CN209263658U - 一种用于扩散炉炉门的门体结构 - Google Patents

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陈庆敏
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WUXI SONGYU TECHNOLOGY Co.,Ltd.
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Wuxi Zhenglong Xingyuan Electronic Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及扩散炉技术领域,尤其涉及一种用于扩散炉炉门的门体结构,包括炉门支撑板、炉门支撑轴、限位转轴、向心关节轴承、铝门、连接板和石英门,炉门支撑板的中心连接炉门支撑轴,四周通过螺栓与铝门的一面固定,铝门一面的中心安装有向心关节轴承,另一面通过弹簧螺栓与连接板的一面连接,连接板的另一面与石英门连接,限位转轴的一端安装于向心关节轴承内,另一端穿过轴承压盖后与炉门支撑轴的中心连接,铝门朝向石英门的一面上开设有1个环形凹槽,环形凹槽的截面积自铝门向石英门方向逐渐减小,环形凹槽环形分布于铝门上并位于石英门圆周的外侧,所述环形凹槽内安装有O型密封圈;本实用新型炉门门体结构简单,密封性能好。

Description

一种用于扩散炉炉门的门体结构
技术领域
本实用新型涉及扩散炉技术领域,尤其涉及一种用于扩散炉炉门的门体结构。
背景技术
市场上现有的扩散炉,其炉门一般与送舟机构集成在一起,送舟机构不仅结构复杂,而且与之匹配的石英管必须采用扩口结构,这就使得安装或拆卸石英管时,不仅需要拆除送舟机构,而且石英管只能采用前进前出的方式,导致生产效率低下。为此,亟待需要开发一种密封性能良好的炉门结构,使其对石英管开口处不再要求必须为扩口结构,进而使得安装或拆卸石英管时可以改变为后进后出,不必拆卸送舟机构,从而提高生产效率。因此,首先开发一种炉门门体结构。
实用新型内容
针对现有技术中的问题,本实用新型提供一种扩散炉炉门的门体结构。
为实现以上技术目的,本实用新型的技术方案是:
一种用于扩散炉炉门的门体结构,包括炉门支撑板、炉门支撑轴、限位转轴、向心关节轴承、铝门、连接板和石英门,所述炉门支撑板的中心连接炉门支撑轴,四周通过螺栓与铝门的一面固定,所述铝门一面的中心安装有向心关节轴承,另一面通过弹簧螺栓与连接板的一面连接,所述连接板的另一面与石英门连接,所述限位转轴的一端安装于向心关节轴承内,另一端穿过轴承压盖后与炉门支撑轴的中心连接,所述铝门朝向石英门的一面上开设有环形凹槽,所述环形凹槽的截面积自铝门向石英门方向逐渐减小,所述环形凹槽环形分布于铝门上并位于石英门圆周的外侧,环形凹槽内安装有O型密封圈。
作为改进,所述炉门支撑轴外周套接有支撑轴压块。
作为优选,所述环形凹槽的纵向剖面为梯形。
作为改进,所述O型密封圈为耐高温密封圈。
作为优选,所述炉门支撑板为三角形。
从以上描述可以看出,本实用新型具备以下优点:
1.炉门门体结构简单,能够实现扩散炉的炉口密封,密封性能好。
2.当扩散炉采用本实用新型所述的炉门结构时,由于炉门门体的密封性能能够达到工艺要求,使得石英舟可以单独放入炉体内,炉门本体作为一个独立的整体而不必和送舟机构集成为一体,便于安装和维护,大大提高了生产效率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型带有驱动机构的结构示意图。
具体实施方式
结合图1至图2,详细说明本实用新型的一个具体实施例,但不对本实用新型的权利要求做任何限定。
如图1所示,一种用于扩散炉炉门的门体结构,包括炉门支撑板101、炉门支撑轴102、限位转轴103、向心关节轴承104、铝门105、连接板106和石英门107,炉门支撑板101的中心连接有炉门支撑轴102,四周通过螺栓与铝门105的一面固定,铝门105一面的中心安装有向心关节轴承104,另一面通过弹簧螺栓110与连接板106的一面连接,连接板106的另一面与石英门107连接,限位转轴103的一端安装于向心关节轴承104内,另一端穿过轴承压盖111后与炉门支撑轴102的中心连接,铝门105朝向石英门107的一面上开设有1个环形凹槽108,环形凹槽108的截面积自铝门向石英门方向逐渐减小(例如:环形凹槽的纵向剖面为梯形,梯形的平行边与炉门门体的轴向中心线垂直,优选为等腰梯形),环形凹槽108环形分布于铝门105上并位于石英门107圆周的外侧,环形凹槽108内安装有O型密封圈109;其中O型圈109采用耐高温材料制成。
本实用新型实际应用时,如图2所示,炉门驱动机构2通过连接机构(例如连接杆206)与炉门支撑轴压块112连接。
本实用新型中:当炉门门体与扩散炉炉口配合时,炉门门体结构为双层结构(铝门和石英门),石英门伸入炉口内,铝门覆盖在炉口上,石英门和石英管口柔性接触,形成第一层密封;铝门上设置的O型密封圈设置于剖面为等腰梯形的凹槽内,当铝门覆盖在炉口上时,能够起到很好的密封作用,使得门体整体密封性能好,有效保证炉体热量不扩散;当扩散炉采用本实用新型所述的炉门结构时,由于炉门门体的密封性能能够达到工艺要求,使得石英舟可以单独放入炉体内,炉门本体作为一个独立的整体而不必和送舟机构集成为一体,便于安装和维护,大大提高了生产效率。
为了进一步保证炉门支撑结构的连接强度和连接稳定性,对上述实施例做以下改进:
1.炉门支撑轴外周套接有支撑轴压块112;
2.炉门支撑板优选三角形。
综上所述,本实用新型具有以下优点:
1.炉门门体结构简单,能够实现扩散炉的炉口密封,密封性能好;
2.当扩散炉采用本实用新型所述的炉门结构时,由于炉门门体的密封性能能够达到工艺要求,使得石英舟可以单独放入炉体内,炉门本体作为一个独立的整体而不必和送舟机构集成为一体,便于安装和维护,大大提高了生产效率。
可以理解的是,以上关于本实用新型的具体描述,仅用于说明本实用新型而并非受限于本实用新型实施例所描述的技术方案。本领域的普通技术人员应当理解,仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换,以达到相同的技术效果;只要满足使用需要,都在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于扩散炉炉门的门体结构,其特征在于:包括炉门支撑板、炉门支撑轴、限位转轴、向心关节轴承、铝门、连接板和石英门,所述炉门支撑板的中心连接炉门支撑轴,四周通过螺栓与铝门的一面固定,所述铝门一面的中心安装有向心关节轴承,另一面通过弹簧螺栓与连接板的一面连接,所述连接板的另一面与石英门连接,所述限位转轴的一端安装于向心关节轴承内,另一端穿过轴承压盖后与炉门支撑轴的中心连接,所述铝门朝向石英门的一面上开设有1个环形凹槽,所述环形凹槽的截面积自铝门向石英门方向逐渐减小,所述环形凹槽环形分布于铝门上并位于石英门圆周的外侧,所述环形凹槽内安装有O型密封圈。
2.根据权利要求1所述的用于扩散炉炉门的门体结构,其特征在于:所述炉门支撑轴外周套接有支撑轴压块。
3.根据权利要求1所述的用于扩散炉炉门的门体结构,其特征在于:所述环形凹槽的纵向剖面为梯形。
4.根据权利要求1所述的用于扩散炉炉门的门体结构,其特征在于:所述O型密封圈为耐高温密封圈。
5.根据权利要求1所述的用于扩散炉炉门的门体结构,其特征在于:所述炉门支撑板为三角形。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111721110A (zh) * 2020-06-24 2020-09-29 北京北方华创微电子装备有限公司 一种立式反应炉
CN114440132A (zh) * 2020-10-30 2022-05-06 联华气体工业股份有限公司 气体钢瓶泄漏处理设备

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