CN208201169U - 快速拉制单晶的装置 - Google Patents
快速拉制单晶的装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208201169U CN208201169U CN201721918894.8U CN201721918894U CN208201169U CN 208201169 U CN208201169 U CN 208201169U CN 201721918894 U CN201721918894 U CN 201721918894U CN 208201169 U CN208201169 U CN 208201169U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cold water
- heat shielding
- crucible
- shielding housing
- water liner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 41
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910052571 earthenware Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 14
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 11
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 abstract description 8
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 abstract description 7
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 210000000232 gallbladder Anatomy 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本实用新型提出一种快速拉制单晶的装置，包括炉体，炉体内设有可容纳硅原料的坩埚，坩埚上方设有热屏外套，由热屏外套对坩埚进行隔热，热屏外套中部具有供单晶棒通过的通孔，热屏外套上设有冷水内胆，冷水内胆通过管路与供水设备连通，由供水设备向冷水内胆供应冷水，由冷水内胆对拉出的单晶棒进行冷却。冷水内胆上设有保护板，保护板贴附于冷水内胆内侧，以防止硅熔液溅到冷水内胆上。热屏外套向坩埚内凹陷，冷水内胆贴附于热屏外套内侧。该装置利用热屏外套内的冷水内胆控制温度梯度，冷却水迅速带走单晶棒的温度，可降低单位能耗，加快晶体生产速度，减少生产时间，达到降低能耗，缩短生产周期，提高生产效率的目的。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅生产设备，尤其涉及一种快速拉制单晶的装置。
背景技术
硅单晶片具有转换效率高和稳定性好的优点，但单晶拉制和多晶铸锭还存在制造成本的差距，单位能耗单晶高于多晶。常用单晶拉制装置利用热屏技术的热屏外套进行隔热保温。热屏起到隔热作用，减少液面温度向上辐射，致使生长出的单晶棒散热较慢，从而晶体生长速度缓慢。因此，有必要对单晶拉制设备进行结构优化，以克服上述缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供快速拉制单晶的装置，以降低单位能耗，加快晶体生产速度。
本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是，
快速拉制单晶的装置，包括炉体，炉体内设有可容纳硅原料的坩埚，坩埚上方设有热屏外套，由热屏外套对坩埚进行隔热，热屏外套中部具有供单晶棒通过的通孔，热屏外套上设有冷水内胆，冷水内胆通过管路与供水设备连通，由供水设备向冷水内胆供应冷水，由冷水内胆对拉出的单晶棒进行冷却。
冷水内胆上设有保护板，保护板贴附于冷水内胆内侧，以防止硅熔液溅到冷水内胆上。
热屏外套向坩埚内凹陷，冷水内胆贴附于热屏外套内侧。
炉体内壁设有保温层，坩埚外壁设有加热器，由加热器对坩埚内的硅原料进行加热。
坩埚底部设有埚托，埚托底端从炉体底部伸出。
本实用新型的优点在于，该装置利用热屏外套内的冷水内胆控制温度梯度，冷却水迅速带走单晶棒的温度，在热屏外套内圈增加冷水内胆，在晶体生长初期可控制冷却水流量较少，当单晶体达到一定长度可控制冷却水流量产生较大的温度梯度，迅速带走单晶棒的热量，单晶体被迫快速降温，在固液面上形成快速结晶，提高长晶速度，达到快速拉晶的目的，可降低单位能耗，加快晶体生产速度，减少生产时间，达到降低能耗，缩短生产周期，提高生产效率的目的。
附图说明
图1是本实用新型提出的快速拉制单晶的装置的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合图示与具体实施例，进一步阐述本实用新型。
如图1所示，本实用新型提出的快速拉制单晶的装置包括炉体1，炉体内设有可容纳硅原料的坩埚2，坩埚上方设有热屏外套3，由热屏外套对坩埚进行隔热，热屏外套中部具有供单晶棒4通过的通孔，热屏外套上设有冷水内胆5，冷水内胆通过管路与供水设备连通，由供水设备向冷水内胆供应冷水，由冷水内胆对拉出的单晶棒进行冷却。冷水内胆上设有保护板6，保护板贴附于冷水内胆内侧，以防止硅熔液溅到冷水内胆上。热屏外套向坩埚内凹陷，冷水内胆贴附于热屏外套内侧。炉体内壁设有保温层7，坩埚外壁设有加热器8，由加热器对坩埚内的硅原料进行加热。坩埚底部设有埚托9，埚托底端从炉体底部伸出。其中未详述的部件连接均为连接件连接、焊接、一体成型等现有连接形式。该装置利用热屏外套内的冷水内胆控制温度梯度，冷却水迅速带走单晶棒的温度，在热屏外套内圈增加冷水内胆，在晶体生长初期可控制冷却水流量较少，当单晶体达到一定长度可控制冷却水流量产生较大的温度梯度，迅速带走单晶棒的热量，单晶体被迫快速降温，在固液面上形成快速结晶，提高长晶速度，达到快速拉晶的目的，可降低单位能耗，加快晶体生产速度，减少生产时间，达到降低能耗，缩短生产周期，提高生产效率的目的。
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让本领域的技术人员了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (5)
1.快速拉制单晶的装置，包括炉体，炉体内设有可容纳硅原料的坩埚，其特征在于：坩埚上方设有热屏外套，由热屏外套对坩埚进行隔热，热屏外套中部具有供单晶棒通过的通孔，热屏外套上设有冷水内胆，冷水内胆通过管路与供水设备连通，由供水设备向冷水内胆供应冷水，由冷水内胆对拉出的单晶棒进行冷却。
2.根据权利要求1所述的快速拉制单晶的装置，其特征在于：冷水内胆上设有保护板，保护板贴附于冷水内胆内侧，以防止硅熔液溅到冷水内胆上。
3.根据权利要求1所述的快速拉制单晶的装置，其特征在于：热屏外套向坩埚内凹陷，冷水内胆贴附于热屏外套内侧。
4.根据权利要求1所述的快速拉制单晶的装置，其特征在于：炉体内壁设有保温层，坩埚外壁设有加热器，由加热器对坩埚内的硅原料进行加热。
5.根据权利要求1所述的快速拉制单晶的装置，其特征在于：坩埚底部设有埚托，埚托底端从炉体底部伸出。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721918894.8U CN208201169U (zh) | 2017-12-29 | 2017-12-29 | 快速拉制单晶的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721918894.8U CN208201169U (zh) | 2017-12-29 | 2017-12-29 | 快速拉制单晶的装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208201169U true CN208201169U (zh) | 2018-12-07 |
Family
ID=64491068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721918894.8U Active CN208201169U (zh) | 2017-12-29 | 2017-12-29 | 快速拉制单晶的装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208201169U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113755941A (zh) * | 2020-06-05 | 2021-12-07 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种换热装置及单晶炉 |
| WO2024032332A1 (zh) * | 2022-08-09 | 2024-02-15 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种单晶硅棒拉制装置及拉制方法、换热器及换热组件 |
-
2017
- 2017-12-29 CN CN201721918894.8U patent/CN208201169U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113755941A (zh) * | 2020-06-05 | 2021-12-07 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种换热装置及单晶炉 |
| WO2024032332A1 (zh) * | 2022-08-09 | 2024-02-15 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 一种单晶硅棒拉制装置及拉制方法、换热器及换热组件 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102051674B (zh) | 单晶锭制造装置 | |
| CN105442037A (zh) | 一种高速单晶生长装置 | |
| CN101967675B (zh) | 制造单晶锭的装置 | |
| CN208201169U (zh) | 快速拉制单晶的装置 | |
| CN105887186A (zh) | 硅单晶提拉设备与生长方法 | |
| CN202030860U (zh) | 单晶锭制造装置 | |
| CN108588825A (zh) | 一种侧加热器可移动的铸锭炉及其铸锭工艺 | |
| CN109023525A (zh) | 一种底座可移动的蓝宝石晶体生长炉 | |
| CN204849118U (zh) | 改进的泡生法蓝宝石单晶炉冷却系统结构 | |
| CN105154978B (zh) | 砷化镓多晶磁场生长炉以及生长方法 | |
| CN103451726A (zh) | 一种水致冷铸锭炉及其铸锭工艺 | |
| CN206591201U (zh) | 晶硅铸锭炉 | |
| CN206624946U (zh) | 一种用于制备磷化铟单晶的高压炉 | |
| CN204237890U (zh) | 一种晶体硅定向凝固生长设备 | |
| CN208667897U (zh) | 一种可提升拉速的单晶硅连续生产结晶的单晶炉 | |
| CN203174222U (zh) | 一种多晶硅铸锭炉的热场结构 | |
| CN104372407A (zh) | 一种晶体硅定向凝固生长设备和方法 | |
| CN207294942U (zh) | 一种带石墨和水冷复合热屏的高效单晶生长炉 | |
| CN106757312A (zh) | 一种硅单晶提拉炉 | |
| CN106894082B (zh) | 单晶硅生长炉 | |
| CN205295534U (zh) | 一种高速单晶生长装置 | |
| CN207376139U (zh) | 定向水冷散热的节能型高效多晶硅铸锭炉 | |
| CN202297860U (zh) | 具有升降机构的单晶炉热场 | |
| CN116516463A (zh) | 一种溶液法生长碳化硅单晶的热场结构及方法 | |
| CN203065635U (zh) | 一种底部增强冷却装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20240407 Address after: Building 1, No. 11 Songhai Road, Huimin Street, Jiashan County, Jiaxing City, Zhejiang Province, 314100 Patentee after: Zhejiang Xinghui New Material Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: Room 4308, building 4, No. 568, Jinyang East Road, Jiashan County, Jiaxing City, Zhejiang Province, 314100 Patentee before: JIAXIN NAIJIN NEW MATERIAL CO.,LTD. Country or region before: China |