CN209183510U - 一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，包括工作台，工作台的上端安装有清洗腔底罩，清洗腔底罩上端安装有清洗腔排水罩，洗腔排水罩上端中部安装有真空罩杯，清洗腔底罩内竖直安装有高转速电机，高转速电机上端的输出轴连接有驱动轴，驱动轴的上端竖直穿过真空罩杯与吸盘相连，驱动轴内设置有连接吸盘与真空罩杯腔体的管路，真空罩杯一侧开有与抽真空设备相连的接口，高转速电机一侧设置有相配的减速装置。本实用通过高转速电机控制吸盘转动，升降气缸控制圆盘刷上下升降，旋转气缸控制摆杆轴带着圆盘刷一起转动，自动化程度高，大大降低了人工成本，通过吸盘吸住硅片进行清洗，可以避免对硅片表面的损伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片刷片机技术领域，特别是涉及一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置。
背景技术
半导体器件生产中，硅片必须经过严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗，物理清洗主要是采用刷洗或擦洗的方法将硅片表面杂质去除，化学清洗主要采用清洗液直接浸泡清洗，实际生产过程中，直接浸泡时硅片往往放置于吊篮内浸入溶液，由于硅片之间相互叠加，导致清洗不均匀，而且硅片与吊篮的接触面积较大，也容易产生冲洗不干净的质量问题。鉴于以上缺陷，有必要设计一种硅片清洗装置。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，通过吸盘吸住硅片进行清洗，可以避免对硅片表面的损伤。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，包括工作台、清洗腔底罩和升降台，所述的工作台的上端安装有清洗腔底罩，该清洗腔底罩上端安装有清洗腔排水罩，所述的清洗腔排水罩上端中部安装有真空罩杯，所述的清洗腔底罩内竖直安装有高转速电机，该高转速电机上端的输出轴连接有驱动轴，所述的驱动轴的上端竖直穿过真空罩杯与吸盘相连，该驱动轴内设置有连接吸盘与真空罩杯腔体的管路，所述的真空罩杯一侧开有与抽真空设备相连的接口，所述的高转速电机一侧设置有相配的减速装置，所述的工作台的上端位于清洗腔底罩的一侧竖直安装有摆杆轴座，该摆杆轴座内安装有上下运动的摆杆轴，所述的摆杆轴的上端一侧竖直安装有刷毛电机，该刷毛电机下端的输出轴上安装有圆盘刷，所述的工作台下方通过导杆与底板相连，该底板的下端中部竖直安装有升降气缸，所述的升降气缸的活塞杆穿过底板与升降台相连，该升降台的两侧套接在导杆中部，所述的升降台上端安装有与摆杆轴下端相连的旋转气缸。
作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的减速装置包括减速电机、主动带轮和从动带轮，所述的高转速电机一侧安装有减速电机，该减速电机的输出轴上安装有主动带轮，所述的主动带轮通过皮带与高转速电机输出轴安装的从动带轮相连。
作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的清洗腔排水罩的上端安装有清洗腔排风罩，该清洗腔排风罩一侧设置有排风通道，所述的排风通道一端与清洗腔底罩一侧设置的排风管相连。
作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的清洗腔排风罩的上端安装有清洗腔挡水罩，该清洗腔挡水罩的上方一侧设置有喷水管。
作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的清洗腔排水罩的底部接有漏水管。
有益效果：本实用新型涉及一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，高转速电机控制吸盘转动，升降气缸控制圆盘刷上下升降，旋转气缸控制摆杆轴带着圆盘刷一起转动，自动化程度高，大大降低了人工成本。本实用新型通过吸盘吸住硅片进行清洗，可以避免对硅片表面的损伤。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的局部结构示意图；
图3是本实用新型图2的局部结构放大图。
图示：1、减速电机，2、工作台，3、排风管，4、清洗腔底罩，5、清洗腔排水罩，6、清洗腔排风罩，7、吸盘，8、圆盘刷，9、刷毛电机，10、摆杆轴座，11、摆杆轴，12、旋转气缸，13、升降台，14、升降气缸，15、高转速电机，16、主动带轮，17、喷水管，18、排风通道，19、真空罩杯，20、驱动轴，21、管路，22、接口，23、皮带，24、从动带轮， 25、导杆，26、底板，27、清洗腔挡水罩，28、漏水管。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
本实用新型的实施方式涉及一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，如图1-3所示，包括工作台2、清洗腔底罩4和升降台13，所述的工作台2的上端安装有清洗腔底罩4，该清洗腔底罩4上端安装有清洗腔排水罩5，所述的清洗腔排水罩5上端中部安装有真空罩杯19，所述的清洗腔底罩4内竖直安装有高转速电机15，该高转速电机15上端的输出轴连接有驱动轴20，所述的驱动轴20的上端竖直穿过真空罩杯19与吸盘7相连，该驱动轴20内设置有连接吸盘7与真空罩杯19腔体的管路21，所述的真空罩杯19一侧开有与抽真空设备相连的接口22，所述的高转速电机15一侧设置有相配的减速装置，所述的工作台2的上端位于清洗腔底罩4的一侧竖直安装有摆杆轴座10，该摆杆轴座10内安装有上下运动的摆杆轴11，所述的摆杆轴11的上端一侧竖直安装有刷毛电机9，该刷毛电机9 下端的输出轴上安装有圆盘刷8，所述的工作台2下方通过导杆25与底板26相连，该底板26的下端中部竖直安装有升降气缸14，所述的升降气缸14的活塞杆穿过底板26与升降台13相连，该升降台13的两侧套接在导杆25中部，所述的升降台13上端安装有与摆杆轴11下端相连的旋转气缸12。
所述的减速装置包括减速电机1、主动带轮16和从动带轮24，所述的高转速电机15一侧安装有减速电机1，该减速电机1的输出轴上安装有主动带轮16，所述的主动带轮16 通过皮带23与高转速电机15输出轴安装的从动带轮24相连。
所述的清洗腔排水罩5的上端安装有清洗腔排风罩6，该清洗腔排风罩6一侧设置有排风通道18，所述的排风通道18一端与清洗腔底罩4一侧设置的排风管3相连。
所述的清洗腔排风罩6的上端安装有清洗腔挡水罩27，该清洗腔挡水罩27的上方一侧设置有喷水管17。
所述的清洗腔排水罩5的底部接有漏水管28。
实施例
首先将硅片放到吸盘7上，启动抽真空设备，抽真空设备使得吸盘7吸住硅片，随后启动高转速电机15以及减速电机1，驱动轴20带着吸盘7以及硅片一起转动，喷水管17 不断往硅片上喷水，接着启动旋转气缸12，旋转气缸12驱动摆杆轴11转动，使得圆盘刷8的位置对准硅片，刷毛电机9控制圆盘刷8快速旋转，紧接着控制升降气缸14的活塞杆收缩，使得升降台13、摆杆轴11和圆盘刷8一起向下运动，运动至圆盘刷8与硅片表面接触位置，通过转动圆盘刷8将硅片表面进行清洗。自动化程度高，大大降低了人工成本。
清洗腔排水罩5的上端安装有清洗腔排风罩6，清洗腔排风罩6一侧设置有排风通道 18，排风通道18一端与清洗腔底罩4一侧设置的排风管3相连，排风管可以将里面的气体排出。本实用新型通过吸盘吸住硅片进行清洗，可以避免对硅片表面的损伤。
Claims (5)
1.一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，包括工作台(2)、清洗腔底罩(4)和升降台(13)，其特征在于：所述的工作台(2)的上端安装有清洗腔底罩(4)，该清洗腔底罩(4)上端安装有清洗腔排水罩(5)，所述的清洗腔排水罩(5)上端中部安装有真空罩杯(19)，所述的清洗腔底罩(4)内竖直安装有高转速电机(15)，该高转速电机(15)上端的输出轴连接有驱动轴(20)，所述的驱动轴(20)的上端竖直穿过真空罩杯(19)与吸盘(7)相连，该驱动轴(20)内设置有连接吸盘(7)与真空罩杯(19)腔体的管路(21)，所述的真空罩杯(19)一侧开有与抽真空设备相连的接口(22)，所述的高转速电机(15)一侧设置有相配的减速装置，所述的工作台(2)的上端位于清洗腔底罩(4)的一侧竖直安装有摆杆轴座(10)，该摆杆轴座(10)内安装有上下运动的摆杆轴(11)，所述的摆杆轴(11)的上端一侧竖直安装有刷毛电机(9)，该刷毛电机(9)下端的输出轴上安装有圆盘刷(8)，所述的工作台(2)下方通过导杆(25)与底板(26)相连，该底板(26)的下端中部竖直安装有升降气缸(14)，所述的升降气缸(14)的活塞杆穿过底板(26)与升降台(13)相连，该升降台(13)的两侧套接在导杆(25)中部，所述的升降台(13)上端安装有与摆杆轴(11)下端相连的旋转气缸(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，其特征在于：所述的减速装置包括减速电机(1)、主动带轮(16)和从动带轮(24)，所述的高转速电机(15)一侧安装有减速电机(1)，该减速电机(1)的输出轴上安装有主动带轮(16)，所述的主动带轮(16)通过皮带(23)与高转速电机(15)输出轴安装的从动带轮(24)相连。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，其特征在于：所述的清洗腔排水罩(5)的上端安装有清洗腔排风罩(6)，该清洗腔排风罩(6)一侧设置有排风通道(18)，所述的排风通道(18)一端与清洗腔底罩(4)一侧设置的排风管(3)相连。
4.根据权利要求3所述的一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，其特征在于：所述的清洗腔排风罩(6)的上端安装有清洗腔挡水罩(27)，该清洗腔挡水罩(27)的上方一侧设置有喷水管(17)。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，其特征在于：所述的清洗腔排水罩(5)的底部接有漏水管(28)。
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| CN201821759270.0U CN209183510U (zh) | 2018-10-29 | 2018-10-29 | 一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117002139A (zh) * | 2023-07-27 | 2023-11-07 | 深圳市恒昇光电科技有限公司 | 一种Mini LED的丝印清洗头以及丝印清洗器 |
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2018
- 2018-10-29 CN CN201821759270.0U patent/CN209183510U/zh active Active
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| CN117002139A (zh) * | 2023-07-27 | 2023-11-07 | 深圳市恒昇光电科技有限公司 | 一种Mini LED的丝印清洗头以及丝印清洗器 |
| CN117002139B (zh) * | 2023-07-27 | 2024-03-08 | 深圳市恒昇光电科技有限公司 | 一种Mini LED的丝印清洗头以及丝印清洗器 |
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