CN209412312U - 基片加热传输装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基片加热传输装置，包括：加热板，设置在基片载板的下表面；隔热背板，设置在所述加热板的下方；夹紧件，将所述基片载板、加热板和隔热背板夹持固定；传输组件，与所述夹紧件相连，用于驱动所述夹紧件移动。本实用新型提供的基片加热传输装置，通过设置加热板与基片载板直接接触，通过热传导的方式实现对基片载板的加热，通过设置夹紧件和传输组件使基片在加热的过程中被传输，从而能对基片持续地加热，避免了在基片被传输的过程中产生热量的损失，提高了基片加热的均匀性，并提高了太阳能电池产品的质量。

Description

基片加热传输装置

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池芯片制造技术，尤其涉及一种基片加热传输装置。

背景技术

PVD(物理气相沉积)是指用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。PVD设备是实现该过程的一种普遍应用的生产设备，因立式PVD设备的各种优点，如降低成本、膜层质量好等，越来越多的工厂生产、应用立式PVD设备。

立式PVD设备在生产过程中会对基片进行加热，以提高后道基片的镀膜质量及效率。在真空中，非接触式传热热量的传播方式主要为热辐射，实际生产过程中的真空度较低，也会有一定的热扩散。

目前的基片加热方式为：在真空腔体周围布满加热器，以对腔室内整个载板及内嵌的基片进行非接触式加热，热量传播方式主要为热辐射和热扩散。这种加热方式的效率比较低，且加热均匀性不好控制，基片的温度不同会对后面的镀膜质量造成一定的影响。而且，载板在加热腔室中加热过后往后道传动的过程中，会有一定的热量损失，使得真正镀膜过程中温度条件有所改变，得到的产品质量有降低。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种基片加热传输装置，以解决现有技术中的基片加热不均匀以及传输过程中有热量损失的问题，提高基片加热的均匀性，并保证基片的持续加热，提高产品质量。

本实用新型提供了一种基片加热传输装置，其中，包括：

加热板，设置在基片载板的一侧；

隔热背板，设置在所述加热板远离所述基片载板的一侧；

夹紧件，将所述基片载板、加热板和隔热背板夹持固定；

传输组件，与所述夹紧件相连，用于驱动所述夹紧件移动。

优选地，所述加热板包括板体和加热丝；

所述板体设置在所述基片载板的一侧；

所述加热丝设置在所述板体远离所述基片载板的一侧。

优选地，所述隔热背板包括本体和位于所述本体两端的延伸部；

所述延伸部与所述板体相连；

所述本体、所述延伸部和所述板体围成容纳腔，所述加热丝位于所述容纳腔内。

优选地，还包括温度传感器和控制器；

所述温度传感器用于感应所述基片载板的温度；

所述控制器用于根据所述温度传感器感应的所述基片载板的温度，控制所述加热丝的加热温度。

优选地，还包括电源，所述电源的正极和负极分别与所述加热丝相连；

所述电源的控制端与所述控制器相连；

所述控制器用于根据所述温度传感器感应的所述基片载板的温度，控制所述电源的输出功率。

优选地，所述传输组件包括驱动部件和滑轨；

所述驱动部件固定在所述隔热背板上，且所述驱动部件能驱动所述夹紧件沿所述滑轨移动。

优选地，还包括滑块，所述滑块设置在所述滑轨上；

所述驱动部件为电机；

所述电机的输出轴与所述滑块固定连接。

优选地，所述基片载板和所述加热板通过销钉固定连接。

优选地，所述夹紧件包括立板和两个横板；

两个横板分别垂直固定在所述立板的两端；

两个横板将所述基片载板、加热板和隔热背板夹持。

优选地，每个横板远离所述立板的一端均设置有内倒角。

本实用新型提供的基片加热传输装置，通过设置加热板与基片载板直接接触，通过热传导的方式实现对基片载板的加热，通过设置夹紧件和传输组件使基片在加热的过程中被传输，从而能对基片持续地加热，避免了在基片被传输的过程中产生热量的损失，提高了基片加热的均匀性，并提高了太阳能电池产品的质量。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的基片加热传输装置的俯视图；

图2为图1的A处放大图；

图3为本实用新型实施例提供的基片加热传输装置的侧视图；

图4为隐去了隔热背板的基片加热传输装置的主视图。

附图标记说明：

1-基片载板2-加热板21-板体22-加热丝3-隔热背板31-本体32-延伸部4-夹紧件41-立板42-横板5-传输组件51-驱动部件52-滑轨53-滑块6-销钉7-温度传感器8-控制器9-电源

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

如图1至图4所示，本实用新型实施例提供了一种基片加热传输装置，包括加热板2、隔热背板3、夹紧件4和传输组件5。

其中，太阳能电池的基片可以内嵌在基片载板1中，加热板2设置在基片载板1的一侧，隔热背板3设置在加热板2远离基片载板1的一侧，夹紧件4将基片载板1、加热板2和隔热背板3夹持固定，传输组件5与夹紧件4相连，用于驱动夹紧件4移动。

本实用新型实施例提供的基片加热传输装置，通过设置加热板2与基片载板1直接接触，通过热传导的方式实现对基片载板1的加热，通过设置夹紧件4和传输组件5使基片在加热的过程中被传输，从而能对基片持续地加热，避免了在基片被传输的过程中产生热量的损失，提高了基片加热的均匀性，并提高了太阳能电池产品的质量。

作为一种具体的实现方式，加热板2包括板体21和加热丝22；板体21设置在基片载板1的一侧；加热丝22设置在板体21远离基片载板1的一侧。可以理解的是，本领域技术人员可以根据实际需要选择其他的加热源，并不以此为限，通过加热丝22来进行加热，热传导效率更高，加热速度快。

优选地，隔热背板3包括本体31和位于本体31两端的延伸部32。延伸部32与板体21相连，本体31、延伸部32和板体21围成容纳腔，加热丝22位于容纳腔内。这样设置后，能够避免隔热背板3接触到加热丝22，避免了热量的损失。

进一步地，本实用新型实施例提供的基片加热传输装置5，还包括温度传感器7和控制器8。温度传感器7用于感应基片载板1的温度，控制器8用于根据温度传感器7感应的基片载板1的温度，控制加热丝22的加热温度。通过设置温度传感器7和控制器8，能够更加精准地控制对加热丝22的加热温度，从而灵活地适应基片载板1的工艺需求。

控制器8对加热丝22的加热温度的控制可以通过控制电源9的输出功率来实现，具体地，本实用新型实施例提供的基片加热传输装置5还包括电源9，电源9的正极和负极分别与加热丝22相连。电源9的控制端与控制器8相连，控制器8用于根据温度传感器7感应的基片载板1的温度，控制电源9的输出功率。

作为一种具体的实现方式，传输组件5可以包括驱动部件51和滑轨52，驱动部件51固定在隔热背板3上，且驱动部件51能驱动夹紧件4沿滑轨52移动。驱动部件51驱动夹紧件4，夹紧件4带动基片载板1、加热板2和隔热背板3移动到下一工序。在此过程中，加热板2持续对基片载板1进行加热。

进一步地，该装置还包括滑块53，设置在滑轨52上。驱动部件51可以为电机，电机的输出轴与滑块53固定连接。电机驱动滑块53，由于滑块53设置在夹紧件4上，从而使夹紧件4带动基片载板1、加热板2和隔热背板3移动到下一工序。在此过程中，加热板2持续对基片载板1进行加热。

优选地，基片载板1和加热板2通过销钉6定位实现对准，再利用夹紧件的夹持，以防止基片载板1从加热板2上掉落。

作为一种具体的实现方式，夹紧件4包括立板41和两个横板42，两个横板42分别垂直固定在立板41的两端，两个横板42将基片载板1、加热板2和隔热背板3夹持。

为了避免刮伤基片载板1及隔热背板3，可以在每个横板42远离所述立板41的一端均设置有内倒角。

本实用新型一种优选的实施例提供的基片加热传输装置的工作过程如下：

(1)控制器8对电源9进行控制，使电源9输出对加热丝22进行加热；

(2)板体21与加热丝22直接接触，加热一定时间后，板体21达到与加热丝22同样温度；内嵌有基片的基片载板1从前道腔室传送到当前腔室停住。

(3)机械手将本实用新型实施例提供的基片加热传输装置向基片载板1处移动，移动过程中将加热板2上的销钉和基片载板1上的销孔对准，将销钉插入；

(4)夹紧件4安装于滑块53上，在电机的带动下在滑轨52上向内侧移动，将基片载板1和加热板2、隔热背板3夹住；

(5)机械手松开归位，加热板2持续对基片载板1进行加热，一段时间后达到所需温度；

(6)加热板2、隔热背板3和基片载板1固定在一起，在设备传送装置的带动下向后道腔室流去，并在过程中对基片载板1进行持续加热；

(7)基片载板1上设置温度传感器7，整个加热过程中控制器8会采集基片载板1的温度，以对电源9的输出进行控制，达到控温的目的。

以上依据图式所示的实施例详细说明了本实用新型的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，但本实用新型不以图面所示限定实施范围，凡是依照本实用新型的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种基片加热传输装置，其特征在于，包括：

加热板，设置在基片载板的一侧；

隔热背板，设置在所述加热板远离所述基片载板的一侧；

夹紧件，将所述基片载板、加热板和隔热背板夹持固定；

传输组件，与所述夹紧件相连，用于驱动所述夹紧件移动。

2.根据权利要求1所述的基片加热传输装置，其特征在于，所述加热板包括板体和加热丝；

所述板体设置在所述基片载板的一侧；

所述加热丝设置在所述板体远离所述基片载板的一侧。

3.根据权利要求2所述的基片加热传输装置，其特征在于，所述隔热背板包括本体和位于所述本体两端的延伸部；

所述延伸部与所述板体相连；

所述本体、所述延伸部和所述板体围成容纳腔，所述加热丝位于所述容纳腔内。

4.根据权利要求2所述的基片加热传输装置，其特征在于，还包括温度传感器和控制器；

所述温度传感器用于感应所述基片载板的温度；

所述控制器用于根据所述温度传感器感应的所述基片载板的温度，控制所述加热丝的加热温度。

5.根据权利要求4所述的基片加热传输装置，其特征在于，还包括电源，所述电源的正极和负极分别与所述加热丝相连；

所述电源的控制端与所述控制器相连；

所述控制器用于根据所述温度传感器感应的所述基片载板的温度，控制所述电源的输出功率。

6.根据权利要求1所述的基片加热传输装置，其特征在于，所述传输组件包括驱动部件和滑轨；

所述驱动部件固定在所述隔热背板上，且所述驱动部件能驱动所述夹紧件沿所述滑轨移动。

7.根据权利要求6所述的基片加热传输装置，其特征在于，还包括滑块，所述滑块设置在所述滑轨上；

所述驱动部件为电机；

所述电机的输出轴与所述滑块固定连接。

8.根据权利要求1-7任一项所述的基片加热传输装置，其特征在于，所述基片载板和所述加热板通过销钉固定连接。

9.根据权利要求1-7任一项所述的基片加热传输装置，其特征在于，所述夹紧件包括立板和两个横板；

两个横板分别垂直固定在所述立板的两端；

两个横板将所述基片载板、加热板和隔热背板夹持。

10.根据权利要求9所述的基片加热传输装置，其特征在于，每个横板远离所述立板的一端均设置有内倒角。