CN209260253U - 单晶炉用导流筒内屏 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可调节导流筒内屏高度的单晶炉用导流筒内屏，其特征是它包括上内屏、下内屏，上内屏下部设有上内屏连接部，下内屏上部设有下内屏连接部，均为轴向直壁段，上内屏连接部的外径为下内屏连接部的内径，上内屏连接部可在下内屏连接部内滑动；本实用新型结构简单，导流筒的内屏采用模块化组装，具有高度可调的特点，可满足不同热场的需要；同时，当导流筒某一零部件出现损坏后，还能单独更换，进一步节约了成本，且内屏设有一段轴向直壁段，有利于晶体散热，可加大晶体生长所需的温度梯度，提高晶体生长速度。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶炉热场零件，具体地说是一种单晶炉用导流筒，特别是涉及一种可调节导流筒内屏高度的单晶炉用导流筒内屏。
背景技术
导流筒是单晶硅拉制炉热场系统的关键元件之一，主要用于控制热场的轴向温度梯度和引导氩气流。导流筒阻隔单晶炉体以及熔硅对晶体的热辐射，利于晶体散热，形成晶体生长所需的温度梯度，以提高晶体生长速度；引导由单晶炉顶从上向下吹的氩气集中地喷吹到固液界面附近，维持其清洁度，同时更加有利于晶体散热，加大晶体生长所需的温度梯度，以提高晶体生长速度；对高温硅熔体起保温作用，节约能源。目前，导流筒的外屏一般采用碳/碳复合材料，其具有高强度、耐冲刷、寿命长、安全可靠等特点。虽说内屏一般为石墨材质，但由于其所处环境清洁、安全，也有较长的使用寿命。
近几年，单晶炉热场大尺寸化的速度越来越快，为了尽可能的利用现有设备，单晶厂商充分挖掘热场潜能，通过新材料的应用，不断升级扩容，增加投料量。其中一种方法是通过增加轴向空间来加高坩埚。由于导流筒与坩埚属匹配关系，因此，导流筒的高度也要随坩埚的增高而增高。这样，导流筒的外屏与内屏往往在失效前就因热场升级扩容而遭淘汰，形成了巨大的浪费。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种可调节导流筒内屏高度的单晶炉用导流筒内屏。
本实用新型是采用如下技术方案实现其发明目的的，一种单晶炉用导流筒内屏，它包括上内屏、下内屏，上内屏下部设有上内屏连接部，下内屏上部设有下内屏连接部，均为轴向直壁段，上内屏连接部的外径为下内屏连接部的内径，上内屏连接部可在下内屏连接部内滑动。
为单晶炉内气氛的顺畅流动，本实用新型上内屏的非法兰端设有倒圆角。
由于采用上述技术方案，本实用新型较好的实现了发明目的，其结构简单，导流筒的内屏采用模块化组装，具有高度可调的特点，可满足不同热场的需要；同时，当导流筒某一零部件出现损坏后，还能单独更换，进一步节约了成本，且内屏设有一段轴向直壁段，有利于晶体散热，可加大晶体生长所需的温度梯度，提高晶体生长速度。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型上内屏1的结构示意图；
图3是本实用新型下内屏4的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。
由图1、图2、图3可知，一种单晶炉用导流筒内屏，它包括上内屏1、下内屏4，上内屏1下部设有上内屏连接部11，下内屏4上部设有下内屏连接部41，均为轴向直壁段，上内屏连接部11的外径为下内屏连接部41的内径，上内屏连接部11可在下内屏连接部41内滑动。
为单晶炉内气氛的顺畅流动，本实用新型上内屏1的非法兰端设有倒圆角。
当导流筒的高度随坩埚的增高而需要增高时，外屏也采用模块化组装，使其高度可调；本实施例的内屏可在一定范围内跟随外屏的高度调整，这样，可满足不同热场的需要。
本实用新型其结构简单，导流筒的内屏采用模块化组装，具有高度可调的特点，可满足不同热场的需要；同时，当导流筒某一零部件出现损坏后，还能单独更换，进一步节约了成本，且内屏设有一段轴向直壁段，有利于晶体散热，可加大晶体生长所需的温度梯度，提高晶体生长速度。
Claims (2)
1.一种单晶炉用导流筒内屏，其特征是它包括上内屏、下内屏，上内屏下部设有上内屏连接部，下内屏上部设有下内屏连接部，均为轴向直壁段，上内屏连接部的外径为下内屏连接部的内径，上内屏连接部可在下内屏连接部内滑动。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用导流筒内屏，其特征是上内屏的非法兰端设有倒圆角。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201822090036.XU CN209260253U (zh) | 2018-12-13 | 2018-12-13 | 单晶炉用导流筒内屏 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201822090036.XU CN209260253U (zh) | 2018-12-13 | 2018-12-13 | 单晶炉用导流筒内屏 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209260253U true CN209260253U (zh) | 2019-08-16 |
Family
ID=67563183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201822090036.XU Active CN209260253U (zh) | 2018-12-13 | 2018-12-13 | 单晶炉用导流筒内屏 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209260253U (zh) |
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2018
- 2018-12-13 CN CN201822090036.XU patent/CN209260253U/zh active Active
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