CN209232751U - 具有缓存通道的硅片输送装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有缓存通道的硅片输送装置，包括输送带和设置在输送带上方的缓存平台，缓存平台包括至少两个相对设置的缓存块，和带动缓存块升降横移的综合动力装置，通过设置在输送带上方的缓存平台的设置，使得输送带在执行硅片输送的同时还能在输送带上方缓存下一个待输送的硅片，既满足了在生产节拍慢时的输送需求也满足了在生产节拍较快的时候的硅片输送需求同时还节省了额外的输送带的设置，节约了硅片输送装置的占地空间。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种硅片输送装置，尤其涉及一种具有缓存通道的硅片输送装置。
背景技术
现市面上硅片输送装置基本设置为将硅片搬运至硅片处理单元，再将处理完的硅片从硅片处理单元上搬离，通常为对应搬运夹爪的个数设置相对应个数的硅片输送装置。
然而在实际生产中搬离硅片处理单元的生产节拍并不如将硅片搬入硅片处理单元的节奏快，所以在实际生产中个别硅片输送装置会常处于待机空转状态，不仅浪费了生产资源，也增加了装置占地空间。
实用新型内容
为了能够节约硅片输送装置的占地空间，同时避免生产资源的浪费，本实用新型的技术方案提供了一种具有缓存通道的硅片输送装置。技术方案如下：
第一方面，本实用新型提供了一种具有缓存通道的硅片输送装置，包括输送带和设置在输送带上方的缓存平台，缓存平台包括至少两个相对设置的缓存块，和带动缓存块升降横移的综合动力装置。
通过设置在输送带上方的缓存平台的设置，使得输送带在执行硅片输送的同时还能在输送带上方缓存下一个待输送的硅片，既满足了在生产节拍慢时的输送需求也满足了在生产节拍较快的时候的硅片输送需求同时还节省了额外的输送带的设置，节约了硅片输送装置的占地空间。
在第一方面的第一种可能的实现方式中，综合动力装置包括升降动力装置和横移动力装置，升降动力装置的活动端连接缓存块，升降动力装置的固定端连接有横移动力装置，升降动力装置安装在输送带两侧，横移动力装置安装在输送带下方。
通过综合动力装置的设置，在保证下方输送带正常运转的情况下，也能完成接收额外硅片的任务，增加了缓存平台的灵活性。
结合第一方面或第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，具有缓存通道的硅片输送装置还包括硅片搬运装置，硅片搬运装置包括硅片搬运夹爪和带动硅片搬运夹爪动作的夹爪动力装置。
通过硅片搬运装置的具体设置，使得输送带可以通过硅片搬运装置从硅片处理单元处获取硅片，从而增加了硅片输送装置的兼容性。
结合第一方面或第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，夹爪动力装置包括三维移动平台和带动硅片搬运夹爪改变夹爪间距的间距调节装置。
具体的，间距调节装置包括间距调节板和带动间距调节板伸缩动作的伸缩动力装置，硅片搬运夹爪安装在间距调节板上。
通过间距调节装置的具体设置，使得硅片搬运装置可以兼容不同的硅片处理单元的硅片间距，也可兼容不同的输送带之间的间距，增加了硅片输送装置的兼容性。
结合第一方面至第一方面的第三种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，具有缓存通道的硅片输送装置还包括硅片处理单元和硅片上料装置，硅片上料装置将硅片搬运至硅片处理单元，硅片搬运装置从硅片处理单元获取硅片。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理，其中：
图1为本实用新型实施方式所示的具有缓存通道的硅片输送装置的俯视图；
图2为本实用新型实施方式中所示的输送带、缓存平台和硅片搬运装置的立体结构示意图；
图3为本实用新型实施方式中所示的输送带、缓存平台的立体结构示意图；
图4为本实用新型实施方式中的缓存平台和输送带的动作简图。
具体实施方式
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
现市面上硅片输送装置基本设置为将硅片搬运至硅片处理单元，再将处理完的硅片从硅片处理单元上搬离，通常为对应搬运夹爪的个数设置相对应个数的硅片输送装置。
然而在实际生产中搬离硅片处理单元的生产节拍并不如将硅片搬入硅片处理单元的节奏快，所以在实际生产中个别硅片输送装置会常处于待机空转状态，不仅浪费了生产资源，也增加了装置占地空间。
为了能够节约硅片输送装置的占地空间，同时避免生产资源的浪费，本实用新型提供了一种具有缓存通道的硅片输送装置，技术方案如下：
下面根据附图1至图3对本实用新型做进一步详细说明。
如图3和图4所示，本实用新型提供了一种具有缓存通道的硅片输送装置，包括输送带1和设置在输送带1上方的缓存平台2，缓存平台2包括至少两个相对设置的缓存块21，和带动缓存块21升降横移的综合动力装置22。
通过设置在输送带1上方的缓存平台2的设置，使得输送带1在执行硅片6输送的同时还能在输送带1上方缓存下一个待输送的硅片6，既满足了在生产节拍慢时的输送需求也满足了在生产节拍较快的时候的硅片6输送需求同时还节省了额外的输送带1的设置，节约了硅片6输送装置的占地空间。
升降动力装置23的活动端连接缓存块21，升降动力装置23的固定端连接有横移动力装置24，升降动力装置23安装在输送带1两侧，横移动力装置24安装在输送带1下方。
通过综合动力装置22的设置，在保证下方输送带1正常运转的情况下，也能完成接收额外硅片6的任务，增加了缓存平台2的灵活性。
如图2所示，具有缓存通道的硅片输送装置还包括硅片搬运装置3，硅片搬运装置3包括硅片搬运夹爪31和带动硅片搬运夹爪31动作的夹爪动力装置32。
通过硅片搬运装置3的具体设置，使得输送带1可以通过硅片搬运装置3从硅片处理单元4处获取硅片6，从而增加了硅片输送装置的兼容性。
夹爪动力装置32包括三维移动平台33和带动硅片搬运夹爪31改变夹爪间距的间距调节装置34。
间距调节装置34包括间距调节板35和带动间距调节板35伸缩动作的伸缩动力装置36，硅片搬运夹爪31安装在间距调节板35上。
通过间距调节装置34的具体设置，使得硅片搬运装置3可以兼容不同的硅片处理单元4的硅片6间距，也可兼容不同的输送带1之间的间距，增加了硅片输送装置的兼容性。
如图1所示，具有缓存通道的硅片输送装置还包括硅片处理单元4和硅片上料装置5，硅片上料装置5将硅片6搬运至硅片处理单元4，硅片搬运装置3从硅片处理单元4获取硅片6。
如图1和图4所示，在实际生产中，硅片上料装置5将通过三排夹爪一次将3X8片硅片6搬运至硅片处理单元4上，待硅片6处理完成后，硅片搬运装置3从硅片处理单元4上将处理完成的硅片6同样按照3X8的搬运方式搬运至输送带1上方，并通过间距调节装置34的动作，将硅片搬运装置3的硅片搬运夹爪31的间距调节至于两个输送带1之间的间距相同，然后将硅片搬运夹爪31上的两排硅片6放置在输送带1上，通过输送带1将硅片6输送到下一工位，在输送带1输送硅片6的同时，输送带1两边的缓存块21在综合动力装置22的带动下升起并相互靠拢，在输送带1正上方形成能够盛放硅片6的空间，并接受第三个硅片搬运夹爪31上的硅片6，当缓存块21下方的输送带1上的硅片6完全输送出去时，相互靠近的缓存块21同步下降，在缓存块21底部贴近输送带1时，两个缓存块21相互远离，使得原先处于缓存块21之间的硅片6落在下方的输送带1上，即完成缓存平台2上的硅片输送出料的动作。
除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语不代表任何顺序，数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“一端”、“另一端”仅表示相对的位置关系，当被描述的对象的绝对位置关系改变后，则该想对应的位置关系也相应的改变。另外文中所讲的“至少一个”包括一个、两个或两个以上。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里发明的实用新型后，将容易想到本实用新型的其它实施方案。本申请旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本实用新型的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本实用新型的真正范围和精神由权利要求指出。
应当理解的是，本实用新型并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本实用新型的范围仅由所附的权利要求来限制。
Claims (6)
1.一种具有缓存通道的硅片输送装置，其特征在于，包括输送带和设置在所述输送带上方的缓存平台，所述缓存平台包括至少两个相对设置的缓存块，和带动所述缓存块升降横移的综合动力装置。
2.根据权利要求1所述的具有缓存通道的硅片输送装置，其特征在于，所述综合动力装置包括升降动力装置和横移动力装置，所述升降动力装置的活动端连接所述缓存块，所述升降动力装置的固定端连接有所述横移动力装置，所述升降动力装置安装在所述输送带两侧，所述横移动力装置安装在所述输送带下方。
3.根据权利要求1所述的具有缓存通道的硅片输送装置，其特征在于，所述具有缓存通道的硅片输送装置还包括硅片搬运装置，所述硅片搬运装置包括硅片搬运夹爪和带动所述硅片搬运夹爪动作的夹爪动力装置。
4.根据权利要求3所述的具有缓存通道的硅片输送装置，其特征在于，所述夹爪动力装置包括三维移动平台和带动硅片搬运夹爪改变夹爪间距的间距调节装置。
5.根据权利要求4所述的具有缓存通道的硅片输送装置，其特征在于，所述间距调节装置包括间距调节板和带动所述间距调节板伸缩动作的伸缩动力装置，所述硅片搬运夹爪安装在所述间距调节板上。
6.根据权利要求3所述的具有缓存通道的硅片输送装置，其特征在于，所述具有缓存通道的硅片输送装置还包括硅片处理单元和硅片上料装置，所述硅片上料装置将硅片搬运至所述硅片处理单元，所述硅片搬运装置从所述硅片处理单元获取硅片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201821986922.4U CN209232751U (zh) | 2018-11-29 | 2018-11-29 | 具有缓存通道的硅片输送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201821986922.4U CN209232751U (zh) | 2018-11-29 | 2018-11-29 | 具有缓存通道的硅片输送装置 |
Publications (1)
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| CN209232751U true CN209232751U (zh) | 2019-08-09 |
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| CN201821986922.4U Active CN209232751U (zh) | 2018-11-29 | 2018-11-29 | 具有缓存通道的硅片输送装置 |
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| CN (1) | CN209232751U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111206237A (zh) * | 2020-02-19 | 2020-05-29 | 无锡市江松科技有限公司 | Ald硅片上下料装置 |
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2018
- 2018-11-29 CN CN201821986922.4U patent/CN209232751U/zh active Active
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| CN111206237A (zh) * | 2020-02-19 | 2020-05-29 | 无锡市江松科技有限公司 | Ald硅片上下料装置 |
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