CN209461491U - 一种特殊涂层系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种特殊涂层系统；技术方案是：一种特殊涂层系统，包括密闭且相连的进料室、涂层室，进料室与涂层室连接处设有第一封闭门，进料室通过第一开关阀连接有真空泵、通过第二开关阀连接有保护气罐、与第一封闭门相对的一侧设有第二封闭门；涂层室通过第三开关阀与保护气罐连接、内部设置有与涂层原料供应装置相连的可三轴移动的涂层喷头、与第一封闭门相对的一侧设置有第三封闭门；还包括基板传送机构，基板传送机构一侧设于第二封闭门外、另一侧设于第三封闭门外、中部位于进料室和涂层室内。本实用新型可控制有机发光二极管的涂层工艺环境，产品质量高、制造良率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种OLED特殊涂层系统。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，缩写：OLED)显示技术，具有电压低，视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势，是新一代的显示技术。OLED器件通常包括：基板、置于基板上的ITO透明阳极、置于ITO透明阳极上的空穴注入层(HIL)、置于空穴注入层上的空穴传输层(HTL)、置于空穴传输层上的发光层(EML)、置于发光层上的电子传输层(ETL)、置于电子传输层上的电子注入层(EIL)以及置于电子注入层上的阴极。OLED显示屏的制造主要工艺为基板清洗、涂层、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀、剥膜，其中对基板的涂层工艺要求甚高。现有的玻璃涂层系统主要包括装载设备、搬运设备、涂层设备及干燥设备等，其中涂层设备的涂层材料出料口可三轴(XYZ轴)移动生产时先将多个基板装载在装载设备中，然后将装载设备搬送到涂层设备中进行涂层处理，完成后再送入下工艺处理。在进行涂层工艺时，通常是在敞开的空气气氛下进行。而本领域人员所知的是，OLED的涂层材料极易被氧化和其它化学过程损坏(例如但不限于，水蒸汽、氧气、臭氧、有机溶剂蒸汽和类似物)，而导致产品质量降级，OLED屏良率低。因此需要一种，可以控制涂层环境的特殊特层系统。
实用新型内容
针对上述OELD显示屏制造过程中，在进行涂层工艺时，容易被环境中的物质影响而导致的降级、良率低的技术问题，本实用新型提供了一种特殊涂层系统，可控制OLED显示屏涂层处理工艺的环境，具有防止OLED显示屏降级、良率高的特点。
本实用新型通过下述技术方案实现：
一种特殊涂层系统，包括密闭且相连的进料室、涂层室，所述进料室与涂层室连接处设有第一封闭门，所述进料室通过第一开关阀连接有真空泵、通过第二开关阀连接有保护气罐、与第一封闭门相对的一侧设有第二封闭门；所述涂层室通过第三开关阀与保护气罐连接、内部设置有与涂层原料供应装置相连的可三轴移动的涂层喷头、与第一封闭门相对的一侧设置有第三封闭门；还包括基板传送机构，所述基板传送机构一侧设于第二封闭门外、另一侧设于第三封闭门外、中部位于进料室和涂层室内。
优选的，所述涂层室设置第三封闭门的一侧还密封连接有密封的前烘室，所述前烘室依次通过加热器、第四开关阀与保护气罐相连，所述前烘室还连接有由内向外导通的单向阀，所述前烘室通过第五开关阀与真空泵相连，所述前烘室与第三封闭门相对的一侧设置有第四封闭门。
优选的，所述单向阀出口通过空压机连接有保护气收集罐。
优选的，所述第一封闭门、第二封闭门、第三封闭门、第四封闭门均为直线驱动器驱动的滑动式封闭门。
优选的，所述滑动式密封门包括门框、门板，所述门框两侧均设置有供门板滑动的滑槽，所述滑槽内设置有第一密封胶条，所述门板底部设置有第二密封胶条。
优选的，所述第一密封胶条、第二密封胶条为中空的圆柱形橡胶条，且设置有若干与内部空腔相通的消气孔。
优选的，所述基板传送机构为转动辊带动的带传送机构，包括传送带。
优选的，所述涂层室内水平设置有若干支撑滚筒，所述支撑滚筒长度方向与传送带长度方向垂直、且上端抵靠在上层传送带底面。
优选的，所述传送带为不锈钢带。
本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
1、通过对进料室和涂层室抽真空、提供保护气，能够确保涂层工艺是在保护气气氛下进行，确保涂层的质量，进而提高有机发光二极管显示屏的制造良率。
2、在涂层室后设置与保护气与真空泵相连的前烘室，确保基板涂层后在保护气气氛下固化，防止在固化工艺中造成降级。
3、使用不锈钢传送带，使得本实用新型既适用于刚性基板，又适用于柔性基板，通用性好。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的气路连接原理图；
图3为本实用新型的滑动式密闭门结构示意图；
图4为本实用新型的橡胶条结构示意图。
附图中标记及对应的零部件名称：
1-进料室，2-涂层室，3-第一封闭门，4-第一开关阀，5-真空泵，6-第二开关阀，7-保护气罐，8-第二封闭门，9-第三开关阀，10-涂层喷头，11-第三封闭门，12-基板传送机构，121-传送带，13-前烘室，14-加热器，15-第四开关阀，16-单向阀，17-第四封闭门，18-空压机，19-保护气收集罐，20-支撑滚筒，21-第五开关阀，101-门框，102-门板，103-滑槽，104-第一密封胶条，105-第二密封胶条，106-消气孔。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。
实施例
如图1～4所示，一种特殊涂层系统，包括密闭且相连的进料室1、涂层室2，即，进料室1和涂层室2均包括密闭的腔体，分别用于基板的进料和涂层处理，且相互连通。所述进料室1与涂层室2连接处设有第一封闭门3，用于导通或切断进料室1和涂层室2。所述进料室1通过第一开关阀4连接有真空泵5、通过第二开关阀6连接有保护气罐7、与第一封闭门3相对的一侧设有第二封闭门8。可知的是，真空泵5可对进料室1和涂层室2抽真空；保护气罐7可对进料室1提供保护气；第二封闭门8可使进料室1与外部导通或切断，用于基板的送入。所述涂层室2通过第三开关阀9与保护气罐7连接可给涂层室2提供保护气；涂层室2内部设置有与涂层原料供应装置相连的可三轴移动的涂层喷头10以进行涂层工作，可以理解的是，涂层喷头10通过分别沿X轴、Y轴、Z轴设置的直线驱动器驱动，实现三坐标轴的移动，直线驱动器可以是电推杆、丝杆机构、齿轮齿条机构，优选为步进电机带动的带传动机构，控制简单方便，且体积小；涂层室2与第一封闭门3相对的一侧设置有第三封闭门11用于取出涂层后的基板。
还包括基板传送机构12，所述基板传送机构12一侧设于第二封闭门8外、另一侧设于第三封闭门11外、中部位于进料室1和涂层室2内。也就是说，基板传送机构12可将基板从进料室1外依次送入进料室1、涂层室2、涂层室2外。通常，基板传送机构12可以是滚筒传送机构、金属网传送机构、皮带传送机构等，为同时满足刚性基板和柔性基板的传输，本实施例优选采用，电机驱动辊驱动的带传动机构，包括使用不锈钢带制成的传送带121，平面度高，使用寿命长。而为进一步保证基板在涂层时的平面度确保涂层均匀，在涂层室2内水平设置有若干支撑滚筒20，所述支撑滚筒20长度方向与传送带121长度方向垂直、且上端抵靠在上层传送带121底面。
进一步的，所述涂层室2设置第三封闭门11的一侧还密封连接有密封的前烘室13，用于烘烤涂层后的基板。具体来说，所述前烘室13依次通过加热器14、第四开关阀15与保护气罐7相连，应当理解的是，加热器14可以对保护气罐7输送给前烘室13的保护气进行加热，通过加热后的保护气对涂层后的基板进行风干和烘干，完成前烘处理。加热器14可以是直接设置在管道中的发热金属丝，也可以是由外部加热热质通过气体散热的热交换加热器。所述前烘室13还连接有由内向外导通的单向阀16，以供前烘室13内的气体排出。若保护气为惰性气体，如氦气，则在所述单向阀16出口通过空压机18连接有保护气收集罐19，以收集前烘室13排出的氦气；由于烘干后保护气仅携带少量的水汽和杂质，因此相对于压缩空气获得氦气，收集前烘室13排出的氦气进行净化，成本更低，更节能。所述前烘室13通过第五开关阀2与真空泵5相连，用于对前烘室13抽真空；所述前烘室13与第三封闭门11相对的一侧设置有第四封闭门17，便于烘干后的涂有涂层的基板取出。
其中，所述第一封闭门3、第二封闭门8、第三封闭门11、第四封闭门17均为直线驱动器驱动的滑动式封闭门，当然也可以是旋转轴带动的旋转式封闭门、卷曲轴带动的卷帘式封闭门等能够开合的密闭门(需可与传送带121进行滑动密封，通常在门板的底部设置密封橡胶，确保密封的同时也能使传送带121与封闭门相对移动)；而优选为直线驱动器驱动的滑动式封闭门，控制简单、占用空间小，能够提高各室的空间利用率，节约时间和成本。而直线驱动器可以是气压缸、电机带动的丝杆机构、齿轮齿轮机构、电推杆等，优选为电推杆，控制简单，维护方便。本实施例所采用的滑动式密闭门具体结构为：所述滑动式密封门包括门框101、门板102，所述门框101设置有供门板102滑动的滑槽103，所述滑槽103内设置有第一密封胶条104，所述门板102底部设置有第二密封胶条105。可以理解的是，门板于电推杆的输出端固定连接，而电推杆的固定端则固定在门框101上或各腔室室壁上，通过电推杆的收缩打开密封门、伸长关闭密封门。而第一密封胶条104用于密封门板102与滑槽103之间的空隙，第二密封胶条105用于密封门板102底部与传送带121之间的缝隙。为提高密封效果、减小封闭门的运行阻力，所述第一密封胶条104、第二密封胶条105为中空的圆柱形橡胶条，且设置有若干与内部空腔相通的消气孔106。
本实施例的使用过程及原理：使用时，确保各开关阀、封闭门处于关闭状态。
打开真空泵5、第三封闭门11、第五开关阀21，对涂层室2、前烘室13抽真空；一段时间后(根据真空泵5的功率和涂层室2、前烘室13的体积驱确定)，关闭第五开关阀21、第三封闭门11，使得涂层室2和前烘室13处于真空状态。然后打开第三开关阀9，给涂层室2提供保护气(保护气罐7通常带有减压阀、流量调节阀，如无则须在其出口串接上)，使涂层室2充满常压的保护气。
接着，通过上级传送装置，如带吸盘的机械手，将经清洗、烘干、UV处理后的基板放置在第二封闭门8外的传送带121上，打开第二封闭门8、并启动基板传送机构12。将基板送入进料室1后，关闭第二封闭8、基板传送机构12，开启第一开关阀4，对进料室1抽真空，当进料室1达到设定真空度后，关闭第一开关阀4，打开第二开关阀6，给进料室1充入保护气，使基板处于保护气气氛下。然后打开第一封闭门3、基板传送机构12，将基板送入涂层室2内；然后关闭第三封闭门11，由涂层喷头10以进行涂层工作。涂层工作完成后，打开第三封闭门11、基板传送机构12，将涂层后的基板送入前烘室13；关闭基板传送机构12、第三封闭门11，并打开加热器14、第四开关阀15，给前烘室13提供高温保护气，以对涂层进行烘干；与此同时，开启空压机18将前烘室13排出的保护气压人保护气收集罐19内。烘干后，关闭加热器14、第四开关阀15、空压机18，开启第四封闭门17、基板传送机构12，将基板送出前烘室13。
重复上述步骤，实现连续生产，不同的是从对第二块基板涂层时，则无须对涂层室2抽真空，因为前述步骤中，涂层室2始终不与外部环境相通，因此只需给涂层室2按需提供保护气即可。在实际生产中，涂层室2的体积通常是进料室1、前烘室13的三倍以上，因此只对进料室1和前烘室13抽真空，能够降低真空泵5的功耗；同时也降低了生产的等待时间，确保生产效率，也能缩减保护气的消耗量，进一步节能。
需要说明的是，对于涂层后还需进行其他处理的基板(如再次涂层、涂胶、覆膜等)，则不设置前烘室13，其工作流程则变为：先对进料室1、涂层室2抽真空后，对涂层室2充入保护气后，在送入基板，待涂层室2内的基板均涂层完毕后，再取出基板；如此重复实现连续生产。而为了节能、提高生产效率，将涂层室2的长度加长；但越长，涂层喷头10长度方向的行程也就越长，控制难度加大，固通常将涂层室2的长度设置为进料室1的三倍。
以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种特殊涂层系统，其特征在于：包括密闭且相连的进料室(1)、涂层室(2)，所述进料室(1)与涂层室(2)连接处设有第一封闭门(3)，所述进料室(1)通过第一开关阀(4)连接有真空泵(5)、通过第二开关阀(6)连接有保护气罐(7)、与第一封闭门(3)相对的一侧设有第二封闭门(8)；
所述涂层室(2)通过第三开关阀(9)与保护气罐(7)连接、内部设置有与涂层原料供应装置相连的可三轴移动的涂层喷头(10)、与第一封闭门(3)相对的一侧设置有第三封闭门(11)；
还包括基板传送机构(12)，所述基板传送机构(12)一侧设于第二封闭门(8)外、另一侧设于第三封闭门(11)外、中部位于进料室(1)和涂层室(2)内。
2.根据权利要求1所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述涂层室(2)设置第三封闭门(11)的一侧还密封连接有密封的前烘室(13)，所述前烘室(13)依次通过加热器(14)、第四开关阀(15)与保护气罐(7)相连，所述前烘室(13)还连接有由内向外导通的单向阀(16)，所述前烘室(13)通过第五开关阀(21)与真空泵(5)相连，所述前烘室(13)与第三封闭门(11)相对的一侧设置有第四封闭门(17)。
3.根据权利要求2所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述单向阀(16)出口通过空压机(18)连接有保护气收集罐(19)。
4.根据权利要求3所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述第一封闭门(3)、第二封闭门(8)、第三封闭门(11)、第四封闭门(17)均为直线驱动器驱动的滑动式封闭门。
5.根据权利要求4所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述滑动式密封门包括门框(101)、门板(102)，所述门框(101)两侧均设置有供门板(102)滑动的滑槽(103)，所述滑槽(103)内设置有第一密封胶条(104)，所述门板(102)底部设置有第二密封胶条(105)。
6.根据权利要求5所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述第一密封胶条(104)、第二密封胶条(105)为中空的圆柱形橡胶条，且设置有若干与内部空腔相通的消气孔(106)。
7.根据权利要求1所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述基板传送机构(12)为转动辊带动的带传送机构，包括传送带(121)。
8.根据权利要求7所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述涂层室(2)内水平设置有若干支撑滚筒(20)，所述支撑滚筒(20)长度方向与传送带(121)长度方向垂直、且上端抵靠在上层传送带(121)底面。
9.根据权利要求7所述的特殊涂层系统，其特征在于：所述传送带(121)为不锈钢带。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A special coating system Granted publication date: 20191001 Pledgee: Chengdu SME financing Company Limited by Guarantee Pledgor: Chengdu Tuowei High Tech Photoelectric Technology Co.,Ltd. Registration number: Y2024980002862 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |