CN209513108U - 一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器 - Google Patents
一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209513108U CN209513108U CN201920172967.6U CN201920172967U CN209513108U CN 209513108 U CN209513108 U CN 209513108U CN 201920172967 U CN201920172967 U CN 201920172967U CN 209513108 U CN209513108 U CN 209513108U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- glass
- smelting
- micro
- ceramic
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Abstract
本实用新型公开了一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器。所述传感器由测压端口、芯片、膜片、信号处理电路板、电连接组件,所述芯片与所述信号处理电路板键合连接,其特征在于,所述膜片为陶瓷膜片,所述芯片与所述陶瓷膜片通过玻璃微熔工艺连接;所述玻璃微熔工艺为所述芯片通过玻璃胶烧结于所述陶瓷膜片上;所述陶瓷膜片固定于金属基座上;所述测压端口与被测端口密封连接;所述信号处理电路板为柔性电路板或硬质电路板。所述传感器具有如下优点:①采用玻璃微熔工艺的压力传感器,具有整体精度高,稳定好等优点;②采用陶瓷膜片,形变量较大,可以提高传感器在低压时的精度。
Description
技术领域
本实用新型属于敏感元器件领域,尤其是涉及一种玻璃微熔工艺的压力传感器。
背景技术
目前压力传感器制作工艺中,主要存在如下问题:①采用陶瓷压阻工艺制作,精度较低,稳定性差;②压力传感器中的膜片多采用金属压力膜片,在测量小量程压力时,由于金属材料模量大,造成金属膜片的形变量较小,导致传感器在低压的情况下精度较低。
发明内容
针对上述问题,本实用新型提出一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器,所述膜片为陶瓷膜片,所述芯片与所述陶瓷膜片通过玻璃微熔工艺连接。由于陶瓷膜片的形变量较大,可以提高传感器在低压时的精度,同时可以降低加工成本。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案如下:
一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器,所述传感器由测压端口、芯片、膜片、信号处理电路板、电连接组件,所述芯片与所述信号处理电路板键合连接,其特征在于,所述膜片为陶瓷膜片,所述芯片与所述陶瓷膜片通过玻璃微熔工艺连接。
作为优选,所述玻璃微熔工艺为所述芯片通过玻璃胶烧结于所述陶瓷膜片上。
作为优选,所述陶瓷膜片固定于金属基座上。
作为优选,所述测压端口与被测端口密封连接。
作为优选,所述信号处理电路板为柔性电路板或硬质电路板。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果:①采用玻璃微熔工艺的压力传感器,具有整体精度高,稳定好等优点;②采用陶瓷膜片,形变量较大,可以提高传感器在低压时的精度。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器。
图2为本实用新型的敏感元件放大图。
图中:1-测压端口、2-芯片、3-膜片、4-信号处理电路板、5-电连接组件、6-陶瓷膜片、7-玻璃胶、8-金属基座。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器,所述传感器由测压端口(1)、芯片(2)、膜片(3)、信号处理电路板(4)、电连接组件(5),所述芯片(2)与所述信号处理电路板(4)键合连接,其特征在于,所述膜片(3)为陶瓷膜片(6),所述芯片(2)与所述陶瓷膜片(6) 通过玻璃微熔工艺连接。
所述玻璃微熔工艺为所述芯片(2)通过玻璃胶(7)烧结于所述陶瓷膜片(6)上。
所述陶瓷膜片(6)固定于金属基座(8)上。
所述测压端口(1)与被测端口密封连接。
所述信号处理电路板(4)为柔性电路板或硬质电路板。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器,所述传感器由测压端口(1)、芯片(2)、膜片(3)、信号处理电路板(4)、电连接组件(5),所述芯片(2)与所述信号处理电路板(4)键合连接,其特征在于,所述膜片(3)为陶瓷膜片(6),所述芯片(2)与所述陶瓷膜片(6)通过玻璃微熔工艺连接。
2.根据权利要求1所述的一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器,其特征在于,所述玻璃微熔工艺为所述芯片(2)通过玻璃胶(7)烧结于所述陶瓷膜片(6)上。
3.根据权利要求1所述的一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器,其特征在于,所述陶瓷膜片(6)固定于金属基座(8)上。
4.根据权利要求1所述的一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器,其特征在于,所述测压端口(1)与被测端口密封连接。
5.根据权利要求1所述的一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器,其特征在于,所述信号处理电路板(4)为柔性电路板或硬质电路板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920172967.6U CN209513108U (zh) | 2019-01-31 | 2019-01-31 | 一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920172967.6U CN209513108U (zh) | 2019-01-31 | 2019-01-31 | 一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN209513108U true CN209513108U (zh) | 2019-10-18 |
Family
ID=68203683
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201920172967.6U Active CN209513108U (zh) | 2019-01-31 | 2019-01-31 | 一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN209513108U (zh) |
-
2019
- 2019-01-31 CN CN201920172967.6U patent/CN209513108U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN205785644U (zh) | Mems微压压力传感器 | |
CN103105248B (zh) | 一种硅基双岛结构石英梁谐振式微压力传感器 | |
CN2938053Y (zh) | 新型硅压力传感器 | |
CN202442825U (zh) | 压力传感器介质隔离封装结构 | |
CN102680018A (zh) | 多功能组合传感器 | |
CN203178006U (zh) | 压力传感器封装结构 | |
CN202304895U (zh) | 一种实现温度和压力信号的同时测试的溅射薄膜芯片 | |
CN200989838Y (zh) | 压力传感器 | |
CN105067013A (zh) | 一种环境传感器 | |
CN209513108U (zh) | 一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器 | |
CN208704948U (zh) | 一种集成温度补偿的差压传感器 | |
CN204286670U (zh) | 一种耐高温小型化压力传感器 | |
CN204679195U (zh) | 上盖封装式溅射薄膜压力传感器 | |
CN203133110U (zh) | 电阻应变式加速度传感器 | |
CN111504524A (zh) | 一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器 | |
CN102809670B (zh) | 加速度传感器的单片开环集成电路 | |
CN208984258U (zh) | 一种新型压力传感器 | |
CN2886532Y (zh) | 微压耐腐蚀压力传感器 | |
CN209102262U (zh) | 一种抗高过载膜盒型陶瓷电阻型压力传感器 | |
CN207908088U (zh) | 陶瓷mems压力传感器 | |
CN110186598A (zh) | 一种石墨烯薄膜压力传感器 | |
CN108663141A (zh) | Mems电容式压力传感器 | |
CN204679198U (zh) | 便装式溅射薄膜压力传感器 | |
CN202771390U (zh) | 夹心型压电触摸屏 | |
US20140102210A1 (en) | Pressure Sensor With Robustness Against Mounting Stress |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |