示意图。

图13及图14是概略表示本实用新型另一实施例的基板切割装置的第一移送单元及连接模块的示意图。

图15及图16是本实用新型又一实施例的基板切割装置的第一移送单元及连接模块的示意图。

附图标记：

10:第一移送单元

20:第二移送单元

30:划片单元

90:控制单元

具体实施方式

以下，参照附图对本实用新型实施例的基板切割装置进行说明。

在本实用新型实施例中的基板切割装置所切割的对象是第一基板和第二基板贴合形成的贴合基板。例如，第一基板可以包括薄膜晶体管，第二基板可以包括滤色器。也可以是相反结构，即第一基板可以包括滤色器，第二基板可以包括薄膜晶体管。以下，将贴合基板简称为基板，将暴露于外部的第一基板的表面称为第一面，将暴露在外部的第二基板的表面称为第二面。

将进行切割工序的基板所移送方向定义为Y轴方向，将垂直于基板移送方向(Y轴方向)的方向定义为X轴方向。并且，将垂直于放置基板的X-Y平面的方向定义为Z轴方向。

如图1至图4所示，本实用新型实施例中的基板切割装置包括：划片单元30，在基板S上形成划线；将基板S移送至划片单元30的第一移送单元10；将基板S从划片单元30移送至后续工序的第二移送单元20；以及控制基板切割装置的构成部件的运行的控制单元90。

划片单元30在基板S的第一面和第二面分别形成沿X轴方向的划线。

划片单元30包括向X轴方向延长的第一框体31，能向X轴方向移动地设置在第一框体31的第一划片头39，在第一框体31下方与第一框体31平行地向X轴方向延长的第二框体33，以及能向X轴方向移动地设置在第二框体33的第二划片头39。

第一框体31在X轴方向上设置有多个第一划片头39，第二框体33在X轴方向上设置有多个第二划片头39。第一框体31及第二框体33之间形成有供基板S通过的空间。第一框体31及第二框体33可以作为单个部件分别制作而组装，也可以制作为一体。

第一划片头39和第二划片头39可以沿Z轴方向相互对向设置。第一划片头39和第二划片头39分别具有划片轮51。设置在第一划片头39的划片轮51和设置在第二划片头39的划片轮51，沿Z轴方向相互对向设置。

一对划片轮51可以分别按压基板S的第一面及第二面。在一对划片轮51分别按压基板S的第一面及第二面的状态下，第一划片头39和第二划片头39相对于基板S向X轴方向移动，由此在基板S的第一面及第二面沿X轴方向形成划线。

并且，第一划片头39和第二划片头39分别相对于第一框体31和第二框体33，能够向Z轴方向移动。为此，在第一划片头39、第二划片头39和第一框体31、第二框体33之间，具有通过气压或油压运行的致动器，在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆装置等直线移动装置。

第一划片头39和第二划片头39分别相对于第一框体31和第二框体33向Z轴方向移动，能够使一对划片轮51按压在基板S，或从基板S上隔开。然后，通过调整第一划片头39及第二划片头39向Z轴方向移动的程度，可以调整一对划片轮51按压在基板S的按压力。并且，通过第一划片头39和第二划片头39向Z轴方向移动，可以调整一对划片轮51对基板S的切削深度。

第一移送单元10包括：支撑基板S的支撑台11；把持支撑在支撑台11的基板S的后行端的夹具模块12；与夹具模块12相连，并向X轴方向延长的支撑杆13；与支撑杆13相连，并向Y轴方向延长的第一导轨14；邻接于划片单元30，漂浮或吸附基板S而支撑基板S的第一板15，以及将夹具模块12选择性地连接到支持台11的连接模块16。

第一板15可以漂浮或吸附基板S。例如，第一板15的表面可以形成与气体供给源及真空源连接的多个槽。当气体从气体供给源供应至第一板15的多个槽时，基板S可从第一板15漂浮。并且，在真空源形成的负压作用下，气体被吸入第一板15的多个槽时，基板S可以吸附于第一板15。

在基板S从第一板15漂浮的状态下，基板S可以与第一板15无摩擦地移动。并且，在基板S的第一面及第二面形成划线的过程中，基板S被吸附并固定于第一板15。

支撑台11能够沿着Y轴方向往返移动。随着支撑台11向着Y轴方向移动，支撑台11上支撑的基板S向Y轴方向移动。支撑台11包括真空台、皮带等能够支撑基板S的同时向着水平方向移动的多样结构。

支撑台11可以由具有基板S的整体面积以上的面积的一个皮带构成。由于支撑台11由一个皮带构成，可以防止因多个皮带沿X轴方向间隔布置的结构而可能会发生的问题。当支撑台11由皮带构成时，支撑台11由多个带轮111支撑。多个带轮111中的至少一个可以是用于提供使支撑台11旋转的驱动力的驱动带轮。

支撑台11上可以具有支撑面，基板S的第一面和第二面支撑在支撑面上。在支撑台11的支撑面上可以形成有收容部112，夹具模块12插入并收容在收容部112。多个收容部112可以沿X轴方向以预定的间隔布置，以便对应于多个夹具模块12。收容部112的个数可以与夹具模块12的个数相同。收容部112可以形成为将支撑台11沿Z轴方向贯通的贯通孔的形式。但是，本实用新型不限于此，收容部112可以形成为不贯通支撑台11，而是在支撑台11上凹陷形成的凹槽的形式。

作为一个例子，夹具模块12可以选择性地收容在收容部112。即，夹具模块12可以沿Z轴方向移动并收容在收容部112或从收容部112脱离开。作为另一个例子，夹具模块12可以一直保持收容在收容部112的状态。

如此，夹具模块12可以收容在形成于支撑台11上的收容部112，因此无需为了使夹具模块12把持基板S的后行端而以在X方向上隔离配置的多个皮带构成支撑台11。因此，可以防止因多个皮带沿着X轴方向间隔配置的结构而可能会发生的问题。

支撑架13和第一导轨14之间可以设置有如使用气压或液压的致动器、通过电磁相互作用操作的直线电机或滚珠丝杠等直线移动机构。因此，在夹具模块12把持基板S的后行端的状态下，支撑架13通过直线移动机构沿Y轴方向移动，由此基板S可以沿Y轴方向被移送。此时，支撑台11随着夹具模块12的移动同步移动，并能够稳定支撑基板S。

夹具模块12可以加压基板S的后行端并保持。作为另一个例子，夹具模块12可以具有与真空源连接的真空孔以能够吸附基板S。

多个夹具模块12可以沿着支撑架13并向着X轴方向布置。夹具模块12可以随着沿支撑架13延伸的导向件18沿X轴方向移动。为此，夹具模块12和导向件18之间可以设置有如使用气压或液压的致动器、通过电磁相互作用操作的直线电机或滚珠丝杠等直线移动机构。因此，多个夹具模块12通过直线移动机构沿X轴方向移动，可以调节多个夹具模块12之间的间隔。因此，多个夹具模块12可以对应于基板S的宽度适当地布置，从而能够稳定地把持基板S。多个夹具模块12通过直线移动机构沿X轴方向移动，由此夹具模块12可以位于分别对应于支撑台11的多个收容部112的位置，而且可以调整多个收容部112中的多个夹具模块12的位置。

夹具模块12和支撑架13之间可以设置有将夹具模块12沿Z轴方向移动的移动模块19。移动模块19可以采用如使用气压或液压的致动器、通过电磁相互作用操作的直线电机或滚珠丝杠等直线移动机构。当基板S被送入支撑台11或者从支撑台11送出时，夹具模块12通过移动模块19从支撑台11间隔开地移动，由此，能够防止夹具模块12和基板S之间的干涉。

夹具模块12通过移动模块19沿Z轴方向移动并可以收容在支撑台11的收容部112或从收容部112脱离。

如图3所示，在夹具模块12从支撑台11间隔开地移动的状态中，夹具模块12可以从支撑台11的收容部112间隔开。因此，在基板S被送入支撑台11的过程中，能够防止基板S和夹具模块12之间的干涉。

如图4所示，夹具模块12可以通过移动模块19沿Z轴方向移动，从而收容在支撑台11的收容部112内。因此，基板S可以在与支撑台11的支撑面相同的高度上被夹具模块12把持。

如图5和图6所示，夹具模块12可以包括：基底部件121，连接于支撑架13；夹具本体123，可移动地设置在基底部件121上；一对夹具部件124，安装在夹具本体123上并彼此相邻地移动或彼此间隔开地移动；驱动器127，驱动一对夹具部件124。

例如，基底部件121通过驱动器127，移动模块19及导轨18连接到支撑架13上，由此，夹具模块12可以支撑在支撑架13上。

通过一对夹具部件124将基板S置于中间彼此相邻地移动，基板S的后行端可以被一对夹具部件124把持。基板S的被一对夹具部件124把持的部分可以是实际上不用于产品的功能的部分。例如，基板S的被一对夹具部件124把持的部分可以是切割基板S之后被丢掉的虚设部分。一对夹具部件124可以以各自的中心轴为准进行旋转，由此彼此相邻或间隔开地移动。为此，可以设置有将来自驱动器127的驱动力转变成用于使一对夹具部件124旋转的旋转力的机构。

在所述结构中，在一对夹具部件124为了彼此间隔开而旋转的状态下，基板S可以在一对夹具部件124的上侧沿Z轴方向移动，由此，基板S可以位于一对夹具部件124之间(参考图13及15)。

但是，本实用新型不限定于这种结构，可以构成为一对夹具部件124能够沿Z轴方向直线形移动。为此，可以设置有将来自驱动器127的驱动力转变成将一对夹具部件124以直线形移动的驱动力的机构。

在一对夹具部件124的彼此相对的面，即，一对夹具部件124的相对于基板S的第一面和第二面的面上，可以设置有接触衬垫125。接触衬垫125可以由如聚氨酯等柔性材料构成。接触衬垫125吸收一对夹具部件124把持基板S的后行端时产生的冲击，从而防止一对夹具部件124或基板S破损。此外，接触衬垫125可以使一对夹具部件124用均匀的加压力把持基板S的后行端。

夹具本体123可以构成为相对于基底部件121可移动。由此，可以调节相对于基底部件121的夹具本体123的位置。通过调节相对于基底部件121的夹具本体123的位置，可以精密地调节一对夹具部件124的位置。例如，夹具本体123可以相对于基底部件121沿X轴方向、Y轴方向和/或Z轴方向可移动地构成。因此，可以调节相对于基底部件121的夹具本体123沿X轴方向、Y轴方向和/或Z轴方向的位置，由此，可以调节一对夹具部件124沿X轴方向、Y轴方向和/或Z轴方向的位置。

为了调节相对于基底部件121的夹具本体123的位置，可以在基底部件121和夹具本体123之间设置位置调节部122。例如，位置调节部122可以包括螺栓和用于旋转螺栓的旋转机构。因此，螺栓通过旋转机构进行旋转，由此夹具本体123可以相对于基底部件121移动，因此，可以调节一对夹具部件124的位置。位置调节部122的螺栓可以构成为能够由工作人员手动操作。

特别地，当支撑架13上设置有多个夹具模块12时，通过多个夹具模块12的位置调节部122，可以调节多个夹具模块12各自的一对夹具部件124的位置，由此，使多个夹具模块12能够均匀把持基板S的后行端。由于多个夹具模块12均匀把持基板S的后行端，因此在把持基板S的后行端并移送基板S的过程中，能够防止基板S的弯曲等变形。

驱动器127可以由电动马达，特别是伺服马达构成。作为另一个例子，驱动器127可以由如使用气压或液压的致动器、通过电磁相互作用操作的直线电机或滚珠丝杠等直线移动机构构成。驱动器127起到利用供给至驱动器127的电力来驱动一对夹具部件124的作用。驱动器127可以与控制单元90连接并被控制单元90控制。

连接模块16可以包括设置在支撑台11的第一连接部161和连接在夹具模块12的第二连接部162。例如，第二连接部162可以设置在支撑架13上并通过支撑架13连接在夹具模块12。但是，不限定于第二连接部162设置在支撑架13的结构，可以采用能够将夹具模块12连接在支撑台11的多种结构。第一连接部161和第二连接部162彼此相对向地布置。第一连接部161和第二连接部162可以彼此选择性地结合。

第一连接部161可以包括插入部165，该插入部165形成为贯通支撑台11而形成的贯通孔的形式或者凹陷形成在支撑台11的凹陷槽的形式。当插入部165形成为贯通孔或凹陷槽的形式时，可以防止插入部165和基板S之间的干涉。

第二连接部162可以包括插入在插入部165中的连接部件163。此外，第二连接部162还可以包括将连接部件163移动至插入部165的驱动器164。

插入部165可以具有对应于连接部件163的大小和形状的大小和形状。连接部件163可以由例如杆状的部件构成。连接部件163可以紧密插入在插入部165中。因此，通过连接部件163插入至插入部165中，支撑台11和夹具模块12可以连接成一体。由于支撑台11和夹具模块12可以连接成一体，支撑台11和夹具模块12可以一体地沿Y轴方向移动。即，支撑台11和夹具模块12可以以同步的速度沿Y轴方向移动。因此，可以防止因支撑台11和夹具模块12单独移动而可能会发生的、基板S和支撑台11之间的滑动和摩擦以及因此产生的基板S和支撑台11的损伤等问题。

驱动器164可以采用如使用气压或液压的致动器、通过电磁相互作用操作的直线电机或滚珠丝杠等直线移动机构。

另一方面，连接部件163通过驱动器164移动的结构是如下的结构：如图3所示，当基板S沿横向方向(Y轴方向)被移送并送入支撑台11时，防止基板S与连接部件163干涉。因此，当基板S沿不与连接部件163干涉的方向被移送时，即，基板S从支撑台11的上侧被送入支撑台11时(参考图13及15)，连接部件163可以保持插入在插入部165的状态。即，通过连接模块16，夹具模块12可以保持一体地连接在支撑台11的状态。在此情况下，连接模块16可以起到防止夹具模块12沿任意的横向方向移动的阻挡件的作用。此外，连接模块16可以起到使夹具模块12收容在收容部112内的准确位置上的基准作用。

如图3所示，在基板S被送入支撑台11的过程中，连接部件163通过驱动器164从支撑台11间隔开地移动，由此，可以防止连接部件163和基板S之间的干涉。

如图4所示，夹具模块12移动并收容在支撑台11的收容部112内，在基板S的后行端被夹具模块12把持的状态下，连接部件163通过驱动器164移动并插入至插入部165。因此，支撑台11和夹具模块12可以通过连接部件163连接成一体，由此，支撑台11和夹具模块12可以一起同时移动。

另一方面，第二移送单元20可以包括：第二板25，与划线单元30相邻地布置并将基板S悬浮或吸附而进行支撑；移送带21，与第二板25相邻地布置；移动装置26，将第二板25和移送带21沿Y轴方向往复移动。移动装置26起到将第二板25和移送带21沿着向Y轴方向延伸的第二导轨24沿Y轴方向往复移动的作用。移动装置26可以采用如使用气压或液压的致动器、通过电磁相互作用操作的直线电机或滚珠丝杠等直线移动机构。

第二板25和移送带21可以构成为一起沿Y轴方向可移动。即，第二板25与移送带21可以构成为一起沿与移送基板S的方向平行的方向(Y轴方向)可移动。

当通过划线单元30在基板S的第一面和第二面上分别形成划线时，第二板25朝向第一板15移动，由此，第一划线头39和第二划线头39可以位于第一板15和第二板25之间。当通过划线单元30在基板S的第一面和第二面分别形成划线时，基板S在第一板15和第二板25上均可稳定地支撑。

移送带21可以设置有多个，多个移送带21可以沿X轴方向彼此间隔。各个移送带21被多个带轮211支撑，多个带轮211中的至少一个可以是提供使移送带21旋转的驱动力的驱动带轮。

第二板25可以构成为能够使基板S悬浮或吸附。例如，第二板25的表面上可以形成有与气体供给源和真空源连接的多个狭缝。当从气体供给源向第二板25的多个狭缝供给气体时，基板S可以从第二板25悬浮。此外，当通过由真空源形成的负压，通过第二板25的多个狭缝吸入气体时，基板S可以吸附在第二板25上。

在基板S被移送至第二板25的过程中，可以向第二板25的狭缝供给气体，由此，基板S可以与第二板25没有摩擦地移动。

另外，在基板S的第一面和第一面上形成划线的过程中，基板S可以吸附固定在第二板25上。

另外，在基板S的第一面和第一面上分别形成划线之后，在基板S吸附在第一板15和第二板25的状态下，随着第二板25从第一板15远离地移动，基板S可以以划线为基准被分割。

另一方面，在基板S从第二板25移动至后续工序的过程中，可以向第二板25的狭缝供给气体，由此，基板S可以与第二板25没有摩擦地移动。

以下，参照图7及图8，对本实用新型实施例中的基板切割装置的划片单元30所具有的第一划片头39和第二划片头39进行具体说明。第一划片头39和第二划片头39具有相同结构。所以以下将第一划片头39和第二划片头39称为划片头39并进行说明。

如图7所示，划片头39包括：划片模块50，具有在基板S上形成划线的划片轮51；垂直移动模块60，连接于划片模块50，使划片模块50向着Z轴方向移动；水平移动模块70，连接于划片模块50，使划片模块50向着Y轴方向水平移动；以及振动检测模块80，连接于划片模块50，测量划片模块50的垂直振动及水平振动。

划片模块50包括：维持划片轮51的划片轮支持部52；支撑划片轮支持部52的支架支撑部件53；支持支架支撑部件53以使其以Z轴为中心进行旋转，并通过连接轴55与垂直移动模块60相连的外罩54；以及，与外罩54相连，在外罩54通过垂直移动模块60沿Z轴方向移动时引导外罩54的移动的引导部件56。

划片轮支持部52可以插入形成在支架支撑部件53的插入槽(未图示)中，支架支撑部件53可以插入形成在外罩54的收纳槽(未图示)中。为了使支架支撑部件53在外罩54内以Z轴为中心可以轻松地进行旋转，外罩54中具有轴承(未图示)。

引导部件56可以连接在外罩54和水平移动模块70之间。引导部件56为了对外罩54沿着Z轴方向的移动做出引导，其结构可为交叉辊。

通过垂直移动模块60的运行，划片模块50可以向着Z轴方向移动，由此，划片轮51与基板S发生接触或从基板S间隔开。而且，垂直移动模块60的作用是将划片模块50向着基板S进行移动，且使划片轮51以预定的按压力按压基板S。

为了更为精确地控制划片模块50向着Z轴方向的移动，垂直移动模块60优选通过气压或油压运行的致动器。

水平移动模块70包括：设置在支持划片模块50的支持框体71上，沿Y轴方向延长的多个引导部件72；可以沿Y轴方向移动地设置在多个引导部件72，且与划片模块50相连的连接部件73；以及连接于连接部件73，并将连接部件73向Y轴方向移动的驱动部74。

作为一例，驱动部74包括与连接部件73连接的轴741，以及与轴741连接的马达742。马达742使轴741旋转，进而使轴741前进和/或后退。如上所述，在马达742的作用下，轴741边旋转边向着Y轴方向前进和/或后退，进而与轴741及连接部件73相连的划片模块50可以向着Y轴方向移动。

另一例中，驱动部74包括与连接部件73连接的轴741，以及与轴741连接的通过气压或油压运行并将轴741向着Y轴方向前进和/或后退的致动器742。

又另一例中，作为驱动部74，可以使用与连接部件73相连，在电磁相互作用下使连接部件73进行直线形移动的直线电机等直线移动机构。

振动检测模块80包括检测划片模块50的垂直方向振动的垂直振动检测模块81，以及检查划片模块50的水平方向振动的水平振动检测模块82。垂直振动检测模块81和水平振动检测模块82可以分别由加速度传感器等分别检测垂直振动及水平振动的多种振动检测模块构成。例如，垂直振动检测模块81和水平振动检测模块82可以设置在外罩54上。本实用新型并不限于此，垂直振动检测模块81和水平振动检测模块82可以设置在与划片模块50的外罩54相连且与外罩54共同移动的部件上。例如垂直振动检测模块81可以设置在支架支撑部件53上，水平振动检测模块82可以设置在连接部件73上。

如图8所示，垂直振动检测模块81和水平振动检测模块82连接到控制单元90。所以，通过垂直振动检测模块81和水平振动检测模块82测量的垂直振动和水平振动的测量值会被输入到控制单元90中。

控制单元90能够将通过垂直振动检测模块81和水平振动检测模块82分别测量的垂直振动和水平振动的测量值，分别转化为垂直振动频率和水平振动频率。控制单元90将转化的振动频率与预先设定的基准振动频率相比较。当发生转化的振动频率与基准振动频率之间超过许可范围的误差时，控制单元90将此情况视为异常情况，从而终止基板切割装置的运行。

另外，控制单元90可以与垂直移动模块60和水平移动模块70连接。所以，当发生转化的振动频率与基准振动频率之间超过许可范围的误差时，为了消除发生的误差，可以控制垂直移动模块60和水平移动模块70的运行。

进而，本实用新型实施例中的基板切割装置，测量通过垂直移动模块60与水平移动模块70移动的划片模块50的垂直振动及水平振动，并根据测量的垂直振动及水平振动，控制垂直移动模块60和水平移动模块70。所以，可以更准确地控制划片模块50的垂直振动及水平振动，由此，使划片轮51位于基板S上的准确位置。

另外，根据本实用新型实施例中的基板切割装置，具有划片轮51的划片模块50被向着Y轴方向延长的多个引导部件72支撑。所以多个引导部件72可以防止划片模块50向着Z轴方向或X轴方向的移动，防止划片模块50发生旋转。随之，划片模块50可以稳定地向Y轴方向移动。

另外，划片模块50在被多个引导部件72稳定支撑的状态下，通过驱动部74进行直线形移动，即使有外力施加到划片模块50上，划片模块50可以进行稳定且精密的移动。

另外，驱动部74产生的直线型的力量并不转化为其他方向的力量，而是作为Y轴方向的力量，可以传达到划片模块50，不需要用于转换力的方向的其他部件，所以可以减少部件的数量。

以下，参照图9至图12，对根据本实用新型的实施方式的基板切割装置的操作进行说明。

如图2所示，在基板S送入支撑台11之前，夹具模块12和连接部件163可以从支撑台11间隔开地移动。在这种状态下，基板S被送入支撑台11。此时，支撑台11向着Y轴方向移动，调整基板S向着Y轴方向的位置。当基板S被送入支撑台11时，基板S的后行端可以位于对应于夹具模块12的位置。作为另一个例子，支撑架13沿Y轴方向移动，夹具模块12可以移动至适合把持基板S的后行端的位置。

如图9所示，夹具模块12通过移动模块19移动并收容在支撑台11的收容部112内。另外，由夹具模块12的一对夹具部件124把持基板S的后行端。由于夹具模块12在收容于支撑台11的收容部112内的状态下把持基板S的后行端，因此基板S可以在与支撑台11的支撑面相同的高度上支撑在夹具模块12上。

另外，连接部件163通过驱动器164移动并插入支撑台11的插入部165中，由此，支撑台11和夹具模块12可以通过连接部件163连接成一体。

如图10所示，基板S支撑在支撑台11的支撑面上，在基板S的后行端被夹具模块12把持的状态下，支撑台11和夹具模块12朝向划线单元30沿Y轴方向移动。此时，由于支撑台11和夹具模块12通过连接部件163连接成一体，因此支撑台11和夹具模块12可以一起沿Y轴方向移动。

在基板S通过第一移送单元10被移送至划线单元30的过程中，基板S可以通过从第一板15喷射的气体而从第一板15悬浮。

另外，在第一板15固定的状态下，第二板25朝向第一板15沿Y轴方向移动。由此，第一板15和第二板25之间的间隔变窄，从而基板S在第一板15和第二板25上均可稳定地支撑。

在基板S朝向划线单元30被移送的过程中，基板S可以通过供给至第一板15和第二板25的气体，从第一板15和第二板25悬浮。

另外，如图11所示，当基板S位于第一板15和第二板25上时，基板S被吸附在第一板15和第二板25上。此时，随着划线头39的划线轮51接触基板S之后，沿X轴方向移动，在基板S上形成X轴切割线。

另外，如图12所示，在基板S上形成X轴切割线之后，划线头39的划线轮51从基板S间隔开地移动。另外，在基板S在第一板15和第二板25均为吸附的状态下，当第二板25从第一板15远离地移动时，基板S沿着X轴切割线被分割。

另外，沿着X轴切割线被分割的基板S可以通过移送带21传递至后续工序。

如图13和图14所示，根据本实用新型的另一个实施方式的基板切割装置中所具备的连接模块16可以包括设置在支撑台11上的第一连接部161和连接在夹具模块12上的第二连接部162。第二连接部162可以设置在支撑架13上并通过支撑架13连接在夹具模块12。但是，不限定于第二连接部162设置在支撑架13上的结构，可以采用能够将夹具模块12连接在支撑台11上的多种结构。第一连接部161和第二连接部162相对向地配置。第一连接部161和第二连接部162可以彼此选择性地结合。

第一连接部161可以包括：一对支撑部件166，彼此相对向地配置；移动机构167，与一对支撑部件166连接，并将一对支撑部件166沿彼此相邻的方向和彼此间隔开的方向移动。在本实用新型的实施方式中，提供了在一对支撑部件166上均分别连接有移动机构167的结构。但是，本实用新型不限于此，可以采用只在一对支撑部件166中的一个上连接有移动机构167，从而只有一对支撑部件166中的一个进行移动的结构。

移动机构167可以采用如使用气压或液压的致动器、通过电磁相互作用操作的直线电机或滚珠丝杠等直线移动机构。

第二连接部162可以包括设置在一对支撑部件166之间的连接部件163。此外，第二连接部162还可以包括将连接部件163选择性地移动至一对支撑部件166之间的驱动器164。

连接部件163可以由例如杆状的部件构成。当一对支撑部件166沿彼此相邻的方向移动时，连接部件163可以紧密地紧贴在一对支撑部件166之间。通过连接部件163插入并固定在一对支撑部件166之间，支撑台11和夹具模块12可以连接成一体。

驱动器164可以采用如使用气压或液压的致动器、通过电磁相互作用操作的直线电机或滚珠丝杠等直线移动机构。

在根据本实用新型的另一个实施方式的基板切割装置中，如图13所示，可以通过机械手、机器人等将基板S从支撑台11的上方送入支撑台11。

如图15和图16所示，根据本实用新型的又一个实施方式的基板切割装置中所具备的连接模块16可以包括设置在支撑台11上的第一连接部161和连接在夹具模块12上的第二连接部162。第二连接部162可以设置在支撑架13上并通过支撑架13连接在夹具模块12。但是，不限定于第二连接部162设置在支撑架13上的结构，可以采用能够将夹具模块12连接在支撑台11上的多种结构。第一连接部161和第二连接部162彼此相对向地配置。第一连接部161和第二连接部162可以彼此选择性地结合。

第一连接部161可以包括彼此相对向地配置的一对支撑部件166。

第二连接部162可以包括设置在一对支撑部件166之间的连接部件163。此外，第二连接部162可以包括将连接部件163选择性地移动至一对支撑部件166之间的驱动器164。

连接部件163可以由例如杆状的部件构成。在一对支撑部件168的彼此相对向的面上可以附着有弹性垫169。通过这种弹性垫169，连接部件163可以插在一对支撑部件166之间并能够可靠地被固定。通过连接部件166被插在一对支撑部件166之间并固定，支撑台11和夹具模块12可以连接成一体。连接部件166插在一对支撑部件166之间的状态可以保持，或者连接部件163通过驱动器164移动而从一对支撑部件166脱离。因此，连接部件163可以选择性地插在一对支撑部件166上。

驱动器164可以采用如使用气压或液压的致动器、通过电磁相互作用操作的直线电机或滚珠丝杠等直线移动机构。

在根据本实用新型的又一个实施方式的基板切割装置中，如图15所示，可以通过机械手、机器人等将基板S从支撑台11的上方送入支撑台11。

根据本实用新型的实施方式的基板切割装置，把持基板S的后行端的夹具模块12收容于形成在支撑台11上的收容部112中，从而能够在与支撑台11的支撑面相同的高度上把持基板S。由此，基板S可以稳定支撑在支撑台11上并由夹具模块12稳定把持。由此，基板S可以被稳定移送至划线单元30，而且可以使划片轮51位于基板S上准确的位置。

此外，根据本实用新型的实施方式的基板切割装置，支撑台11和夹具模块12通过连接模块16连接成一体，由此，支撑台11和夹具模块12可以一起稳定地移动。因此，能够防止因支撑台11和夹具模块12单独移动而可能会发生的基板S和支撑台11之间的摩擦，从而能够防止基板S和支撑台11的损伤等。

本实用新型的优选实施方式被实例性地说明，但是本实用新型的范围不限定于这种特定实施方式，可以在权利要求书记载的范围内进行适当地变更。

Claims (7)

1.一种基板切割装置，其中，包括：

划片单元，包括划片头，所述划片头具有在基板上形成划线的划片轮；以及，

移送单元，将所述基板移送至所述划片单元；

所述划片头包括：

划片模块，具有所述划片轮；

垂直移动模块，使所述划片模块向垂直方向移动；以及，

垂直振动检测模块，测量所述划片模块的垂直振动。

2.根据权利要求1所述的基板切割装置，其中，进一步包括：

控制单元，以测量的垂直振动为基准，控制所述垂直移动模块。

3.一种基板切割装置，其中，包括：

划片单元，包括划片头，所述划片头具有在基板上形成划线的划片轮；以及，

移送单元，将所述基板移送至所述划片单元；

所述划片头包括：

划片模块，具有所述划片轮；

水平移动模块，使所述划片模块向水平垂直方向移动；以及，

水平振动检测模块，测量所述划片模块的水平振动。

4.根据权利要求3所述的基板切割装置，其中，还包括以测量的水平振动为基准，控制所述水平移动模块的控制单元。

5.根据权利要求3所述的基板切割装置，其中，

所述水平移动模块包括：

多个引导部件，向水平方向延长；

连接部件，连接于所述划片模块，并可移动地被支撑在所述多个引导部件；以及，

驱动部，水平移动所述连接部件。

6.根据权利要求5所述的基板切割装置，其中，

所述驱动部包括：

轴，与所述连接部件相连接；以及，

马达，与所述轴相连接并使所述轴沿着水平方向前进或后退。

7.根据权利要求5所述的基板切割装置，其中，

所述驱动部包括：

轴，与所述连接部件相连接；以及，

致动器，与所述轴相连接，在气压或油压作用下运行，使所述轴沿着水平方向前进或后退。