CN209319451U - 一种倒角机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种倒角机，包括机架和设在机架上的工作台，工作台上设有用于吸附并带动硅片转动的盛放驱动组件，盛放驱动组件包括沿竖直贯穿工作台的主杆和设在工作台下侧壁上的驱动电机，主杆侧壁上设有第一齿盘，驱动电机输出端连接有驱动轴，驱动轴侧壁上设有第二齿盘，驱动轴和主杆通过第一齿盘和第二齿盘相配合传动连接，主杆上上下贯穿设有负压通道，主杆上端设有用于安放硅片的放置台，放置台内部设有负压腔室，放置台上表面均匀设有若干与负压腔室连通的吸附孔，主杆下端通过旋转接头连接有负压管，负压管上设有抽气泵，放置台一侧设有用于打磨硅片的砂轮打磨组件，本实用新型提供了一种结构简单、倒角效率高且倒角效果好的倒角机。

Description

一种倒角机

技术领域

本实用新型涉及一种倒角机。

背景技术

硅是一种很典型的半导体材料，其在地球表面的含量仅次于氧，被广泛应用与二极管、三极管、晶闸管、场效应管和各种集成电路，航空航天，光导纤维等多种领域中，是非常重要的材料。在硅片的加工过程中，从硅晶锭切成硅片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起硅片报废，因此在磨片之前需要对硅片进行倒角。现有的倒角方法是工人利用砂轮沿着单晶硅片的外缘进行打磨以去除毛刺，最终实现了单晶硅片的倒角，上述方法需人工手持砂轮进行打磨，费时费力的同时倒角效率低下，且人工操作精度低，不能满足生产精度要求。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种结构简单、倒角效率高且倒角效果好的倒角机。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种倒角机，其特征在于：包括机架和设置在机架上的工作台，所述工作台上设置有用于吸附并带动硅片转动的盛放驱动组件，所述盛放驱动组件包括沿竖直贯穿工作台的主杆和设置在工作台下侧壁上的驱动电机，所述主杆侧壁上且位于工作台下方设置有第一齿盘，所述驱动电机的输出端连接有驱动轴，所述驱动轴侧壁上设置有与第一齿盘相适配的第二齿盘，所述驱动轴和主杆通过第一齿盘和第二齿盘相配合传动连接，所述主杆上上下贯穿设置有负压通道，所述主杆上端设置有用于安放硅片的放置台，所述放置台内部设置有负压腔室，所述放置台上表面均匀设置有若干与负压腔室连通的吸附孔，所述主杆下端通过旋转接头连接有负压管，所述负压管上设置有抽气泵，所述放置台的一侧设置有用于打磨硅片的砂轮打磨组件，所述砂轮打磨组件包括设置在工作台上的固定座，所述固定座上设置有打磨电机，所述打磨电机的输出端连接有打磨辊，所述打磨辊远离打磨电机的一端且位于放置台的一侧连接有打磨砂轮。

通过采用上述技术方案，在对硅片进行倒角时，将硅片放置在放置台上，在抽气泵的作用下，持续通过负压管抽取负压通道中的气体，从而在负压通道中形成负压，放置台底部固定在主杆的顶端，负压通道和放置台中的负压腔室连通，放置台上表面均匀设置有若干与负压腔室连通的吸附孔，从而在抽气泵抽气作用下，空气从若干均匀排布在放置台上表面的吸附孔处进入到负压腔室中，并通过负压通道和负压管进入到抽气泵的抽气端，将硅片快速牢固的固定在放置台的上表面，在放置台的一侧设置有用于打磨硅片的砂轮打磨组件，砂轮打磨组件包括设置在工作台上的固定座，固定座上设置有打磨电机，在打磨电机的驱动作用下，其输出端连接的打磨辊转动并带动打磨辊顶端连接的打磨砂轮转动，对放置吸附固定在放置台上表面的硅片进行打磨，同时，在设置在工作台下侧壁上的驱动电机的驱动作用下，其输出端连接的驱动轴转动，并带动设置在驱动轴侧壁上的第二齿盘转动，在主杆侧壁上且位于工作台下方设置有第一齿盘，驱动轴和主杆通过第一齿盘和第二齿盘相配合传动连接，从而带动主杆转动，主杆顶端固定的放置台转动，并带动吸附固定在放置台上表面的硅片相对打磨砂轮转动，进一步提高了硅片的打磨效率及对硅片的打磨效果，本实用新型提供了一种结构简单、倒角效率高且倒角效果好的倒角机。

本实用新型进一步设置为：所述工作台上设置有用于驱动固定座沿横向移动的横移驱动组件，所述横移驱动组件包括设置在工作台上的驱动气缸，所述驱动气缸的输出端沿横向连接有横移推杆，所述横移推杆远离驱动气缸的一端与固定座侧壁连接。

通过采用上述技术方案，为了方便对硅片的打磨控制，在工作台上设置有用于驱动固定座沿横向移动的横移驱动组件，横移驱动组件包括设置在工作台上的驱动气缸，在驱动气缸的驱动作用下，其输出端连接的横移推杆沿横向伸缩并带动固定座相对主杆移动，从而带动打磨砂轮相对调整与放置台上的硅片之间的打磨间距，控制对硅片的打磨精度以及对不同规格大小的硅片的打磨，方便操作人员操作。

本实用新型进一步设置为：所述工作台上表面且位于主杆的左右两侧分别设置有两块侧固定板，该两块侧固定板顶部通过横向固定板相互连接，所述主杆远离旋转接头的一端分别贯穿工作台和横向固定板后与放置台连接。

通过采用上述技术方案，为了提高对主杆旋转时的稳定强度，使其稳定带动放置台转动，保证硅片的打磨精度，在工作台上表面且位于主杆的左右两侧分别设置有两块侧固定板，该两块侧固定板顶部通过横向固定板相互连接，主杆远离旋转接头的一端分别贯穿工作台和横向固定板后与放置台连接。

本实用新型进一步设置为：所述吸附孔的横向截面呈正六边形。

通过采用上述技术方案，为了保证对硅片的吸附固定强度，同时保证放置台的结构强度，将吸附孔的横向截面设置为呈正六边形。

本实用新型进一步设置为：所述放置台上表面水平高度大于打磨砂轮下表面水平高度。

通过采用上述技术方案，为了防止在放置台旋转的过程中比硅片先碰撞到打磨砂轮，而影响硅片的正常打磨，将放置台上表面水平高度设置为大于打磨砂轮下表面水平高度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施方式结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型公开了一种倒角机，在本实用新型具体实施例中，包括机架1和设置在机架1上的工作台2，所述工作台2上设置有用于吸附并带动硅片转动的盛放驱动组件，所述盛放驱动组件包括沿竖直贯穿工作台2的主杆11和设置在工作台2下侧壁上的驱动电机13，所述主杆11侧壁上且位于工作台2下方设置有第一齿盘12，所述驱动电机13的输出端连接有驱动轴14，所述驱动轴14侧壁上设置有与第一齿盘12相适配的第二齿盘15，所述驱动轴 14和主杆11通过第一齿盘12和第二齿盘15相配合传动连接，所述主杆11上上下贯穿设置有负压通道16，所述主杆11上端设置有用于安放硅片的放置台3，所述放置台3内部设置有负压腔室4，所述放置台3上表面均匀设置有若干与负压腔室4连通的吸附孔5，所述主杆11下端通过旋转接头6连接有负压管7，所述负压管7上设置有抽气泵8，所述放置台3的一侧设置有用于打磨硅片的砂轮打磨组件，所述砂轮打磨组件包括设置在工作台2上的固定座21，所述固定座21上设置有打磨电机22，所述打磨电机22的输出端连接有打磨辊23，所述打磨辊23远离打磨电机22的一端且位于放置台3的一侧连接有打磨砂轮24。

通过采用上述技术方案，在对硅片进行倒角时，将硅片放置在放置台3上，在抽气泵8的作用下，持续通过负压管7抽取负压通道16中的气体，从而在负压通道16中形成负压，放置台3底部固定在主杆11的顶端，负压通道16和放置台3中的负压腔室4连通，放置台3上表面均匀设置有若干与负压腔室4连通的吸附孔5，从而在抽气泵8抽气作用下，空气从若干均匀排布在放置台3上表面的吸附孔5处进入到负压腔室4中，并通过负压通道16和负压管7进入到抽气泵8的抽气端，将硅片快速牢固的固定在放置台3的上表面，在放置台3 的一侧设置有用于打磨硅片的砂轮打磨组件，砂轮打磨组件包括设置在工作台2 上的固定座21，固定座21上设置有打磨电机22，在打磨电机22的驱动作用下，其输出端连接的打磨辊23转动并带动打磨辊23顶端连接的打磨砂轮24转动，对放置吸附固定在放置台3上表面的硅片进行打磨，同时，在设置在工作台2 下侧壁上的驱动电机13的驱动作用下，其输出端连接的驱动轴14转动，并带动设置在驱动轴14侧壁上的第二齿盘15转动，在主杆11侧壁上且位于工作台 2下方设置有第一齿盘12，驱动轴14和主杆11通过第一齿盘12和第二齿盘15 相配合传动连接，从而带动主杆11转动，主杆11顶端固定的放置台3转动，并带动吸附固定在放置台3上表面的硅片相对打磨砂轮24转动，进一步提高了硅片的打磨效率及对硅片的打磨效果，本实用新型提供了一种结构简单、倒角效率高且倒角效果好的倒角机。

在本实用新型具体实施例中，所述工作台2上设置有用于驱动固定座21沿横向移动的横移驱动组件，所述横移驱动组件包括设置在工作台2上的驱动气缸25，所述驱动气缸25的输出端沿横向连接有横移推杆26，所述横移推杆26 远离驱动气缸25的一端与固定座21侧壁连接。

通过采用上述技术方案，为了方便对硅片的打磨控制，在工作台2上设置有用于驱动固定座21沿横向移动的横移驱动组件，横移驱动组件包括设置在工作台2上的驱动气缸25，在驱动气缸25的驱动作用下，其输出端连接的横移推杆26沿横向伸缩并带动固定座21相对主杆11移动，从而带动打磨砂轮24相对调整与放置台3上的硅片之间的打磨间距，控制对硅片的打磨精度以及对不同规格大小的硅片的打磨，方便操作人员操作。

在本实用新型具体实施例中，所述工作台2上表面且位于主杆11的左右两侧分别设置有两块侧固定板31，该两块侧固定板31顶部通过横向固定板32相互连接，所述主杆11远离旋转接头6的一端分别贯穿工作台2和横向固定板32 后与放置台3连接。

通过采用上述技术方案，为了提高对主杆11旋转时的稳定强度，使其稳定带动放置台3转动，保证硅片的打磨精度，在工作台2上表面且位于主杆11的左右两侧分别设置有两块侧固定板31，该两块侧固定板31顶部通过横向固定板 32相互连接，主杆11远离旋转接头6的一端分别贯穿工作台2和横向固定板 32后与放置台3连接。

在本实用新型具体实施例中，所述吸附孔5的横向截面呈正六边形。

通过采用上述技术方案，为了保证对硅片的吸附固定强度，同时保证放置台3的结构强度，将吸附孔5的横向截面设置为呈正六边形。

在本实用新型具体实施例中，所述放置台3上表面水平高度大于打磨砂轮 24下表面水平高度。

通过采用上述技术方案，为了防止在放置台3旋转的过程中比硅片先碰撞到打磨砂轮24，而影响硅片的正常打磨，将放置台3上表面水平高度设置为大于打磨砂轮24下表面水平高度。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种倒角机，其特征在于：包括机架(1)和设置在机架(1)上的工作台(2)，所述工作台(2)上设置有用于吸附并带动硅片转动的盛放驱动组件，所述盛放驱动组件包括沿竖直贯穿工作台(2)的主杆(11)和设置在工作台(2)下侧壁上的驱动电机(13)，所述主杆(11)侧壁上且位于工作台(2)下方设置有第一齿盘(12)，所述驱动电机(13)的输出端连接有驱动轴(14)，所述驱动轴(14)侧壁上设置有与第一齿盘(12)相适配的第二齿盘(15)，所述驱动轴(14)和主杆(11)通过第一齿盘(12)和第二齿盘(15)相配合传动连接，所述主杆(11)上上下贯穿设置有负压通道(16)，所述主杆(11)上端设置有用于安放硅片的放置台(3)，所述放置台(3)内部设置有负压腔室(4)，所述放置台(3)上表面均匀设置有若干与负压腔室(4)连通的吸附孔(5)，所述主杆(11)下端通过旋转接头(6)连接有负压管(7)，所述负压管(7)上设置有抽气泵(8)，所述放置台(3)的一侧设置有用于打磨硅片的砂轮打磨组件，所述砂轮打磨组件包括设置在工作台(2)上的固定座(21)，所述固定座(21)上设置有打磨电机(22)，所述打磨电机(22)的输出端连接有打磨辊(23)，所述打磨辊(23)远离打磨电机(22)的一端且位于放置台(3)的一侧连接有打磨砂轮(24)。

2.根据权利要求1所述的一种倒角机，其特征在于：所述工作台(2)上设置有用于驱动固定座(21)沿横向移动的横移驱动组件，所述横移驱动组件包括设置在工作台(2)上的驱动气缸(25)，所述驱动气缸(25)的输出端沿横向连接有横移推杆(26)，所述横移推杆(26)远离驱动气缸(25)的一端与固定座(21)侧壁连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种倒角机，其特征在于：所述工作台(2)上表面且位于主杆(11)的左右两侧分别设置有两块侧固定板(31)，该两块侧固定板(31)顶部通过横向固定板(32)相互连接，所述主杆(11)远离旋转接头(6)的一端分别贯穿工作台(2)和横向固定板(32)后与放置台(3)连接。

4.根据权利要求1所述的一种倒角机，其特征在于：所述吸附孔(5)的横向截面呈正六边形。

5.根据权利要求1所述的一种倒角机，其特征在于：所述放置台(3)上表面水平高度大于打磨砂轮(24)下表面水平高度。